TAC Coating Chuck

Ang Vetek Semiconductor's TAC Coating Chuck ay ang mainam na solusyon para sa pagkamit ng mga pambihirang resulta sa proseso ng SIC EPI. Sa pamamagitan ng tantalum carbide coating, mataas na temperatura na pagtutol, at kawalang-kilos ng kemikal, binibigyan ka ng aming produkto upang makagawa ng mga de-kalidad na kristal na may katumpakan at pagiging maaasahan.Welcome upang magtanong sa amin.

Ang TAC Tantalum Carbide ay isang materyal na karaniwang ginagamit upang amerikana ang ibabaw ng mga panloob na bahagi ng kagamitan sa epitaxial. Mayroon itong mga sumusunod na katangian:

● Napakahusay na paglaban sa mataas na temperatura: Ang tantalum carbide coating ay maaaring makatiis ng mga temperatura hanggang sa 2200 ° C, na ginagawang perpekto para sa mga aplikasyon sa mataas na temperatura ng mga kapaligiran tulad ng mga silid ng reaksyon ng epitaxial.

● Mataas na tigas: Ang tigas ng tantalum carbide ay umabot sa halos 2000 HK, na kung saan ay mas mahirap kaysa sa karaniwang ginagamit na hindi kinakalawang na asero o haluang metal na aluminyo, na maaaring epektibong maiwasan ang pagsusuot sa ibabaw.

● Malakas na katatagan ng kemikal: Ang Tantalum Carbide Coating ay gumaganap nang maayos sa mga kemikal na nakakainis na kapaligiran at maaaring lubos na mapalawak ang buhay ng serbisyo ng mga sangkap na kagamitan sa epitaxial.

● Magandang elektrikal na kondaktibiti: Ang ibabaw ng patong ay may mahusay na elektrikal na kondaktibiti, na kung saan ay kaaya -aya sa paglabas ng electrostatic at pagpapadaloy ng init.

Ang mga pag -aari na ito ay gumagawa ng tac tantalum carbide coating isang mainam na materyal para sa paggawa ng mga kritikal na bahagi tulad ng panloob na bushings, mga dingding ng silid ng reaksyon, at mga elemento ng pag -init para sa mga epitaxial na kagamitan. Sa pamamagitan ng patong ang mga sangkap na ito sa TAC, ang pangkalahatang pagganap at buhay ng serbisyo ng epitaxial na kagamitan ay maaaring mapabuti.

Para sa silikon na karbida epitaxy, ang TAC coating chunk ay maaari ring maglaro ng isang mahalagang papel. Ang patong sa ibabaw ay makinis at siksik, na naaayon sa pagbuo ng de-kalidad na mga pelikulang silikon na karbida. Kasabay nito, ang mahusay na thermal conductivity ng TAC ay makakatulong na mapabuti ang pagkakapareho ng pamamahagi ng temperatura sa loob ng kagamitan, sa gayon ay mapapabuti ang katumpakan ng control ng temperatura ng proseso ng epitaxial, at sa huli ay nakamit ang mas mataas na kalidadSilicon carbide epitaxialpaglaki ng layer.

Vetek Semiconductor's Products Shops: