SIC Coated Epitaxial Reactor Chamber

Pangkalahatang impormasyon ng produkto

Mga Tuntunin sa Negosyo ng Produkto

Application: Ang Veteksemicon sic coated epitaxial reaktor ng silid ay idinisenyo para sa hinihingi ang mga proseso ng epitaxial na semiconductor. Sa pamamagitan ng pagbibigay ng isang napaka dalisay at matatag na kapaligiran na may mataas na temperatura, makabuluhang pinapabuti nito ang kalidad ng mga wafer ng epitaxial ng SIC at Gan, na ginagawa itong isang pangunahing pundasyon para sa paggawa ng mga high-performance power chips at RF na aparato.

Mga serbisyong maaaring maibigay: Pagsusuri ng senaryo ng application ng customer, pagtutugma ng mga materyales, paglutas ng teknikal na problema.

Profile ng kumpanya： Ang Veteksemicon ay may 2 laboratories, isang koponan ng mga eksperto na may 20 taong karanasan sa materyal, na may R&D at mga kakayahan sa pagsubok, pagsubok at pagpapatunay.

Ang karibal ko sic coated epitaxial reaktor ng silid core bentahe

1. Super Corrosion Resistance

Ang silid ng reaksyon ng Veteksemicon ay gumagamit ng isang proseso ng pagmamay-ari ng CVD upang magdeposito ng isang napaka siksik, mataas na kadalisayan na silikon na karbida na patong sa ibabaw ng substrate. Ang patong na ito ay epektibong lumalaban sa pagguho ng mga high-temperatura na kinakaing unti-unting gas tulad ng HCl at H2, na karaniwang nakatagpo sa mga proseso ng epitaxial ng SIC, sa panimula na paglutas ng mga problema ng porosity ng ibabaw at pagpapadanak ng butil na maaaring mangyari sa tradisyonal na mga sangkap ng grapayt pagkatapos ng pangmatagalang paggamit. Tinitiyak ng katangian na ito na ang panloob na pader ng silid ng reaksyon ay nananatiling makinis kahit na matapos ang daan -daang oras ng patuloy na operasyon, na makabuluhang binabawasan ang mga depekto sa wafer na dulot ng kontaminasyon sa silid.

2. Mataas na katatagan ng temperatura

Salamat sa mahusay na mga katangian ng thermal ng silikon na karbida, ang silid ng reaksyon na ito ay madaling makatiis ng patuloy na temperatura ng operating hanggang sa 1600 ° C. Ang sobrang mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal ay nagsisiguro na ang mga sangkap ay mabawasan ang akumulasyon ng thermal stress sa panahon ng paulit -ulit na mabilis na pag -init at paglamig, na pumipigil sa microcracks o pinsala sa istruktura na sanhi ng thermal pagkapagod. Ang natitirang thermal katatagan ay nagbibigay ng isang mahalagang window ng proseso at garantiya ng pagiging maaasahan para sa mga proseso ng epitaxial, lalo na ang SIC homoepitaxy na nangangailangan ng mga kapaligiran na may mataas na temperatura.

3. Mataas na kadalisayan at mababang polusyon

Kami ay masigasig na nalalaman ang mapagpasyang epekto ng kalidad ng epitaxial layer sa panghuling pagganap ng aparato. Samakatuwid, hinahabol ng Veteksemicon ang pinakamataas na posibleng kadalisayan ng patong, tinitiyak na umabot ito sa isang antas ng higit sa 99.9995%. Ang nasabing mataas na kadalisayan ay epektibong pinipigilan ang paglipat ng mga metal na impurities (tulad ng Fe, Cr, Ni, atbp.) Sa proseso ng kapaligiran sa mataas na temperatura, sa gayon maiiwasan ang nakamamatay na epekto ng mga impurities na ito sa kalidad ng epitaxial layer crystal. Naglalagay ito ng isang solidong materyal na pundasyon para sa paggawa ng mataas na pagganap, mataas na mapagkakatiwalaang mga semiconductors ng kapangyarihan at mga aparato ng dalas ng radyo.

4. Mahabang disenyo ng buhay

Kung ikukumpara sa mga uncoated o maginoo na mga sangkap na grapayt, ang mga silid ng reaksyon na protektado ng mga coatings ng SIC ay nag -aalok ng maraming beses na mas matagal na buhay ng serbisyo. Pangunahin ito dahil sa komprehensibong proteksyon ng patong ng substrate, na pumipigil sa direktang pakikipag -ugnay sa mga kinakailangang proseso ng gas. Ang pinalawak na habang -buhay na ito ay isinasalin nang direkta sa mga makabuluhang benepisyo sa gastos - ang mga customer ay maaaring mabawasan ang downtime ng kagamitan, ekstrang bahagi ng pagkuha, at mga gastos sa paggawa ng paggawa na nauugnay sa pana -panahong kapalit ng mga sangkap ng silid, sa gayon ay epektibong nagpapababa ng pangkalahatang mga gastos sa pagpapatakbo ng produksyon.

5. Pag -endorso ng Pag -verify ng Ecological Chain

Ang Veteksemicon sic Coated Epitaxial Reactor Chamber 'Ecological Chain Verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, naipasa ang internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at bagong larangan ng enerhiya.

Para sa detalyadong mga teknikal na pagtutukoy, puting papel, o mga pag -aayos ng sample, mangyaring makipag -ugnay sa aming pangkat ng suporta sa teknikal upang galugarin kung paano mapapahusay ng Veteksemicon ang iyong kahusayan sa proseso.