Tantalum Carbide Coated Guide Ring

Ang ikatlong henerasyong semiconductor silicon carbide (SiC) na paglaki ng kristal ay nangangailangan ng mataas na temperatura (2000-2200°C) at nangyayari sa maliliit na silid na may mga kumplikadong atmosphere na naglalaman ng Si, C, SiC na mga bahagi ng singaw. Ang mga graphite volatile at particulate sa mataas na temperatura ay maaaring makaapekto sa kalidad ng kristal, na humahantong sa mga depekto tulad ng carbon inclusions. Habang ang mga graphite crucibles na may SiC coatings ay karaniwan sa epitaxial growth, para sa silicon carbide homoepitaxy sa humigit-kumulang 1600°C, ang SiC ay maaaring sumailalim sa mga phase transition, na nawawala ang mga proteksiyon na katangian nito sa graphite. Upang mapagaan ang mga isyung ito, epektibo ang isang tantalum carbide coating. Ang Tantalum carbide, na may mataas na melting point (3880°C), ay ang tanging materyal na nagpapanatili ng magandang mekanikal na katangian sa itaas ng 3000°C, na nag-aalok ng mahusay na mataas na temperatura na paglaban sa kemikal, erosion oxidation resistance, at superior high-temperature na mekanikal na katangian.

Sa proseso ng paglago ng SiC crystal, ang pangunahing paraan ng paghahanda ng solong kristal ng SiC ay paraan ng PVT. Sa ilalim ng mababang presyon at mga kondisyon ng mataas na temperatura, ang silicon carbide powder na may mas malaking laki ng particle (>200μm) ay nabubulok at nag-sublimate sa iba't ibang mga sangkap ng gas phase, na dinadala sa seed crystal na may mas mababang temperatura sa ilalim ng drive ng temperature gradient at tumutugon at nagdedeposito, at i-recrystallize sa silicon carbide solong kristal. Sa prosesong ito, ang Tantalum carbide coated guide ring ay gumaganap ng isang mahalagang papel upang matiyak na ang daloy ng gas sa pagitan ng lugar ng pinagmumulan at ang lugar ng paglago ay matatag at pare-pareho, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng paglaki ng kristal at binabawasan ang epekto ng hindi pantay na daloy ng hangin.

Ang papel na ginagampanan ng tantalum carbide coated guide ring sa PVT method SiC single crystal growth

● Patnubay sa Airflow at Pamamahagi

Ang pangunahing function ng TaC coating guide ring ay upang makontrol ang daloy ng source gas at matiyak na ang daloy ng gas ay pantay na ipinamamahagi sa buong lugar ng paglago. Sa pamamagitan ng pag-optimize sa landas ng daloy ng hangin, makakatulong ito sa gas na maideposito nang mas pantay sa lugar ng paglago, sa gayo'y tinitiyak ang higit na pare-parehong paglaki ng SiC solong kristal at binabawasan ang mga depekto na dulot ng hindi pantay na daloy ng hangin. Ang uniporme ng daloy ng gas ay isang kritikal na kadahilanan para sa kalidad ng kristal.

●  Kontrol sa gradient ng temperatura

Sa proseso ng paglago ng SIC solong kristal, ang temperatura ng gradient ay napaka kritikal. Ang TAC Coating Guide Ring ay makakatulong sa pag -regulate ng daloy ng gas sa lugar ng mapagkukunan at lugar ng paglago, hindi direktang nakakaapekto sa pamamahagi ng temperatura. Ang matatag na daloy ng hangin ay tumutulong sa pagkakapareho ng patlang ng temperatura, sa gayon ay mapabuti ang kalidad ng kristal.

● Pagbutihin ang kahusayan sa paghahatid ng gas

Dahil ang SiC single crystal growth ay nangangailangan ng tumpak na kontrol ng evaporation at deposition ng source material, ang disenyo ng TaC coating guide ring ay maaaring mag-optimize ng gas transmission efficiency, na nagpapahintulot sa source material na gas na dumaloy nang mas mahusay sa growth area, pagpapabuti ng growth rate at kalidad ng nag-iisang kristal.

Ang tantalum carbide coated guide ring ng VeTek Semiconductor ay binubuo ng de-kalidad na graphite at TaC coating. Ito ay may mahabang buhay ng serbisyo na may malakas na paglaban sa kaagnasan, malakas na pagtutol sa oksihenasyon, at malakas na lakas ng makina. Matutulungan ka ng teknikal na koponan ng VeTek Semiconductor na makamit ang pinakamabisang teknikal na solusyon. Anuman ang iyong mga pangangailangan, ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng kaukulang customized na mga produkto at umasa sa iyong pagtatanong.

Mga pisikal na katangian ng patong ng TAC

Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coated Guide Ring Products Shops