Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

CVD TAC Coated Graphite Ring

Ang CVD TAC Coated Graphite Ring ni Veteksemicon ay ininhinyero upang matugunan ang matinding hinihingi ng pagproseso ng semiconductor wafer. Ang paggamit ng teknolohiyang pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD), isang siksik at pantay na tantalum carbide (TAC) coating ay inilalapat sa mga substrate na may mataas na kadalisayan, nakamit ang pambihirang tigas, pagsusuot ng resistensya, at kawalang-kilos ng kemikal. Sa katha ng semiconductor, ang CVD TAC coated grapayt singsing ay malawakang ginagamit sa MOCVD, etching, pagsasabog, at mga silid ng paglaki ng epitaxial, na nagsisilbing isang pangunahing sangkap o sealing na sangkap para sa mga wafer carriers, mga susi, at mga pagtitipon ng mga pagtitipon. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Porous TAC Coated Graphite Ring

Ang porous TAC coated grapayt singsing na ginawa ni Vetek ay gumagamit ng isang magaan na porous grapayt substrate at pinahiran ng isang mataas na kadalisayan na tantalum carbide coating, na nagtatampok ng mahusay na pagtutol sa mataas na temperatura, kinakaing unti-unting gas at pagguho ng plasma

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Graphite Guide Ring

Ang aming TAC-coated graphite gabay na singsing ay mga sangkap na katumpakan ng mga sangkap para sa pagmamanupaktura ng semiconductor wafer. Nagtatampok ang mga ito ng isang high-purity grapayt na substrate na pinahiran ng isang wear-resistant at chemically inert tantalum carbide (TAC) coating. Dinisenyo para sa hinihingi na mga proseso tulad ng epitaxial deposition at plasma etching, tinitiyak nila ang tumpak na pagkakahanay ng wafer at katatagan, epektibong kontrolin ang kontaminasyon, at makabuluhang pahabain ang buhay ng sangkap. Nag -aalok ang Veteksemicon ng mga serbisyo sa pagpapasadya upang perpektong tumugma sa iyong kagamitan at mga kinakailangan sa proseso.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC na pinahiran na singsing para sa paglago ng pvt ng sic solong kristal

Bilang isa sa nangungunang mga supplier ng produkto ng TAC coating sa China, ang Vetek Semiconductor ay nakapagbigay ng mga customer na may mataas na kalidad na mga pasadyang mga bahagi ng TAC. Ang TAC Coated Ring para sa paglago ng PVT ng SIC Single Crystal ay isa sa pinakatanyag at mature na produkto ng Vetek Semiconductor. Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paglago ng PVT ng proseso ng kristal ng SIC at makakatulong sa mga customer na lumago ang mataas na kalidad na mga kristal na SIC. Inaasahan ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Ang CVD TAC ay pinahiran ng three-petal gabay na singsing

Ang Vetek Semiconductor ay nakaranas ng maraming taon ng pag -unlad ng teknolohikal at pinagkadalubhasaan ang nangungunang proseso ng teknolohiya ng CVD TAC coating. Ang CVD TAC Coated Three-Petal Guide Ring ay isa sa pinaka-mature na CVD TAC na mga produktong Vetek Semiconductor at isang mahalagang sangkap para sa paghahanda ng mga kristal ng SIC sa pamamagitan ng pamamaraan ng PVT. Sa tulong ng Vetek Semiconductor, naniniwala ako na ang iyong SIC crystal production ay magiging mas maayos at mas mahusay.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum Carbide Coating Ring

Ang Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Ring ay isang kailangang -kailangan na sangkap sa industriya ng semiconductor, partikular sa pag -etching ng mga wafer ng SIC. Ang kumbinasyon ng isang base ng grapayt at coating ng TAC ay nagsisiguro ng mahusay na pagganap sa mataas na temperatura at agresibong kapaligiran ng kemikal. Sa pamamagitan ng pinahusay na katatagan ng thermal, paglaban ng kaagnasan, at lakas ng makina, ang tantalum carbide coated singsing ay tumutulong sa mga tagagawa ng semiconductor na makamit ang katumpakan, pagiging maaasahan, at de-kalidad na mga resulta sa kanilang mga proseso ng paggawa.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

CVD TAC Coated Graphite Ring

Porous TAC Coated Graphite Ring

TAC Coated Graphite Guide Ring

TAC na pinahiran na singsing para sa paglago ng pvt ng sic solong kristal

Ang CVD TAC ay pinahiran ng three-petal gabay na singsing

Tantalum Carbide Coating Ring

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address