Gabay sa Pagpili

Ang thermal bottleneck ng mga high-power chip at module ay kadalasang hindi lamang "ay sapat na mataas ang conductivity," ngunit kung magkatugma ang conductivity at thermal expansion. Ang mga pinagsama-samang brilyante ay nagpapataas ng thermal conductivity at nagpapababa ng CTE sa pamamagitan ng mataas na bahagi ng dami ng brilyante, na bumubuo ng tatlong karaniwang landas: brilyante-tanso, brilyante-aluminyo at brilyante-SiC. Batay sa mga karaniwang hanay ng pagganap, ipinapaliwanag ng artikulong ito ang mga hangganan ng pagpili, mga sitwasyon ng aplikasyon at mga checkpoint sa pagpapakilala.

Ang tunay na tanong sa pagpili ng bahagi ng silid ay madalas na hindi "mga keramika o kuwarts," ngunit: sa ilalim ng kasalukuyang temperatura, kaagnasan, mga de-koryenteng at mekanikal na mga hadlang, kung aling materyal ang maaaring makontrol ang mga particle, habang-buhay at magkakasamang gastos. Bumubuo ang artikulong ito ng pinag-isang balangkas ng pagpili para sa mga advanced na ceramics at quartz ng semiconductor, ipinapaliwanag ang paghahati ng kanilang tungkulin, isang diskarte sa pagtatasa ng apat na dimensyon, at mga landas sa pagbabasa para sa pagkabigo, pag-customize at pagkuha—at gumuhit ng malinaw na linya sa pagitan ng bulk silicon carbide at graphite + CVD SiC coating.

Ang Solid SiC ay hindi isang "mas mahal na coating substitute," ngunit isa pang teknikal na landas para sa walang-interface, plasma-resistant at ultra-long-lifetime na mga sitwasyon. Ipinapaliwanag ng artikulong ito ang mga hangganan ng aplikasyon nito sa pag-ukit at paggamit ng mataas na kadalisayan, paghahambing ng TCO sa coated graphite, at mga verification point para sa pagpapakilala.Kapag paulit-ulit na nakikita ng isang linya ang delamination ng coating o pag-akyat ng particle sa mga focus ring at mga katulad na posisyon, ang isyu ay kadalasang hindi lamang "hindi sapat na paglilinis" o "isang masamang lugar," ngunit kung ang materyal na anyo ay tumutugma sa kapaligiran ng plasma.

Ang mga pinahiran na bahagi ay hindi kailangang ganap na i-scrap sa bawat panghabambuhay na node. Ipinapaliwanag ng artikulong ito kung kailan ang mga bahagi ng CVD SiC coated graphite ay angkop para sa paglilinis at pagbabagong-buhay, kung paano tanggapin ang mga ito pagkatapos, at kung paano pamahalaan ang kapalit na cadence na may full-lifecycle mindset—na tumutulong sa balanseng ani at cost per run na mas maaasahan.