Paano pinapabuti ng TaC coating ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng grapayt? - VeTek Semiconductor

CVD Tantalum Carbide Coatingay ginawa sa pamamagitan ng vapor deposition ng Tantalum Carbide (TaC) sa ibabaw ng high purity graphite substrate gamit ang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso ng VeTek Semiconductor.

Ang mga tantalum carbide (TaC) coatings ay makabuluhang nagpapabuti sa buhay ng serbisyo ngMga bahagi ng grapaytsa pamamagitan ng maraming mekanismo, lalo na sa mataas na temperatura, lubhang kinakaing unti-unti na mga kapaligiran tulad ng paggawa ng semiconductor at paglaki ng kristal. 

Narito ang mga tiyak na dahilan kung bakitTAC CoatingsPagandahin ang tibay ng mga bahagi ng grapayt:

●  Pinahusay na paglaban sa mataas na temperatura

Napakataas na thermal stability: Nagagawang manatiling matatag ang mga TaC coating sa sobrang mataas na temperatura na lampas sa 2000°C at maaari pang gumana nang epektibo sa 2200C. Ang mataas na temperatura tolerance na ito ay nagbibigay-daan sa coating na makatiis sa pagguho ng mga nilusaw na metal at mga kemikal na gas sa panahon ng paggawa ng semiconductor, at sa gayon ay nagpapahaba ng buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng grapayt.

●  Mahusay na lumalaban sa kaagnasan

Ang paglaban sa pagguho ng kemikal: Ang mga coatings ng TAC ay may malakas na pagtutol sa mga kinakaing unti -unting gas tulad ng hydrogen, ammonia, at singaw ng silikon, na maaaring epektibong maiwasan ang mga gas na ito mula sa pag -corroding ng grapayt na substrate at bawasan ang panganib ng pinsala sa mga bahagi ng grapayt sa mga malupit na kapaligiran. Nangangahulugan ito na sa panahon ng proseso ng paglago ng kristal, ang patong ay maaaring mapigilan ang paglilipat ng karumihan at pagbutihin ang kalidad ng kristal at ani.

●  Mga pinahusay na mekanikal na katangian

Magandang pagdirikit at thermal shock resistance: Ang mga coatings ng TAC ay may malakas na pagdirikit sa grapayt na substrate, na tinitiyak na ang patong ay hindi magbalat o mag-delaminate sa panahon ng mga operasyon na may mataas na temperatura. Bilang karagdagan, ang mahusay na thermal shock resistance ay maaaring makatiis ng mabilis na mga pagbabago sa temperatura nang walang pag -crack o pagbabalat, karagdagang pagpapalawak ng buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng grapayt.

● Bawasan ang kontaminasyon ng karumihan

Napakataas ng kadalisayan: Ang mga TaC coating ay may napakababang impurity content, na nakakatulong na mabawasan ang mga problema sa kontaminasyon na maaaring mangyari sa ilalim ng mataas na temperatura. Sa pamamagitan ng pagpigil sa mga hindi gustong impurities mula sa paglipat sa epitaxial layer, ang mga TaC coatings ay makabuluhang nagpapabuti sa kadalisayan at kalidad ng proseso ng paglago ng kristal.

●  I-optimize ang thermal management

Pagbutihin ang thermal conductivity at resistivity: Ang mga TaC coating ay may medyo mababang thermal conductivity at resistivity, na nagbibigay-daan sa paggamit nito sa mga heaters at iba pang bahagi ng thermal management upang mapabuti ang energy efficiency at mabawasan ang pagkawala ng enerhiya. Ang tampok na ito ay hindi lamang nagpapabuti sa kahusayan sa pagpapatakbo, ngunit binabawasan din ang pagkapagod ng materyal at pinsala na dulot ng sobrang pag-init.