Solid silikon karbida

Ang Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide ay isang mahalagang sangkap na ceramic sa kagamitan sa plasma etching, solidong silikon na karbida (CVD Silicon Carbide) kasama ang mga bahagi sa kagamitan sa etchingTumutuon ng mga singsing, gas showerhead, tray, mga singsing sa gilid, atbp Dahil sa mababang reaktibo at kondaktibiti ng solidong silikon na karbida (CVD silikon na karbida) sa klorin - at mga gas na naglalaman ng fluorine, ito ay isang mainam na materyal para sa mga kagamitan sa plasma etching na nakatuon sa mga singsing at iba pang mga sangkap.

Halimbawa, ang singsing ng pokus ay isang mahalagang bahagi na nakalagay sa labas ng wafer at sa direktang pakikipag -ugnay sa wafer, sa pamamagitan ng pag -apply ng isang boltahe sa singsing upang ituon ang plasma na dumadaan sa singsing, sa gayon ay nakatuon ang plasma sa wafer upang mapagbuti ang pagkakapareho ng pagproseso. Ang tradisyunal na singsing na pokus ay gawa sa silikon oQuartz.

SOlid Sic Focus RingPrinsipyo ng pagtatrabaho：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Paghahambing ng SI batay sa Focus Ring at CVD sic Focusing Ring ：

Paghahambing ng SI batay sa pagtuon ng singsing at CVD sic Focusing Ring
Item	At	Cvd sic
Density (g/cm³)	2.33	3.21
Band Gap (EV)	1.12	2.3
Thermal conductivity (w/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Nababanat na modulus (GPA)	150	440
Tigas (GPA)	11.4	24.5
Paglaban sa pagsusuot at kaagnasan	Mahina	Mahusay

Nag -aalok ang Vetek Semiconductor ng mga advanced na solidong silikon na karbida (CVD silikon karbida) na mga bahagi tulad ng SIC na nakatuon sa mga singsing para sa kagamitan sa semiconductor. Ang aming solidong silikon na karbida na nakatuon sa mga singsing ay higit pa sa tradisyonal na silikon sa mga tuntunin ng lakas ng mekanikal, paglaban ng kemikal, thermal conductivity, high-temperatura tibay, at paglaban ng ion etching.

Ang mga pangunahing tampok ng aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay kasama:

Mataas na density para sa nabawasan na mga rate ng etching.

Napakahusay na pagkakabukod na may isang mataas na bandgap.

Mataas na thermal conductivity at mababang koepisyent ng thermal pagpapalawak.

Superior mechanical effects resistance at pagkalastiko.

Mataas na katigasan, pagsusuot ng pagsusuot, at paglaban sa kaagnasan.

Ginawa gamitPlasma na Pinahusay na Chemical Vapor Deposition (PECVD)Mga pamamaraan, ang aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay nakakatugon sa pagtaas ng mga hinihingi ng mga proseso ng etching sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mga ito ay dinisenyo upang mapaglabanan ang mas mataas na kapangyarihan at lakas ng plasma, partikular saCapacitively Coupled Plasma (CCP)mga system.

Ang Vetek Semiconductor's SIC Focusing Rings ay nagbibigay ng pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa pagmamanupaktura ng aparato ng semiconductor. Piliin ang aming mga sangkap ng SIC para sa higit na kalidad at kahusayan.

View as

CVD sic coated grapayt shower head

Ang CVD sic coated grapayt shower head mula sa Veteksemicon ay isang sangkap na may mataas na pagganap na partikular na idinisenyo para sa mga proseso ng semiconductor chemical vapor deposition (CVD). Ginawa mula sa high-kadalisayan grapiko at protektado ng isang kemikal na pag-aalis ng singaw (CVD) silikon carbide (SIC) coating, ang shower head na ito ay naghahatid ng natitirang tibay, thermal stability, at paglaban sa mga kinakailangang proseso ng gas. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic gilid singsing

Ang Veteksemicon High-Purity Sic Edge Rings, na espesyal na idinisenyo para sa kagamitan sa semiconductor etching, ay nagtatampok ng natitirang paglaban sa kaagnasan at katatagan ng thermal, makabuluhang pagpapahusay ng ani ng wafer

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Mataas na kadalisayan cvd sic hilaw na materyal

Ang mataas na kadalisayan CVD sic raw material na inihanda ng CVD ay ang pinakamahusay na mapagkukunan ng materyal para sa paglago ng crystal ng silikon sa pamamagitan ng pisikal na transportasyon ng singaw. Ang density ng mataas na kadalisayan ng CVD sic raw na materyal na ibinibigay ng Vetek semiconductor ay mas mataas kaysa sa mga maliliit na partikulo na nabuo sa pamamagitan ng kusang pagkasunog ng mga gas na naglalaman ng C, at hindi ito nangangailangan ng isang nakalaang sintering furnace at may halos pare-pareho ang rate ng pagsingaw. Maaari itong lumago ng napakataas na kalidad na mga solong kristal. Inaasahan ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Solid sic wafer carrier

Ang solidong SIC wafer carrier ng Vetek Semiconductor ay idinisenyo para sa mataas na temperatura at kaagnasan na lumalaban sa mga kapaligiran sa mga proseso ng epitaxial na semiconductor at angkop para sa lahat ng mga uri ng mga proseso ng paggawa ng wafer na may mataas na mga kinakailangan sa kadalisayan. Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagapagtustos ng wafer carrier sa China at inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa industriya ng semiconductor.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Solid sic disc na hugis shower head

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng kagamitan sa semiconductor sa China at isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos ng solidong SIC disc na hugis shower head. Ang aming disc shower shower head ay malawakang ginagamit sa manipis na paggawa ng pag -aalis ng pelikula tulad ng proseso ng CVD upang matiyak ang pantay na pamamahagi ng reaksyon gas at isa sa mga pangunahing sangkap ng hurno ng CVD.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic sealing part

Bilang isang advanced na sic sealing bahagi ng produkto ng produkto at pabrika sa China. Ang bahagi ng Vetek Semiconducto sic sealing ay isang sangkap na may mataas na pagganap na sealing na malawakang ginagamit sa pagproseso ng semiconductor at iba pang matinding proseso ng mataas na temperatura at mataas na presyon. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Solid silikon karbida na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Solid silikon karbida

Ang mga pangunahing tampok ng aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay kasama:

CVD sic coated grapayt shower head

Sic gilid singsing

Mataas na kadalisayan cvd sic hilaw na materyal

Solid sic wafer carrier

Solid sic disc na hugis shower head

Sic sealing part

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address