Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

Tantalum Carbide Coated Ring

Bilang isang propesyonal na tagabago at pinuno ng Tantalum Carbide Coated Ring Products sa China, ang Vetek semiconductor tantalum carbide coated singsing ay gumaganap ng isang hindi mapapalitan na papel sa paglago ng kristal ng SIC na may mahusay na mataas na temperatura ng paglaban, pagsusuot ng paglaban at mahusay na thermal conductivity. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Porous Tantalum Carbide

Ang Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng mga maliliit na produktong karbida sa Tantalum sa China. Ang porous tantalum carbide ay karaniwang gawa ng pamamaraan ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD), tinitiyak ang tumpak na kontrol ng laki at pamamahagi ng butas nito, at isang materyal na tool na nakatuon sa mataas na temperatura ng matinding kapaligiran. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Guide Ring

Ang TaC Coating Guide Ring ng VeTek Semiconductor ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay ng tantalum carbide coating sa mga bahagi ng graphite gamit ang isang advanced na pamamaraan na tinatawag na chemical vapor deposition (CVD). Ang pamamaraang ito ay mahusay na itinatag at nag-aalok ng mga pambihirang katangian ng patong. Sa pamamagitan ng paggamit ng TaC Coating Guide Ring, ang habang-buhay ng mga bahagi ng grapayt ay maaaring mapalawak nang malaki, ang paggalaw ng mga dumi ng grapayt ay maaaring masugpo, at ang SiC at AIN na solong kristal na kalidad ay maaasahang mapanatili. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum Carbide Ring

Bilang isang advanced na tagagawa at tagagawa ng Tantalum Carbide Ring Products sa China, ang Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Ring ay may mataas na katigasan, pagsusuot ng paglaban, mataas na temperatura ng paglaban at katatagan ng kemikal, at malawakang ginagamit sa patlang ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Lalo na sa CVD, PVD, proseso ng pagtatanim ng ion, proseso ng etching, at pagproseso ng wafer at transportasyon, ito ay isang kailangang -kailangan na produkto para sa pagproseso at pagmamanupaktura ng semiconductor. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Suporta sa Tantalum Carbide Coating

Bilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Tantalum Carbide Coating Support sa China, ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support ay karaniwang ginagamit para sa surface coating ng mga structural component o support component sa semiconductor equipment, lalo na para sa surface protection ng mga pangunahing bahagi ng equipment sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor tulad ng CVD at PVD. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum Carbide Guide Ring

Ang Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng Tantalum Carbide Guide Ring Products sa China. Ang aming Tantalum Carbide (TAC) gabay na singsing ay isang sangkap na mataas na pagganap na singsing na gawa sa tantalum carbide, na karaniwang ginagamit sa mga kagamitan sa pagproseso ng semiconductor, lalo na sa mataas na temperatura at lubos na kinakaing unti-unting mga kapaligiran tulad ng CVD, PVD, etching at pagsasabog. Ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga advanced na solusyon sa teknolohiya at produkto para sa industriya ng semiconductor, at tinatanggap ang iyong karagdagang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Tantalum Carbide Coated Ring

Porous Tantalum Carbide

TAC Coating Guide Ring

Tantalum Carbide Ring

Suporta sa Tantalum Carbide Coating

Tantalum Carbide Guide Ring

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address