Silicon nitride

1. Napakahusay na katatagan ng kemikal

Ang Silicon Nitride Ceramics ay may mahusay na katatagan ng kemikal at maaaring makatiis ng iba't ibang mga malakas na acid, alkalis at kinakaing unti -unting gas. Sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor ay madalas na kailangan upang makitungo sa mga kinakaing unti-unting kemikal, ang mga keramika ng silikon na nitride ay maaaring magbigay ng pangmatagalang garantiya ng matatag na pagganap.

2. Mahusay na mga katangian ng mekanikal

Ang Silicon Nitride Ceramics ay may mataas na tigas, mahusay na lakas ng compressive at paglaban sa pagsusuot, magagawang makatiis ng mekanikal na stress at pagsusuot ng ibabaw, hindi madaling pagpapapangit o pagkalagot. Ang mekanikal na pag -aari na ito ay ginagawang angkop bilang isang materyal para sa mga bahagi ng istruktura at proseso sa kagamitan sa semiconductor.

3. Katatagan ng mataas na temperatura

Ang Silicon Nitride Ceramics ay maaaring mapanatili ang katatagan sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura, hindi madaling mapahina o matunaw, at makatiis sa pagproseso ng mataas na temperatura at paghawak sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Pinapayagan nitong magamit ito sa paggawa ng mga sangkap na proseso ng proseso ng mga pangunahing sangkap, tulad ng mga grippers, mga sangkap ng reaksyon ng silid at iba pa.

4. Magaling na mga pag -aari ng insulating

Ang mga pag -aari ng insulating ay kritikal sa pagmamanupaktura ng aparato ng semiconductor. Ang Silicon Nitride Ceramics ay may mahusay na mga pag -aari ng insulating, na maaaring epektibong ihiwalay at maprotektahan ang mga sangkap ng circuit mula sa kasalukuyang pagtagas o panghihimasok sa electromagnetic, na tumutulong upang mapagbuti ang katatagan at pagiging maaasahan ng aparato.

5. Thermal conductivity at thermal conductivity

Ang Silicon Nitride Ceramics ay may mataas na thermal conductivity, maaaring epektibong magsagawa at mawala ang init na nabuo ng aparato, na tumutulong upang mapanatili ang katatagan ng temperatura ng aparato sa proseso ng pagpapatakbo. Ito ay kritikal sa mataas na pagganap na operasyon ng mga aparato ng semiconductor.

1. Electrostatic Chucks at Etching Chamber Components

Ang Silicon Nitride Ceramics ay madalas na ginagamit bilang mga materyales para sa mga electrostatic chuck at etching chamber na mga sangkap sa semiconductor manufacturing dahil sa kanilang mahusay na katatagan ng kemikal at mataas na temperatura ng paglaban. Ang mga electrostatic chuck ay ginagamit upang ayusin at patatagin ang mga wafer o mga substrate, habang ang mga sangkap ng silid ay ginagamit upang makatiis ng mga kinakaing unti-unting gas at mga kapaligiran na may mataas na temperatura.

2. Mga Plato ng Pamamahagi ng Gas at Reflectors

Ang mga keramika ng silikon nitride ay ginagamit din sa paggawa ng mga kagamitan sa semiconductor sa mga plato ng pamamahagi ng gas at mga salamin. Ang mga plate ng pamamahagi ng gas ay ginagamit upang pantay na ipamahagi ang reaktibo o proteksiyon na mga gas sa silid ng reaksyon, habang ang mga salamin ay ginagamit upang ma -optimize ang pamamahagi at pagmuni -muni ng ilaw sa loob ng silid ng reaksyon upang mapabuti ang kahusayan ng reaksyon at pagkakapareho.

3. Mga may hawak at thermal na sangkap

Ang Silicon Nitride Ceramics ay madalas na ginagamit bilang mga may hawak at mga sangkap ng pamamahala ng thermal sa kagamitan sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mga sangkap na ito ay kailangang magkaroon ng mahusay na lakas ng mekanikal, pagsusuot ng pagsusuot at thermal conductivity upang matiyak ang matatag na operasyon ng kagamitan at kawastuhan sa pagproseso ng aparato.

4. Chemical Mechanical Polishing (CMP) Pads

Ang silikon nitride ceramic ay malawakang ginagamit bilang isang materyal na pad sa proseso ng kemikal na mekanikal na buli (CMP). Ito ay may mahusay na flatness at pagsusuot ng pagsusuot, at maaaring magbigay ng matatag na suporta sa panahon ng proseso ng buli upang matiyak ang pagiging flat at katumpakan ng ibabaw ng semiconductor wafer.