CVD SIC Coating Epitaxy Susceptor

Ang Veteksemicon's CVD sic coating epitaxy susceptor ay isang tool na precision-engineered na idinisenyo para sa pagproseso ng semiconductor wafer. Ang SIC coating epitaxy susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagtaguyod ng paglaki ng mga manipis na pelikula, epilayer, at iba pang mga coatings, at maaaring tumpak na makontrol ang temperatura at materyal na mga katangian. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang mga katanungan.

PangunahingMga pisikal na katangian ng CVD sic coating:

CVD SIC Coating Epitaxy Susceptor Product Advantages:

● Tumpak na pag -aalis: Pinagsasama ng Susceptor ang isang mataas na thermally conductive grapayt substrate na may isang sic coating upang magbigay ng isang matatag na platform ng suporta para sa mga substrate (tulad ng sapiro, sic o gan). Ang mataas na thermal conductivity (tulad ng SIC ay tungkol sa 120 w/m · k) ay maaaring mabilis na ilipat ang init at matiyak ang pantay na pamamahagi ng temperatura sa ibabaw ng substrate, sa gayon ay nagtataguyod ng mataas na kalidad na paglago ng epitaxial layer.

● Nabawasan ang kontaminasyon: Ang patong ng SIC na inihanda ng proseso ng CVD ay may napakataas na kadalisayan (nilalaman ng karumihan <5 ppm) at lubos na lumalaban sa mga kinakaing unti -unting gas (tulad ng CL₂, NH₃), pag -iwas sa kontaminasyon ng epitaxial layer.

● Tibay: Ang mataas na katigasan ni Sic (MOHS tigas 9.5) at magsuot ng resistensya ay bawasan ang mekanikal na pagkawala ng base sa panahon ng paulit-ulit na paggamit at angkop para sa mga proseso ng paggawa ng semiconductor na may mataas na dalas.

Ang Veteksemicon ay nakatuon sa pagbibigay ng de-kalidad na mga produkto at mga presyo ng mapagkumpitensya. Inaasahan namin na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Ito semiconductor Mga tindahan ng produkto: