Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

Tantalum Carbide Coated Pous Graphite

Ang Tantalum carbide coated porous grapayt ay isang kailangang -kailangan na produkto sa proseso ng pagproseso ng semiconductor, lalo na sa proseso ng paglago ng kristal ng SIC. Matapos ang patuloy na pag -upgrade ng R&D at teknolohiya, ang Vetek Semiconductor's TAC Coated Porous Graphite Product Quality ay nanalo ng mataas na papuri mula sa mga customer ng Europa at Amerikano. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor

Ang CVD TAC Coating Planetary SIC EPITAXIAL SIPCEPTOR ay isa sa mga pangunahing sangkap ng MOCVD planetary reaktor. Sa pamamagitan ng CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxial Sinceptor, ang malaking disk orbits at ang maliit na disk ay umiikot, at ang pahalang na daloy ng daloy ay pinalawak sa mga multi-chip machine, upang mayroon itong parehong mataas na kalidad na epitaxial wavelength na pagkakapareho ng pamamahala at depekto sa pag-optimize ng solong -Chip machine at ang mga bentahe ng gastos sa paggawa ng mga multi-chip machine.Vetek semiconductor ay maaaring magbigay ng mga customer ng lubos na na-customize na CVD TAC coating planetary sic epitaxial susceptor. Kung nais mo ring gumawa ng isang hurno ng planeta ng MOCVD tulad ng Aixtron, lumapit sa amin!

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC na pinahiran na singsing

Bilang isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng mga produktong coated na singsing ng TAC sa Tsina, ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa R&D at paggawa ng iba't ibang mga produktong patong ng TAC. Bilang pangunahing mga customer ng TAC Coating Products, ang mga tagagawa ng Europa at Amerikano ay nagbigay ng mataas na papuri sa aming mga produktong patong. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Gan Epitaxy Undertaker

Ang Vetek Semiconductor ay isang kumpanyang Tsino na isang tagagawa ng klase sa mundo at tagapagtustos ng GaN epitaxy susceptor. Nagtatrabaho kami sa industriya ng semiconductor tulad ng silikon carbide coatings at Gan epitaxy susceptor sa loob ng mahabang panahon. Maaari kaming magbigay sa iyo ng mahusay na mga produkto at kanais -nais na mga presyo. Inaasahan ng Vetek Semiconductor na maging iyong pangmatagalang kasosyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Wafer Susceptor

Ang Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor ay isang grapayt na tray na pinahiran ng tantalum carbide para sa paglago ng epitaxial ng silikon upang mapabuti ang kalidad ng wafer at pagganap. Napili ang Vetek dahil sa advanced na teknolohiya ng patong at matibay na mga solusyon upang matiyak ang mahusay na mga resulta ng epitaxy ng SIC at pinalawak na buhay ng pagkamatay, maligayang pagdating sa iyong karagdagang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Guide Rings

Bilang isang nangungunang tagagawa ng TAC Coating Guide Rings Products sa China, ang Vetek Semiconductor TAC Coated Guide Rings ay mga mahahalagang sangkap sa kagamitan ng MOCVD, tinitiyak ang tumpak at matatag na paghahatid ng gas sa panahon ng pag -unlad ng epitaxial, at isang kailangang -kailangan na materyal sa semiconductor epitaxial growth. Maligayang pagdating upang kumunsulta sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Tantalum Carbide Coated Pous Graphite

CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor

TAC na pinahiran na singsing

Gan Epitaxy Undertaker

TAC Coated Wafer Susceptor

TAC Coating Guide Rings

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address