TAC na pinahiran na singsing para sa paglago ng pvt ng sic solong kristal

Sa kasalukuyan, ang mga aparato ng SIC power ay nagiging mas sikat, kaya ang kaugnay na katha ng aparato ng semiconductor ay mas mahalaga, at ang mga katangian ng SIC ay dapat mapabuti. Ang SIC ay ang substrate sa semiconductor. Bilang isang kailangang -kailangan na hilaw na materyal para sa mga aparato ng SIC, kung paano mahusay na makagawa ng SIC Crystal ay isa sa mga mahahalagang paksa. Sa proseso ng paglaki ng SIC Crystal sa pamamagitan ng PVT (Physical Vapor Transport) na pamamaraan, ang Vetek Semiconductor's TAC coated singsing para sa paglago ng PVT ng SIC solong kristal ay gumaganap ng isang kailangang -kailangan at mahalagang papel. Pagkatapos ng maingat na disenyo at pagmamanupaktura, ang TAC coated singsing na ito ay nagbibigay sa iyo ng mahusay na pagganap at pagiging maaasahan, tinitiyak ang kahusayan at katatagan ngPaglaki ng kristal ng sicproseso

Ang tantalum carbide (TAC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na natutunaw na punto ng hanggang sa 3880 ° C, mahusay na lakas ng mekanikal, tigas, at paglaban sa mga thermal shocks, na ginagawa itong isang kaakit -akit na alternatibo sa tambalang semiconductor epitaxy na proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura.Ito ay may isang malawak na aplikasyon sa PVT na pamamaraan ng kristal na proseso ng paglago ng kristal na PVT.

TAC na pinahiran na singsingMga Tampok ng Produkto

(I) Mataas na kalidad na TAC Coating Material Bonding na may Graphite Material

TAC na pinahiran na singsing para sa paglago ng PVT ng SIC solong kristal gamit ang mataas na kalidad na materyal na graphite ng SGL bilang ang substrate, mayroon itong mahusay na thermal conductivity at napakataas na materyal na katatagan. Nagbibigay ang CVD TAC coating ng isang di-porous na ibabaw.at sa parehong oras, ang mataas na kadalisayan CVD TAC (Tantalum carbide) ay ginagamit bilang materyal na patong, na may napakataas na katigasan, natutunaw na punto at katatagan ng kemikal. Ang patong ng TAC ay maaaring mapanatili ang mahusay na pagganap sa mataas na temperatura (karaniwang hanggang sa 2000 ℃ o higit pa) at lubos na kinakaing unti -unting kapaligiran ng paglago ng kristal ng SIC sa pamamagitan ng pamamaraan ng PVT, epektibong pigilan ang mga reaksyon ng kemikal at pisikal na pagguho sa panahon ngPaglaki ng sic, lubos na palawakin ang buhay ng serbisyo ng singsing ng patong, at bawasan ang mga gastos sa pagpapanatili ng kagamitan at downtime.

10 µm 300 µm

TAC Coatingna may mataas na pagkikristal at mahusay na pagkakapareho

(Ii) tumpak na proseso ng patong

Tinitiyak ng Vetek Semiconductor's Advanced CVD Coating Process Technology na ang patong ng TAC ay pantay -pantay at makapal na sakop sa ibabaw ng singsing. Ang kapal ng patong ay maaaring tumpak na kontrolado sa ± 5um, tinitiyak ang pantay na pamamahagi ng patlang ng temperatura at patlang ng daloy ng hangin sa panahon ng proseso ng paglago ng kristal, na naaayon sa mataas na kalidad at malaking laki ng paglago ng mga kristal ng SIC.

Ang pangkalahatang kapal ng patong ay 35 ± 5um, maaari rin nating ipasadya ito ayon sa iyong kinakailangan.

(Iii) Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura at paglaban sa thermal shock

Sa mataas na temperatura na kapaligiran ng pamamaraan ng PVT, ang pinahiran na singsing ng TAC para sa paglago ng PVT ng SIC solong kristal ay nagpapakita ng mahusay na katatagan ng thermal.

Paglaban sa H2, NH3, SIH4, SI

Ultra-mataas na kadalisayan upang maiwasan ang kontaminasyon ng proseso

Mataas na pagtutol sa mga thermal shocks para sa mas mabilis na mga siklo ng operasyon

Maaari itong makatiis ng pangmatagalang high-temperatura na baking nang walang pagpapapangit, pag-crack o pagpapadanak ng patong. Sa panahon ng paglaki ng mga kristal ng SIC, madalas na nagbabago ang temperatura. Ang Vetek Semiconductor's TAC Coated Ring para sa paglago ng PVT ng SIC Single Crystal ay may mahusay na thermal shock resistance at mabilis na umangkop sa mabilis na pagbabago sa temperatura nang walang pag -crack o pinsala. Karagdagang pagbutihin ang kahusayan sa produksyon at kalidad ng produkto.

Alam ng Vetek Semiconductor na ang iba't ibang mga customer ay may iba't ibang mga kagamitan at proseso ng paglago ng kristal ng PVT sic, kaya nagbibigay ito ng mga pasadyang serbisyo para sa pinahiran na singsing na TAC para sa paglago ng PVT ng SIC solong kristal. Kung ito ay ang laki ng mga pagtutukoy ng singsing na katawan, kapal ng patong o mga espesyal na kinakailangan sa pagganap, maaari naming maiangkop ito ayon sa iyong mga kinakailangan upang matiyak na ang produkto ay perpektong tumutugma sa iyong kagamitan at proseso, na nagbibigay sa iyo ng pinaka -na -optimize na solusyon.

Mga pisikal na katangian ng patong ng TAC

Ito semiconductorTAC na pinahiran na singsing Production Shops