Bakit nakakatanggap ng pansin ang SIC Coating? - Vetek Semiconductor

Sa mga nagdaang taon, sa patuloy na pag-unlad ng industriya ng electronics,Ang third-generation semiconductorAng mga materyales ay naging isang bagong puwersa sa pagmamaneho para sa pag -unlad ng industriya ng semiconductor. Bilang isang karaniwang kinatawan ng mga third-generation semiconductor na materyales, ang SIC ay malawakang ginagamit sa larangan ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sathermal fieldmateryal, dahil sa mahusay na pisikal at kemikal na mga katangian nito.

Kaya, ano ba talaga ang sic coating? At ano angCVD sic coating?

Ang SIC ay isang covalently bonded compound na may mataas na tigas, mahusay na thermal conductivity, mababang thermal expansion coefficient, at mataas na kaagnasan na paglaban. Ang thermal conductivity nito ay maaaring umabot sa 120-170 w/m · K, na nagpapakita ng mahusay na thermal conductivity sa elektronikong sangkap na pagwawaldas ng init. Bilang karagdagan, ang thermal expansion coefficient ng silikon carbide ay 4.0 × 10-6/k lamang (sa saklaw ng 300-800 ℃), na nagbibigay-daan upang mapanatili ang dimensional na katatagan sa mataas na temperatura na kapaligiran, lubos na binabawasan ang pagpapapangit o pagkabigo na dulot ng thermal Stress. Ang patong ng karbida ng silikon ay tumutukoy sa isang patong na gawa sa silikon na karbida na inihanda sa ibabaw ng mga bahagi ng pisikal o kemikal na pag -aalis ng singaw, pag -spray, atbp.  

Chemical vapor deposition (CVD)ay kasalukuyang pangunahing teknolohiya para sa paghahanda ng SiC coating sa substrate surface. Ang pangunahing proseso ay ang mga gas phase reactant ay sumasailalim sa isang serye ng mga pisikal at kemikal na reaksyon sa ibabaw ng substrate, at sa wakas ang CVD SiC coating ay idineposito sa ibabaw ng substrate.

SEM data ng CVD sic coating

Dahil ang silicon carbide coating ay napakalakas, kung saan ang mga link ng paggawa ng semiconductor ay nagkaroon ito ng malaking papel? Ang sagot ay ang epitaxy production accessories.

Ang SIC coating ay may pangunahing bentahe ng lubos na pagtutugma ng proseso ng paglago ng epitaxial sa mga tuntunin ng mga katangian ng materyal. Ang mga sumusunod ay ang mahahalagang tungkulin at dahilan ng SIC coating inSIC coating epitaxial susceptor:

1. Mataas na thermal conductivity at mataas na temperatura na pagtutol

Ang temperatura ng kapaligiran ng paglago ng epitaxial ay maaaring umabot sa itaas ng 1000 ℃. Ang SIC coating ay may napakataas na thermal conductivity, na maaaring epektibong mawala ang init at matiyak ang pagkakapareho ng temperatura ng paglaki ng epitaxial.

2. Katatagan ng kemikal

Ang SIC coating ay may mahusay na pagkawalang -kilos ng kemikal at maaaring pigilan ang kaagnasan sa pamamagitan ng mga kinakaing unti -unting gas at kemikal, tinitiyak na hindi ito gumanti nang malubha sa mga reaksyon sa panahon ng paglaki ng epitaxial at pinapanatili ang integridad at kalinisan ng materyal na ibabaw.

3. Pagtutugma ng lattice constant

Sa pag -unlad ng epitaxial, ang SIC coating ay maaaring maayos na naitugma sa iba't ibang mga epitaxial na materyales dahil sa istruktura ng kristal nito, na maaaring mabawasan ang mismatch ng sala -sala, sa gayon binabawasan ang mga depekto ng kristal at pagpapabuti ng kalidad at pagganap ng epitaxial layer.

4. Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal

Ang SiC coating ay may mababang thermal expansion coefficient at medyo malapit sa karaniwang epitaxial na materyales. Nangangahulugan ito na sa mataas na temperatura, hindi magkakaroon ng matinding stress sa pagitan ng base at ng SiC coating dahil sa pagkakaiba sa thermal expansion coefficients, pag-iwas sa mga problema tulad ng pagbabalat ng materyal, mga bitak o pagpapapangit.

5. Mataas na katigasan at paglaban sa pagsusuot

Ang SIC coating ay may napakataas na katigasan, kaya ang patong ito sa ibabaw ng epitaxial base ay maaaring makabuluhang mapabuti ang paglaban ng pagsusuot nito at palawakin ang buhay ng serbisyo nito, habang tinitiyak na ang geometry at flat ng ibabaw ng base ay hindi nasira sa panahon ng proseso ng epitaxial.

Ang cross-section at imahe ng ibabaw ng sic coating

Bilang karagdagan sa pagiging isang accessory para sa epitaxial production,Ang SIC coating ay mayroon ding makabuluhang pakinabang sa mga lugar na ito:

Semiconductor wafer carrier：Sa panahon ng pagproseso ng semiconductor, ang paghawak at pagproseso ng mga wafer ay nangangailangan ng napakataas na kalinisan at katumpakan. Ang SIC coating ay madalas na ginagamit sa mga wafer carrier, bracket at tray.

Wafer Carrier

Preheating singsing：Ang preheating singsing ay matatagpuan sa panlabas na singsing ng SI epitaxial substrate tray at ginagamit para sa pag -calibrate at pag -init. Inilalagay ito sa silid ng reaksyon at hindi direktang makipag -ugnay sa wafer.

  Preheating singsing

Ang itaas na bahagi ng kalahating buwan ay ang carrier ng iba pang mga accessories ng reaction chamber ngSIC EPITAXY DEVICE. Ito ay kinokontrol ng temperatura, na naka -install sa silid ng reaksyon at hindi direktang makipag -ugnay sa wafer.

Itaas na bahagi ng kalahating buwan

Bilang karagdagan, may natutunaw na crucible para sa pagsingaw sa industriya ng semiconductor, mataas na kuryente na electronic tube gate, brush na nakikipag-ugnay sa boltahe regulator, grapayt monochromator para sa x-ray at neutron, iba't ibang mga hugis ng graphite substrates at Atomic pagsipsip ng coating coating, atbp, ang sic coating ay naglalaro ng isang lalong mahalagang papel.

Bakit pumiliIto semiconductor?

Sa VeTek Semiconductor, pinagsasama ng aming mga proseso sa pagmamanupaktura ang precision engineering sa mga advanced na materyales upang makagawa ng mga produktong SiC coating na may mahusay na pagganap at tibay, tulad ngSic coated wafer holderKaya ang patong EPI UndertakerUV LED Epi Receiver, Silicon carbide ceramic coatingatSIC Coating ALD Susceptor. Natutugunan namin ang mga partikular na pangangailangan ng industriya ng semiconductor gayundin ng iba pang industriya, na nagbibigay sa mga customer ng de-kalidad na custom na SiC coating.

Kung mayroon kang anumang mga katanungan o nangangailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag -atubiling makipag -ugnay sa amin.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com