Mga produkto

Ang Veteksemicon semiconductor-grade quartz crucibles ay mga pangunahing consumable sa Czochralski solong proseso ng paglago ng kristal. Sa matinding kadalisayan at higit na katatagan ng thermal bilang aming pangunahing pokus, nakatuon kami sa pagbibigay ng mga customer ng mga de-kalidad na produkto na nagpapakita ng matatag na pagganap at mahusay na pagtutol sa pagkikristal sa ilalim ng mataas na temperatura at mataas na presyon ng kapaligiran. Tinitiyak nito ang kalidad ng mga rod rod mula sa pinagmulan, na tumutulong sa semiconductor silikon wafer manufacturing makamit ang mas mataas na ani at mas mahusay na pagiging epektibo.

Ang Veteksemicon Focus Ring ay partikular na idinisenyo para sa paghingi ng kagamitan sa semiconductor etching, lalo na ang mga application ng SIC etching. Naka -mount sa paligid ng electrostatic chuck (ESC), malapit sa wafer, ang pangunahing pag -andar nito ay upang mai -optimize ang pamamahagi ng larangan ng electromagnetic sa loob ng silid ng reaksyon, tinitiyak ang uniporme at nakatuon na pagkilos ng plasma sa buong ibabaw ng wafer. Ang isang mataas na pagganap na singsing na pokus ay makabuluhang nagpapabuti sa pagkakapareho ng rate ng etch at binabawasan ang mga epekto ng gilid, direktang pagpapalakas ng ani ng produkto at kahusayan sa paggawa.

Ang Veteksemicon silikon carbide carrier plate para sa LED etching, partikular na idinisenyo para sa pagmamanupaktura ng LED chip, ay isang pangunahing maubos sa proseso ng etching. Ginawa mula sa katumpakan-sintered high-kadalisayan silikon karbida, nag-aalok ito ng pambihirang paglaban ng kemikal at mataas na temperatura na dimensional na katatagan, na epektibong lumalaban sa kaagnasan mula sa mga malakas na acid, base, at plasma. Ang mga mababang katangian ng kontaminasyon nito ay nagsisiguro ng mataas na ani para sa mga LED epitaxial wafers, habang ang tibay nito, na higit na higit sa tradisyonal na mga materyales, ay tumutulong sa mga customer na mabawasan ang pangkalahatang mga gastos sa operating, na ginagawa itong isang maaasahang pagpipilian para sa pagpapabuti ng kahusayan at pagkakapare -pareho ng proseso.

Ang Veteksemic Graphite Boat para sa PECVD ay katumpakan-machined mula sa high-kadalisayan na grapayt at partikular na idinisenyo para sa mga proseso ng pag-aalis ng singaw ng plasma. Ang pag -agaw ng aming malalim na pag -unawa sa mga materyales na thermal field ng semiconductor at mga kakayahan ng machining ng katumpakan, nag -aalok kami ng mga grapayt na bangka na may pambihirang thermal katatagan, mahusay na kondaktibiti, at isang mahabang buhay ng serbisyo. Ang mga bangka na ito ay idinisenyo upang matiyak ang lubos na pantay na manipis na pag -aalis ng pelikula sa bawat wafer sa hinihingi na kapaligiran ng proseso ng PECVD, pagpapabuti ng ani ng proseso at pagiging produktibo.

Ang CVD TAC Coated Graphite Ring ni Veteksemicon ay ininhinyero upang matugunan ang matinding hinihingi ng pagproseso ng semiconductor wafer. Ang paggamit ng teknolohiyang pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD), isang siksik at pantay na tantalum carbide (TAC) coating ay inilalapat sa mga substrate na may mataas na kadalisayan, nakamit ang pambihirang tigas, pagsusuot ng resistensya, at kawalang-kilos ng kemikal. Sa katha ng semiconductor, ang CVD TAC coated grapayt singsing ay malawakang ginagamit sa MOCVD, etching, pagsasabog, at mga silid ng paglaki ng epitaxial, na nagsisilbing isang pangunahing sangkap o sealing na sangkap para sa mga wafer carriers, mga susi, at mga pagtitipon ng mga pagtitipon. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Ang porous TAC coated grapayt singsing na ginawa ni Vetek ay gumagamit ng isang magaan na porous grapayt substrate at pinahiran ng isang mataas na kadalisayan na tantalum carbide coating, na nagtatampok ng mahusay na pagtutol sa mataas na temperatura, kinakaing unti-unting gas at pagguho ng plasma