Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

TaC Coating Rotation Susceptor

Bilang isang propesyonal na tagagawa, innovator at pinuno ng mga produkto ng TaC Coating Rotation Susceptor sa China. Ang VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor ay karaniwang naka-install sa chemical vapor deposition (CVD) at molecular beam epitaxy (MBE) na kagamitan upang suportahan at paikutin ang mga wafer upang matiyak ang pare-parehong deposition ng materyal at mahusay na reaksyon. Ito ay isang pangunahing bahagi sa pagproseso ng semiconductor. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD TaC Coating Crucible

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng mga produkto ng CVD TaC Coating Crucible sa China. Ang CVD TaC Coating Crucible ay batay sa tantalum carbon (TaC) coating. Ang tantalum carbon coating ay pantay na natatakpan sa ibabaw ng crucible sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) na proseso upang mapahusay ang heat resistance at corrosion resistance nito. Ito ay isang materyal na tool na espesyal na ginagamit sa mataas na temperatura matinding kapaligiran. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Bilang isang propesyonal na tagagawa ng produkto ng CVD TAC coating wafer carrier at pabrika sa Tsina, ang Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier ay isang tool na nagdadala ng wafer na espesyal na idinisenyo para sa mataas na temperatura at kinakain na mga kapaligiran sa paggawa ng semiconductor. At ang CVD TAC coating wafer carrier ay may mataas na lakas ng mekanikal, mahusay na paglaban ng kaagnasan at thermal stabil, na nagbibigay ng kinakailangang garantiya para sa paggawa ng mga de-kalidad na aparato ng semiconductor. Malugod na tinatanggap ang iyong karagdagang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Heater

Ang Vetek semiconductor TAC coating heater ay may napakataas na punto ng pagtunaw (mga 3880 ° C). Ang mataas na punto ng pagtunaw ay nagbibigay -daan upang mapatakbo ito sa napakataas na temperatura, lalo na sa paglaki ng gallium nitride (GaN) epitaxial layer sa metal na organikong kemikal na singaw ng singaw (MOCVD). Ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga customer ng mga pasadyang mga solusyon sa produkto. Inaasahan namin ang pagdinig mula sa iyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Patong ng CVD TAC

Ang VeTek Semiconductor ay china na nangunguna sa tagagawa ng mga produkto ng CVD TAC Coating. Sa loob ng maraming taon, nakatuon kami sa iba't ibang produkto ng CVD TAC Coating tulad ng CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring. Sinusuportahan ng VeTek Semiconductor ang mga customized na serbisyo ng produkto at kasiya-siyang presyo ng produkto, at inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Chuck

Sa pamamagitan ng mataas na temperatura ng paglaban, pagkawalang -kilos ng kemikal at mahusay na pagganap, ang Vetek Semiconductor's TAC coated chucks ay idinisenyo para sa mga semiconductor furnaces. Naniniwala kami na ang aming mga produkto ay maaaring magdala sa iyo ng mga advanced na teknolohiya at kalidad ng mga solusyon sa produkto.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

TaC Coating Rotation Susceptor

CVD TaC Coating Crucible

CVD TAC Coating Wafer Carrier

TAC Coating Heater

Patong ng CVD TAC

TAC Coated Chuck

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address