TAC Coating Subser

Vetek Semiconductor's TAC Coated Susceptor atPinahiran ng TACsingsingMagtulungan sa LPE Silicon Carbide Epitaxial Growth Reactor:

● Paglaban sa mataas na temperatura: AngTAC CoatingAng Susceptor ay may mahusay na paglaban sa mataas na temperatura, na makatiis sa matinding temperatura hanggang sa 1500 ° C saLPE reaktor. Tinitiyak nito ang mga kagamitan at sangkap ay hindi nagpapalitan o masira sa panahon ng pangmatagalang operasyon.

● katatagan ng kemikal: Ang TAC Coating Susceptor ay gumaganap nang mahusay sa corrosive silicon carbide na paglago ng kapaligiran, na epektibong protektahan ang mga bahagi ng reaktor mula sa kinakaing unti -unting pag -atake ng kemikal, sa gayon ay pinalawak ang kanilang buhay sa serbisyo.

● katatagan ng thermal: Ang TAC Coating Semceptor ay may mahusay na katatagan ng thermal, pinapanatili ang morpolohiya sa ibabaw at pagkamagaspang upang matiyak ang pagkakapareho ng patlang ng temperatura sa reaktor, na kapaki-pakinabang para sa mataas na kalidad na paglago ng silikon na mga layer ng epitaxial na silikon.

● Anti-kontaminasyon: Ang makinis na TAC na pinahiran na ibabaw at higit na mahusay na TPD (temperatura na na -program na pagsipsip) ay maaaring mabawasan ang akumulasyon at adsorption ng mga particle at impurities sa loob ng reaktor, na pumipigil sa kontaminasyon ng mga epitaxial layer.

Sa buod, ang TAC na pinahiran na Susceptor at Ring ay naglalaro ng isang kritikal na papel na proteksiyon sa LPE silikon carbide epitaxial growth reaktor, tinitiyak ang pangmatagalang matatag na operasyon ng kagamitan at ang mataas na kalidad na paglago ng mga epitaxial layer.