QR Code

Tungkol sa atin
Mga produkto
Makipag-ugnayan sa amin
Telepono
Fax
+86-579-87223657
E-mail
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China
Ang VeTek Semiconductor ay ang iyong makabagong kasosyo sa larangan ng pagproseso ng semiconductor. Sa aming malawak na portfolio ng mga kumbinasyon ng materyal na Silicon Carbide Ceramics na may semiconductor-grade, mga kakayahan sa paggawa ng bahagi, at mga serbisyo ng application engineering, matutulungan ka naming malampasan ang malalaking hamon. Ang teknikal na engineering ng Silicon Carbide Ceramics ay malawakang inilalapat sa industriya ng semiconductor dahil sa kanilang natatanging pagganap sa materyal. Ang ultra-pure Silicon Carbide Ceramics ng VeTek Semiconductor ay madalas na ginagamit sa buong cycle ng paggawa at pagproseso ng semiconductor.
Nagbibigay ang VeTek Semiconductor ng mga engineered ceramics na bahagi na partikular na idinisenyo para sa batch diffusion at mga kinakailangan sa LPCVD kabilang ang:
• Mga Baffle at may hawak
• Mga Injector
• Liner at mga tubo ng proseso
• Silicon Carbide Cantilever Paddles
• Wafer bangka at pedestal
SiC Cantilever Paddle
Mga Tubong Proseso ng SiC
Silicon Carbide Process Tube
SiC vertical wafer boat
SiC pahalang na wafer boat
SiC horizontals quare wafer bangka
SiC LPCVD wafer boat
SiC horizontal plate boat
SiC Ceramic Seal Ring
I-minimize ang kontaminasyon at hindi naka-iskedyul na pagpapanatili na may mataas na kadalisayan na mga bahagi na ininhinyero para sa kahirapan ng pagproseso ng plasma etch, kabilang ang:
Tumutunog ang mga singsing
Mga nozzle
Mga kalasag
Mga showerhead
Windows / Mga takip
Iba pang mga custom na bahagi
Nagbibigay ang VeTek Semiconductor ng mga advanced na sangkap ng materyal na iniakma para sa mataas na temperatura na mga aplikasyon sa pagproseso ng thermal sa industriya ng semiconductor. Ang mga application na ito ay sumasaklaw sa RTP, mga proseso ng Epi, diffusion, oxidation, at annealing. Ang aming mga teknikal na ceramics ay idinisenyo upang makayanan ang mga thermal shock, na naghahatid ng maaasahan at pare-parehong pagganap. Sa mga bahagi ng VeTek Semiconductor, makakamit ng mga tagagawa ng semiconductor ang mahusay at mataas na kalidad na thermal processing, na nag-aambag sa pangkalahatang tagumpay ng produksyon ng semiconductor.
• Mga diffuser
• Mga insulator
• Mga Susceptor
• Iba pang mga custom na thermal component
Mga pisikal na katangian ng Recrystallized Silicon Carbide | |
Ari-arian | Karaniwang Halaga |
Temperatura sa pagtatrabaho (°C) | 1600°C (may oxygen), 1700°C (nagpapababa ng kapaligiran) |
SiC / SiC na nilalaman | > 99.96% |
Si / Libreng Si content | < 0.1% |
Bulk density | 2.60-2.70 g/cm3 |
Maliwanag na porosity | < 16% |
Lakas ng compression | > 600 MPa |
Malamig na baluktot na lakas | 80-90 MPa (20°C) |
Mainit na baluktot na lakas | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPa |
Thermal shock resistance | Napakahusay |
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co, Ltd All Rights Reserved.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |