Mga produkto
Mataas na kadalisayan sic cantilever paddle
  • Mataas na kadalisayan sic cantilever paddleMataas na kadalisayan sic cantilever paddle

Mataas na kadalisayan sic cantilever paddle

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng mataas na kadalisayan na produkto ng cantilever paddle sa China. Ang mataas na kadalisayan ng SIC cantilever paddles ay karaniwang ginagamit sa mga semiconductor pagsasabog ng mga hurno bilang wafer transfer o pag -load ng mga platform.

Ang mataas na kadalisayan na SIC cantilever paddle ay isang pangunahing sangkap na ginagamit sa kagamitan sa pagproseso ng semiconductor. Ang produkto ay gawa sa mataas na kadalisayan na silikon na karbida (sic) na materyal.  Ang mga customer ay maaaring malayang pumili ng sintered sic material o recrystaled sic material. Sa tulong ng mahusay na mga katangian ng mataas na kadalisayan, mataas na thermal katatagan at paglaban ng kaagnasan, malawak itong ginagamit sa mga proseso tulad ng wafer transfer, suporta at pagproseso ng mataas na temperatura, na nagbibigay ng maaasahang garantiya para sa pagtiyak ng kawastuhan ng proseso at kalidad ng produkto.


Mataas na kadalisayan ang cantilever Paddle ay gumaganap ng mga sumusunod na tiyak na tungkulin sa proseso ng pagproseso ng semiconductor:


Paglilipat ng wafer: Mataas na kadalisayan ang cantilever paddle ay karaniwang ginagamit bilang isang aparato ng paglilipat ng wafer sa mataas na temperatura na pagsasabog o mga hurno ng oksihenasyon. Ang mataas na katigasan nito ay ginagawang masusuot at hindi madaling mabigo sa panahon ng pangmatagalang paggamit, at masiguro na ang wafer ay nananatiling tumpak na nakaposisyon sa panahon ng proseso ng paglipat. Pinagsama sa mataas na temperatura at paglaban ng kaagnasan, maaari itong ligtas na ilipat ang mga wafer sa loob at labas ng tubo ng pugon sa mga mataas na temperatura ng kapaligiran nang hindi nagiging sanhi ng anumang kontaminasyon o pinsala sa mga wafer.


Suporta ng wafer: Ang materyal na SIC ay may mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, na nangangahulugang ang laki nito ay nagbabago nang mas mababa kapag nagbabago ang temperatura, na tumutulong na mapanatili ang tumpak na kontrol sa proseso. Sa pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD) o mga proseso ng pag -aalis ng singaw (PVD), ang SIC cantilever paddle ay ginagamit upang suportahan at ayusin ang wafer upang matiyak na ang wafer ay nananatiling matatag at flat sa panahon ng proseso ng pag -aalis, sa gayon ay mapabuti ang pagkakapareho at kalidad ng pelikula.


Application ng mga proseso ng mataas na temperatura: Ang sic cantilever paddle ay may mahusay na katatagan ng thermal at maaaring makatiis ng mga temperatura ng hanggang sa 1600 ° C. Samakatuwid, ang produktong ito ay malawakang ginagamit sa mataas na temperatura ng pagsasama, oksihenasyon, pagsasabog at iba pang mga proseso.


Mga pangunahing pisikal na katangian ng mataas na kadalisayan sic cantilever paddle:

Mga pisikal na katangian ng sintered silikon na karbida

Ari -arian

Karaniwang halaga

Komposisyon ng kemikal

SIC> 95% , At <5%

Bulk density

> 3.07 g/cm³
Maliwanag na porosity
<0.1%
Modulus ng pagkalagot sa 20 ℃
270 MPa
Modulus ng pagkalagot sa 1200 ℃
290 MPa
Katigasan sa 20 ℃
2400 kg/mm²
Fracture Toughness sa 20%
3.3 MPa · m1/2
Thermal conductivity sa 1200 ℃
45 W/M.K.
Ang pagpapalawak ng thermal sa 20-1200 ℃
4.5 × 10-6/℃
Max na temperatura ng pagtatrabaho
1400 ℃
Thermal shock resistance sa 1200 ℃
Mabuti

Mga pisikal na katangian ng recrystallized silikon karbida
Ari -arian
Karaniwang halaga
Temperatura ng pagtatrabaho (° C)
1600 ° C (na may oxygen), 1700 ° C (pagbabawas ng kapaligiran)
Nilalaman ng sic
> 99.96%
Libreng nilalaman ng SI
<0.1%
Bulk density
2.60-2.70 g/cm3
Maliwanag na porosity
<16%
Lakas ng compression
> 600 MPa
Lakas ng malamig na baluktot
80-90 MPa (20 ° C)
Mainit na lakas ng baluktot
90-100 MPa (1400 ° C)
Pagpapalawak ng thermal @1500 ° C.
4.70 x 10-6/° C.
Thermal conductivity @1200 ° C.
23 w/m • k
Nababanat na modulus
240 GPA
Thermal shock resistance
Sobrang ganda


Mataas na kadalisayan sic cantilever paddlemga tindahan:


VeTek Semiconductor Production Shop


Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:


Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Mga Hot Tags: Mataas na kadalisayan sic cantilever paddle
Magpadala ng Inquiry
Impormasyon sa Pakikipag-ugnayan
Para sa mga katanungan tungkol sa Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite o listahan ng presyo, mangyaring iwan ang iyong email sa amin at makikipag-ugnayan kami sa loob ng 24 na oras.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept