SIC Coated Graphite Susceptor para sa ASM

Pangkalahatang impormasyon ng produkto

Mga Tuntunin sa Negosyo ng Produkto

✔ Application: Ang Veteksemicon sic-coated grapayt substrate ay isang pangunahing maaaring maubos para sa mga kagamitan sa epitaxial series ng ASM. Direkta itong sumusuporta sa wafer at nagbibigay ng isang pantay at matatag na thermal field sa panahon ng high-temperatura epitaxy, na ginagawa itong isang pangunahing sangkap para sa pagtiyak ng mataas na kalidad na paglago ng mga advanced na semiconductor na materyales tulad ng GaN at SIC.

✔ Mga serbisyong maaaring maibigay: Pagsusuri ng senaryo ng application ng customer, pagtutugma ng mga materyales, paglutas ng teknikal na problema. 

✔ profile ng kumpanya： Ang Veteksemicon ay may 2 laboratories, isang koponan ng mga eksperto na may 20 taong karanasan sa materyal, na may R&D at mga kakayahan sa pagsubok, pagsubok at pagpapatunay.

Mga teknikal na parameter

Ang karibal ko sic coated grapayt semeptor para sa ASM core bentahe

1. Matinding kadalisayan at mababang rate ng depekto

Gamit ang mataas na kadalisayan, fine-particle-grade special graphite substrate, na sinamahan ng aming mahigpit na kinokontrol na kemikal na singaw na pag-aalis ng singaw (CVD) na proseso ng patong, tinitiyak namin na ang patong ay siksik, walang mga pinholes, at walang mga impurities. Ito ay makabuluhang binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng particulate sa panahon ng proseso ng epitaxial, na nagbibigay ng isang malinis na kapaligiran sa substrate para sa paglaki ng mga de-kalidad na mga layer ng epitaxial.

2. Napakahusay na paglaban ng kaagnasan at paglaban sa pagsusuot

Ang pyrolytic silikon carbide coating ay nagtataglay ng sobrang mataas na tigas at kemikal na pagkawalang -galaw, na epektibong lumalaban sa pagguho ng mga mapagkukunan ng silikon (tulad ng SIH4, SIHCL3), mga mapagkukunan ng carbon (tulad ng C3H8), at mga etching gas (tulad ng HCl, H2) sa mataas na temperatura. Ito ay makabuluhang nagpapalawak ng cycle ng pagpapanatili ng base at binabawasan ang downtime ng machine na sanhi ng kapalit ng sangkap.

3. Mahusay na thermal pagkakapareho at katatagan

Na -optimize namin ang pamamahagi ng thermal field sa loob ng saklaw ng temperatura ng operating sa pamamagitan ng tumpak na disenyo ng istraktura ng substrate at kontrol ng kapal ng patong. Ito ay direktang isinasalin sa mahusay na kapal at pagkakapareho ng pagkakapareho sa epitaxial wafer, na nag -aambag sa pinabuting ani ng paggawa ng chip.

4. Napakahusay na lakas ng pagdirikit ng patong

Ang natatanging ibabaw ng pagpapanggap at gradient na teknolohiya ng patong ay nagbibigay-daan sa patong ng silikon na karbida upang makabuo ng isang malakas na layer ng bonding na may grapayt na substrate, na epektibong pumipigil sa patong na pagbabalat, flaking, o pag-crack ng mga problema na maaaring mangyari sa panahon ng pangmatagalang thermal cycling.

5. Tumpak na laki at istruktura ng pagtitiklop

Nagtataglay kami ng mga may sapat na gulang na CNC machining at mga kakayahan sa pagsubok, na nagbibigay-daan sa amin upang ganap na kopyahin ang kumplikadong geometry, mga sukat ng lukab, at pag-mount ng mga interface ng orihinal na base, tinitiyak ang perpektong pagtutugma at pag-andar ng plug-and-play sa platform ng customer.

6. Pag -endorso ng Pag -verify ng Ecological Chain

Ang Veteksemicon sic Coated Graphite Susceptor para sa ASM 'Ecological Chain Verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, ay pumasa sa internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at mga bagong larangan ng enerhiya.

Para sa detalyadong mga teknikal na pagtutukoy, puting papel, o mga pag -aayos ng sample, mangyaring makipag -ugnay sa aming pangkat ng suporta sa teknikal upang galugarin kung paano mapapahusay ng Veteksemicon ang iyong kahusayan sa proseso.

Pangunahing Mga Patlang ng Application

Ang karibal ko Products Shop