Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.

Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.

Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.

Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC	3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kalinisan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide coated Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover para sa MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Aixtron Satellite wafer carrier SiC Coating Epi receiver SiC coating halfmoon graphite parts

View as

Sic coated wafer carrier para sa etching

Bilang isang nangungunang tagagawa ng Tsino at tagapagtustos ng mga produktong patong ng karbida ng silikon, ang Veteksemicon's SIC coated wafer carrier para sa pag -etching ay gumaganap ng isang hindi mapapalitan na pangunahing papel sa proseso ng etching na may mahusay na mataas na katatagan ng temperatura, natitirang paglaban ng kaagnasan at mataas na thermal conductivity.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD SIC Coated Wafer Susceptor

Ang Veteksemicon's CVD SIC Coated Wafer Susceptor ay isang solusyon sa paggupit para sa mga proseso ng epitaxial na semiconductor, na nag-aalok ng sertipikadong ultra-high kadalisayan (≤100ppb, sertipikadong ICP-E10) at pambihirang thermal/kemikal na katatagan para sa kontaminasyon-resistant na paglaki ng GaN, SIC, at Silicon-based EPI-Layers. Inhinyero na may katumpakan na teknolohiya ng CVD, sinusuportahan nito ang 6 "/8"/12 "na mga wafer, tinitiyak ang kaunting thermal stress, at huminto sa matinding temperatura hanggang sa 1600 ° C.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Planetary Susceptor

Ang aming SIC coated planetary na Susceptor ay isang pangunahing sangkap sa proseso ng mataas na temperatura ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Pinagsasama ng disenyo nito ang grapayt na substrate na may patong ng silikon na karbida upang makamit ang komprehensibong pag -optimize ng pagganap ng pamamahala ng thermal, katatagan ng kemikal at lakas ng makina.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC coated sealing singsing para sa epitaxy

Ang aming SIC Coated Sealing Ring para sa Epitaxy ay isang sangkap na may mataas na pagganap na sealing batay sa graphite o carbon-carbon composite na pinahiran ng high-kadalisayan na silikon na karbida (sic) sa pamamagitan ng pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD), na pinagsasama ang katatagan ng grapiko na may matinding paglaban sa kapaligiran ng SIC, at idinisenyo para sa semiconductor epitaxial na kagamitan (E.G.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Single Wafer EPI Graphite Undertaker

Ang Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Susceptor ay idinisenyo para sa high-performance silikon carbide (sic), gallium nitride (GaN) at iba pang pangatlong henerasyon na semiconductor epitaxial process, at ang pangunahing sangkap ng pagtatanong ng mataas na precision epitaxial sheet sa mass production.Welcome Your Mother Inquiry.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Plasma etching focus ring

Ang isang mahalagang sangkap na ginamit sa proseso ng pag -etching ng wafer ay ang plasma etching focus singsing, na ang pag -andar ay upang hawakan ang wafer sa lugar upang mapanatili ang density ng plasma at maiwasan ang kontaminasyon ng mga wafer sides.Vetek semiconductor ay nagbibigay ng plasma etching focus singsing na may iba't ibang materyal tulad ng monocrystalline silicon, silicon carbide, boron carbide at iba pang mga ceramic na materyales.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Silicon Carbide Coating

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Sic coated wafer carrier para sa etching

CVD SIC Coated Wafer Susceptor

SIC Coated Planetary Susceptor

SIC coated sealing singsing para sa epitaxy

Single Wafer EPI Graphite Undertaker

Plasma etching focus ring

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address