Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.
Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:
Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.
Mga Pangunahing Tampok:
●Katatagan ng temperatura
●Napakataas na kadalisayan
●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si
●Paglaban sa thermal stock
●Malakas na pagdirikit sa grapayt
●Conformal coating coverage
● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)
Mga aplikasyon:
●Wafer carrier
● Inductive heating susceptor
● Resistive heating element
●Satellite disk
●Shower head
●Guide ring
●LED Epi receiver
●Injection nozzle
●Masking singsing
● Heat shield
Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:
Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:
|
Mga pisikal na katangian ng TaC coating
|
|
Densidad
|
14.3 (g/cm³)
|
|
Tukoy na emissivity
|
0.3
|
|
Thermal expansion coefficient
|
6.3 10-6/K
|
|
Katigasan (HK)
|
2000 HK
|
|
Paglaban
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Thermal na katatagan
|
<2500℃
|
|
Mga pagbabago sa laki ng graphite
|
-10~-20um
|
|
Kapal ng patong
|
≥20um karaniwang halaga (35um±10um)
|
TaC coating EDX data：
Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:
|
Elemento
|
Atomic na porsyento
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Katamtaman
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
Ang M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
