Ano ang Tantalum Carbide (TAC)？

Tantalum Carbide (TAC)ay isang binary compound ng tantalum (TA) at carbon (C), na may pormula ng kemikal na karaniwang ipinahayag bilang tacₓ (kung saan ang X ay mula sa 0.4 hanggang 1). Ito ay inuri bilang isang refractory ceramic material na may mahusay na tigas, mataas na temperatura na katatagan at metal na kondaktibiti.

1. Istraktura ng Tantalum Carbide

1.1 Komposisyon ng kemikal at istraktura ng kristal

Ang Tantalum carbide ay isang binary ceramic compound na binubuo ng tantalum (TA) at carbon (C).

Ang istraktura ng kristal nito ay mukha na nakasentro sa cubic (FCC), na nagbibigay ng mahusay na katigasan at katatagan.

1.2 Mga Katangian ng Bonding

Ang malakas na bonding ng covalent ay ginagawang labis na mahirap at lumalaban sa pagpapapangit.

Ang TAC ay may napakababang koepisyent ng pagsasabog at nananatiling matatag kahit na sa mataas na temperatura.

Tantalum carbide (TAC) coating sa isang mikroskopikong cross-section

2. Mga pisikal na katangian ng tantalum carbide

2.1 ultra-high melting point

Sa pamamagitan ng isang natutunaw na punto ng 3,880 ° C, ang Tantalum carbide ay may isa sa pinakamataas na punto ng pagtunaw ng anumang kilalang materyal, na nagreresulta sa mahusay na katatagan sa matinding temperatura.

2.2 Napakahusay na katigasan

Sa pamamagitan ng isang Mohs tigas na humigit-kumulang na 9-10, malapit ito sa brilyante at samakatuwid ay malawakang ginagamit sa mga coatings na lumalaban sa pagsusuot.

2.3 Magandang elektrikal na kondaktibiti

Hindi tulad ng karamihan sa mga ceramic na materyales, ang TAC ay may isang mataas na metal na tulad ng elektrikal na kondaktibiti, na ginagawang mahalaga para sa mga aplikasyon sa ilang mga elektronikong aparato.

2.4 Paglaban sa Corrosion at Oxidation

Ang TAC ay labis na lumalaban sa kaagnasan ng acid at pinapanatili ang integridad ng istruktura nito sa malupit na mga kapaligiran sa mahabang panahon.

Gayunpaman, ang TAC ay maaaring mag -oxidize sa tantalum pentoxide (ta₂o₅) sa hangin sa itaas ng 1,500 ° C. 

3. Karaniwang tapos na mga produktong tantalum carbide

3.1 Tantalum Carbide Coated Parts

● CVD Tantalum Carbide Coated Susceptor: Ginamit sa semiconductor epitaxy at mataas na temperatura sa pagproseso.

● Tantalum Carbide Coated Graphite Parts: Ginamit sa mga silid na may mataas na temperatura at mga silid ng pagproseso ng wafer. Kasama sa mga halimbawa ang tantalum carbide coated porous grapayt, na makabuluhang nagpapabuti sa kahusayan ng proseso at kalidad ng kristal sa pamamagitan ng pag -optimize ng daloy ng gas sa panahon ng paglaki ng kristal ng SIC, pagbabawas ng thermal stress, pagpapabuti ng thermal na pagkakapareho, pagpapahusay ng paglaban sa kaagnasan, at pagpigil sa pagsasabog ng karumihan.

● Tantalum carbide coated rotation plate: Ang Veteksemicon's TAC Coated Rotation Plate ay may mataas na komposisyon ng kadalisayan na may mas mababa sa 5ppm na nilalaman ng karumihan at isang siksik at pantay na istraktura, na malawakang ginagamit sa sistema ng LPE EPI, sistema ng aixtron, nuflare system, Tel CVD system, Veeco system, TSI system. Mga System, TSI Systems.

● TAC Coated Heater: Ang kumbinasyon ng napakataas na pagtunaw ng patong ng TAC (~ 3880 ° C) ay nagbibigay -daan upang mapatakbo ito sa napakataas na temperatura, lalo na sa paglaki ng gallium nitride (GaN) epitaxial layer sa metal na organikong kemikal na singaw ng singaw (MOCVD).

● Tantalum carbide coated crucible: Ang CVD TAC Coated Crucibles ay madalas na gumaganap ng isang pangunahing papel sa paglaki ng SIC solong kristal ni Pvt.

3.2 Mga tool sa pagputol at mga sangkap na lumalaban sa pagsusuot

● Tantalum carbide coated carbide cutting tool: Pagbutihin ang buhay ng tool at katumpakan ng machining.

● Mga nozzle ng aerospace at mga kalasag ng init: magbigay ng proteksyon sa matinding init at kinakaing unti -unting kapaligiran.

3.3 Tantalum Carbide High Performance Ceramic Products

● Spacecraft Thermal Protection Systems (TPS): para sa spacecraft at hypersonic na sasakyan.

● Mga coatings ng nukleyar na gasolina: Protektahan ang mga pellets ng nukleyar na gasolina mula sa kaagnasan.

4. Mga Application ng Tantalum Carbide sa Paggawa ng Semiconductor

4.1 Tantalum Carbide Coated Carriers (Susceptor) para sa mga proseso ng epitaxial

Papel: Ang mga coatings ng Tantalum na karbida na inilalapat sa mga grapayt na carrier ay nagpapabuti sa pagkakapareho ng thermal at katatagan ng kemikal sa pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD) at mga proseso ng pag-aalis ng singaw ng metal-organikong kemikal (MOCVD).

Kalamangan: nabawasan ang proseso ng kontaminasyon at pinalawak na buhay ng carrier.

4.2 Mga sangkap ng etch at pag -aalis

Wafer Transfer Rings at Shields: Ang Tantalum Carbide Coating ay nagpapabuti sa tibay ng mga silid ng plasma etch.

Bentahe: Pag -iwas sa mga agresibong kapaligiran ng etching at binabawasan ang kontaminadong pag -ulan.

4.3 Mga elemento ng pag -init ng mataas na temperatura

Application sa paglago ng SIC CVD: Ang Tantalum Carbide Coated Heating Element ay nagpapabuti sa katatagan at kahusayan ng proseso ng katha ng wafer ng silikon (SIC).

4.4 Protective Coatings para sa Kagamitan sa Paggawa ng Semiconductor

Bakit kailangan mo ng TAC Coating?  Ang pagmamanupaktura ng Semiconductor ay nagsasangkot ng matinding temperatura at kinakaing unti -unting gas, at ang mga coatings ng carbide ng karbida ay epektibo sa pagpapabuti ng katatagan at buhay ng kagamitan.

5. Bakit pumiliSemicon?

Ang Veteksemicon ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ngTantalum Carbide CoatingMga materyales sa industriya ng semiconductor sa China. Kasama sa aming pangunahing mga produkto ang CVD Tantalum Carbide Coated Parts, sintered TAC na pinahiran na bahagi para sa paglaki ng kristal ng SIC o mga proseso ng semiconductor epitaxy. Ang Veteksemicon ay nakatuon na maging isang tagabago at pinuno sa industriya ng patong ng Tantalum Carbide sa pamamagitan ng tuluy -tuloy na R&D at pag -iiba ng teknolohiya.