Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

TaC Coating Tube

Ang Vetek Semiconductor's TAC Coating Tube ay isang pangunahing sangkap para sa matagumpay na paglaki ng mga solong kristal na silikon. Sa pamamagitan ng mataas na temperatura ng paglaban, pagkawalang-kilos ng kemikal at mahusay na pagganap, na nagsisiguro sa paggawa ng mga de-kalidad na kristal na may pare-pareho na mga resulta. Magtiwala sa aming mga makabagong solusyon upang mapahusay ang iyong pamamaraan ng PVT sic crystal na proseso ng paglago at makamit ang mahusay na mga resulta.Welcome upang magtanong sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating ekstrang bahagi

Ang TAC coating ay kasalukuyang pangunahing ginagamit sa mga proseso tulad ng silikon na karbida solong paglago ng kristal (PVT na pamamaraan), epitaxial disk (kabilang ang magandang pang-matagalang epitaxy, LED epitaxy), atbp. Pinagsama sa magandang pangmatagalang katatagan ng TAC coating plate, Veteksemicon's TAC coating plate ay naging benchmark para sa TAC coating ekstrang bahagi. Inaasahan namin sa iyo na maging aming pangmatagalang kasosyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Gan sa EPI receiver

Ang GaN sa SIC EPI Susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagproseso ng semiconductor sa pamamagitan ng mahusay na thermal conductivity, mataas na temperatura ng pagproseso ng temperatura at katatagan ng kemikal, at tinitiyak ang mataas na kahusayan at materyal na kalidad ng proseso ng paglago ng epitaxial ng GaN. Ang Vetek Semiconductor ay isang tagagawa ng propesyonal na China ng GaN sa SIC EPI Susceptor, taimtim kaming inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD TAC Coating Carrier

Ang CVD TAC coating carrier ay pangunahing dinisenyo para sa epitaxial na proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang ultra-high point point ng CVD TAC Coating Carrier, mahusay na pagtutol ng kaagnasan, at natitirang thermal stability ay matukoy ang kailangang-kailangan ng produktong ito sa semiconductor epitaxial process. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Graphite Support

Gumagamit ang VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor ng chemical vapor deposition(CVD) na paraan upang maghanda ng tantalum carbide coating sa ibabaw ng mga bahagi ng graphite. Ang prosesong ito ay ang pinaka-mature at may pinakamahusay na mga katangian ng patong. Maaaring pahabain ng TaC Coated Graphite Susceptor ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng graphite, pigilan ang paglipat ng mga dumi ng graphite, at tiyakin ang kalidad ng epitaxy. Inaasahan namin ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Subser

Inihahatid ng Vetek Semiconductor ang TAC coating na Susceptor, na may pambihirang TAC coating, ang pagkamatay na ito ay nag -aalok ng maraming mga pakinabang na nagtatakda nito bukod sa maginoo na mga solusyon.Integrating nang walang putol sa umiiral na mga sistema, ang TAC coating susceptor mula sa Vetek Semiconductor ay ginagarantiyahan ang pagiging tugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at de-kalidad na patong ng TAC ay patuloy na naghahatid ng mga pambihirang resulta sa mga proseso ng epitaxy ng SIC.May nakatuon sa pagbibigay ng kalidad ng mga produkto sa mga mapagkumpitensyang presyo at inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

TaC Coating Tube

TAC Coating ekstrang bahagi

Gan sa EPI receiver

CVD TAC Coating Carrier

TAC Coated Graphite Support

TAC Coating Subser

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address