Solid sic focus ring

6.Main Mga Patlang ng Application

7. Veteksemi Solid sic Focus Ring Core Bentahe

Napakahusay na paglaban sa kaagnasan ng plasma

Sa ilalim ng matagal na pagkakalantad sa lubos na kinakaing unti-unti, ang mga plasmas na may mataas na density tulad ng CF4, O2, at CL2, ang mga maginoo na materyales ay madaling kapitan ng mabilis na pagsusuot at butil na kontaminasyon. Ang aming solidong singsing na pokus ng sic ay nagpapakita ng mahusay na paglaban sa kaagnasan, na may isang rate ng kaagnasan na mas mababa kaysa sa mga materyales tulad ng quartz o alumina. Nangangahulugan ito na nagpapanatili ito ng isang makinis na ibabaw sa paglipas ng panahon, makabuluhang binabawasan ang panganib ng mga depekto sa wafer na sanhi ng pagsusuot ng sangkap at luha, tinitiyak ang tuluy -tuloy at matatag na paggawa ng masa.

Napakahusay na mataas na temperatura ng katatagan at pagganap ng pamamahala ng thermal

Ang proseso ng semiconductor etching ay bumubuo ng makabuluhang init, na nagiging sanhi ng mga sangkap ng silid upang makaranas ng mga pagbabago sa temperatura. Ang aming mga singsing sa pokus ay may napakababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, na may kakayahang may natitirang mga lumilipas na temperatura hanggang sa 1600 ° C nang walang pag -crack o pagpapapangit. Bukod dito, ang kanilang likas na mataas na thermal conductivity ay tumutulong na magkalat ng init nang pantay -pantay at mabilis, epektibong pagpapabuti ng pamamahagi ng temperatura sa gilid ng wafer, sa gayon ay enhancing etching pagkakapareho at pagkakapare -pareho ng mga kritikal na sukat sa buong wafer.

Pambihirang materyal na kadalisayan at density ng istruktura

Mahigpit naming kinokontrol ang kadalisayan ng silikon na carbide raw na materyales (≥99.999%) at tinanggal ang kontaminasyon ng metal sa panahon ng proseso ng pagsasala upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan ng mga advanced na proseso ng pagmamanupaktura para sa kontrol ng karumihan ng bakas. Ang siksik na istraktura na nabuo sa pamamagitan ng mataas na temperatura na sintering ay may sobrang mababang porosity, halos ganap na humaharang sa pagtagos ng mga gas gas at by-product. Pinipigilan nito ang pagkasira ng pagganap at paglaki ng butil na dulot ng panloob na pagkasira ng materyal, tinitiyak ang isang purong proseso ng kapaligiran sa silid.

Ang pangmatagalang buhay na makina at komprehensibong pagiging epektibo sa gastos

Kumpara sa maginoo na mga consumable na nangangailangan ng madalas na kapalit, ang Veteksemi solid sic focus singsing ay nag -aalok ng pambihirang tibay. Pinapanatili nila ang matatag na pagganap sa buong buhay ng kanilang serbisyo, na nagpapalawak ng mga kapalit na siklo nang maraming beses. Ito ay hindi lamang direktang binabawasan ang ekstrang mga gastos sa pagkuha ng bahagi ngunit makabuluhang nagpapabuti din sa paggamit ng makina sa pamamagitan ng pagbabawas ng downtime ng kagamitan para sa pagpapanatili, na nagreresulta sa makabuluhang pangkalahatang mga pakinabang sa gastos para sa mga customer.

Tumpak na control control at nababaluktot na mga serbisyo sa pagpapasadya

Naiintindihan namin ang tumpak na mga kinakailangan ng iba't ibang mga makina at proseso para sa mga consumable. Ang bawat singsing na pokus ay sumasailalim sa precision machining at mahigpit na pagsubok upang matiyak ang mga kritikal na dimensional na pagpapaubaya sa loob ng ± 0.05mm. Nag -aalok din kami ng mga pasadyang serbisyo, kabilang ang mga pasadyang sukat, pagtatapos ng ibabaw (buli sa RA ≤ 0.2μm), at mga pagsasaayos ng kondaktibiti upang perpektong angkop sa iyong mga tiyak na kinakailangan sa proseso at mga sitwasyon ng aplikasyon.

Para sa detalyadong mga pagtutukoy sa teknikal, mga puting papel, o mga pag -aayos ng sample na pagsubok, mangyaring makipag -ugnay sa aming pangkat ng suporta sa teknikal upang galugarin kung paano mapapahusay ng Veteksemi ang iyong kahusayan sa proseso.