SiC coated graphite susceptor para sa ASM

Pangkalahatang impormasyon ng produkto

Mga tuntunin sa negosyo ng produkto

✔ Application: Veteksemicon SiC-coated graphite substrate ay isang pangunahing consumable para sa ASM series epitaxial equipment. Direktang sinusuportahan nito ang wafer at nagbibigay ng pare-pareho at matatag na thermal field sa panahon ng mataas na temperatura na epitaxy, na ginagawa itong isang pangunahing bahagi para sa pagtiyak ng mataas na kalidad na paglago ng mga advanced na semiconductor na materyales tulad ng GaN at SiC.

✔ Mga serbisyong maaaring ibigay: pagsusuri ng sitwasyon ng aplikasyon ng customer, pagtutugma ng mga materyales, paglutas ng teknikal na problema. 

✔ Profile ng kumpanya：May 2 laboratoryo ang Veteksemicon, isang pangkat ng mga eksperto na may 20 taong karanasan sa materyal, na may mga kakayahan sa R&D at produksyon, pagsubok at pag-verify.

Mga Teknikal na Parameter

Veteksemicon SiC coated graphite susceptor para sa ASM core advantages

1. Sobrang kadalisayan at mababang rate ng depekto

Gamit ang high-purity, fine-particle-grade special graphite substrate, kasama ng aming mahigpit na kinokontrol na chemical vapor deposition (CVD) coating process, tinitiyak namin na ang coating ay siksik, walang pinholes, at walang impurities. Ito ay makabuluhang binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng particulate sa panahon ng proseso ng epitaxial, na nagbibigay ng isang malinis na kapaligiran ng substrate para sa paglaki ng mga de-kalidad na epitaxial layer.

2. Napakahusay na paglaban sa kaagnasan at paglaban sa pagsusuot

Ang pyrolytic silicon carbide coating ay nagtataglay ng napakataas na tigas at chemical inertness, na epektibong lumalaban sa pagguho ng mga pinagmumulan ng silicon (tulad ng SiH4, SiHCl3), mga mapagkukunan ng carbon (tulad ng C3H8), at mga etching gas (tulad ng HCl, H2) sa mataas na temperatura. Ito ay makabuluhang pinalawak ang ikot ng pagpapanatili ng base at binabawasan ang downtime ng makina na dulot ng pagpapalit ng bahagi.

3. Napakahusay na pagkakapareho at katatagan ng thermal

Na-optimize namin ang pamamahagi ng thermal field sa loob ng hanay ng operating temperatura sa pamamagitan ng tumpak na disenyo ng istraktura ng substrate at kontrol sa kapal ng coating. Direkta itong isinasalin sa mahusay na kapal at pagkakapareho ng resistivity sa epitaxial wafer, na nag-aambag sa pinabuting ani ng paggawa ng chip.

4. Napakahusay na lakas ng pagdirikit ng patong

Ang natatanging surface pretreatment at gradient coating technology ay nagbibigay-daan sa silicon carbide coating na bumuo ng isang malakas na bonding layer na may graphite substrate, na epektibong pumipigil sa mga problema sa pagbabalat, pag-flake, o pag-crack ng coating na maaaring mangyari sa pangmatagalang thermal cycling.

5. Tumpak na laki at structural replication

Nagtataglay kami ng mature na CNC machining at mga kakayahan sa pagsubok, na nagbibigay-daan sa aming ganap na gayahin ang kumplikadong geometry, mga sukat ng lukab, at mga mounting interface ng orihinal na base, na tinitiyak ang perpektong pagtutugma at paggana ng plug-and-play sa platform ng customer.

6. Pag-endorso sa pag-verify ng ekolohikal na chain

Ang Veteksemicon SiC coated graphite susceptor para sa ecological chain verification ng ASM ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa produksyon, nakapasa sa internasyonal na standard na sertipikasyon, at may ilang mga patented na teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at sustainability nito sa semiconductor at bagong larangan ng enerhiya.

Para sa mga detalyadong teknikal na detalye, mga puting papel, o mga pagsasaayos ng sample na pagsubok, mangyaring makipag-ugnayan sa aming Technical Support Team upang tuklasin kung paano mapapahusay ng Veteksemicon ang iyong kahusayan sa proseso.

Pangunahing mga patlang ng aplikasyon

Tindahan ng mga produkto ng Veteksemicon