Proseso ng SiC Epitaxy

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.

Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .

Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.

Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflectors at filters. Mga Industrial assemblies kabilang ang mga resistive heating elements, nozzle, shielding ring at brazing fixture, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang mga wafer carrier, satellite tray, shower head, takip at pedestal, mga bahagi ng MOCVD.

Layunin:

● LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

● ALD(Semiconductor) Receiver

● EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)

CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor TaC Coated Ring para sa SiC Epitaxial Reactor TaC Coated Three-petal Ring Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part para sa LPE

Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

	SiC	TaC
Pangunahing Tampok	Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma	Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan	>99.9999%	>99.9999%
Densidad (g/cm³)	3.21	15
Katigasan (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
Resistivity [Ωcm]	0.1-15,000	<1
Thermal conductivity (W/m-K)	200-360	22
Coefficient ng thermal expansion(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
Aplikasyon	Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer)	SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts

View as

Ang CVD TAC ay pinahiran ng three-petal gabay na singsing

Ang Vetek Semiconductor ay nakaranas ng maraming taon ng pag -unlad ng teknolohikal at pinagkadalubhasaan ang nangungunang proseso ng teknolohiya ng CVD TAC coating. Ang CVD TAC Coated Three-Petal Guide Ring ay isa sa pinaka-mature na CVD TAC na mga produktong Vetek Semiconductor at isang mahalagang sangkap para sa paghahanda ng mga kristal ng SIC sa pamamagitan ng pamamaraan ng PVT. Sa tulong ng Vetek Semiconductor, naniniwala ako na ang iyong SIC crystal production ay magiging mas maayos at mas mahusay.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum Carbide Coated Pous Graphite

Ang Tantalum carbide coated porous grapayt ay isang kailangang -kailangan na produkto sa proseso ng pagproseso ng semiconductor, lalo na sa proseso ng paglago ng kristal ng SIC. Matapos ang patuloy na pag -upgrade ng R&D at teknolohiya, ang Vetek Semiconductor's TAC Coated Porous Graphite Product Quality ay nanalo ng mataas na papuri mula sa mga customer ng Europa at Amerikano. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor

Ang CVD TAC Coating Planetary SIC EPITAXIAL SIPCEPTOR ay isa sa mga pangunahing sangkap ng MOCVD planetary reaktor. Sa pamamagitan ng CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxial Sinceptor, ang malaking disk orbits at ang maliit na disk ay umiikot, at ang pahalang na daloy ng daloy ay pinalawak sa mga multi-chip machine, upang mayroon itong parehong mataas na kalidad na epitaxial wavelength na pagkakapareho ng pamamahala at depekto sa pag-optimize ng solong -Chip machine at ang mga bentahe ng gastos sa paggawa ng mga multi-chip machine.Vetek semiconductor ay maaaring magbigay ng mga customer ng lubos na na-customize na CVD TAC coating planetary sic epitaxial susceptor. Kung nais mo ring gumawa ng isang hurno ng planeta ng MOCVD tulad ng Aixtron, lumapit sa amin!

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Gan Epitaxy Undertaker

Ang Vetek Semiconductor ay isang kumpanyang Tsino na isang tagagawa ng klase sa mundo at tagapagtustos ng GaN epitaxy susceptor. Nagtatrabaho kami sa industriya ng semiconductor tulad ng silikon carbide coatings at Gan epitaxy susceptor sa loob ng mahabang panahon. Maaari kaming magbigay sa iyo ng mahusay na mga produkto at kanais -nais na mga presyo. Inaasahan ng Vetek Semiconductor na maging iyong pangmatagalang kasosyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Wafer Susceptor

Ang Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor ay isang grapayt na tray na pinahiran ng tantalum carbide para sa paglago ng epitaxial ng silikon upang mapabuti ang kalidad ng wafer at pagganap. Napili ang Vetek dahil sa advanced na teknolohiya ng patong at matibay na mga solusyon upang matiyak ang mahusay na mga resulta ng epitaxy ng SIC at pinalawak na buhay ng pagkamatay, maligayang pagdating sa iyong karagdagang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Guide Rings

Bilang isang nangungunang tagagawa ng TAC Coating Guide Rings Products sa China, ang Vetek Semiconductor TAC Coated Guide Rings ay mga mahahalagang sangkap sa kagamitan ng MOCVD, tinitiyak ang tumpak at matatag na paghahatid ng gas sa panahon ng pag -unlad ng epitaxial, at isang kailangang -kailangan na materyal sa semiconductor epitaxial growth. Maligayang pagdating upang kumunsulta sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Proseso ng SiC Epitaxy na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Proseso ng SiC Epitaxy

Compound semiconductor crystals

Mga thermal insulator

Layunin:

Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

Ang CVD TAC ay pinahiran ng three-petal gabay na singsing

Tantalum Carbide Coated Pous Graphite

CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor

Gan Epitaxy Undertaker

TAC Coated Wafer Susceptor

TAC Coating Guide Rings

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address