SiC coating halfmoon graphite parts

Sa reaction chamber ng SiC epitaxial growth furnace, ang SiC coating Halfmoon graphite parts ay mga pangunahing bahagi para sa pag-optimize ng pamamahagi ng daloy ng gas, thermal field control, at pagkakapareho ng kapaligiran ng reaksyon. Ang mga ito ay karaniwang gawa sa SiC coatinggrapayt,idinisenyo sa hugis kalahating buwan, na matatagpuan sa itaas at ibabang bahagi ng grapayt ng silid ng reaksyon, na nakapalibot sa lugar ng substrate.

    •Mataas na bahagi ng grapayt ng halfmoon: naka-install sa itaas na bahagi ng reaction chamber, malapit sa gas inlet, na responsable sa paggabay sa reaction gas na dumaloy patungo sa substrate surface.

    •Lower halfmoon graphite part: Matatagpuan sa ilalim ng silid ng reaksyon, karaniwang sa ilalim ng may hawak ng substrate, na ginagamit upang makontrol ang direksyon ng daloy ng gas at mai -optimize ang thermal field at pamamahagi ng gas sa ilalim ng substrate.

Sa panahon ngProseso ng SiC epitaxy, ang bahagi ng kalahating buwan na grapayt sa itaas ay tumutulong sa paggabay sa daloy ng gas upang maipamahagi nang pantay-pantay sa substrate, na pinipigilan ang gas na direktang maapektuhan ang ibabaw ng substrate at magdulot ng lokal na overheating o airflow turbulence. Ang lower half-moon graphite part ay nagbibigay-daan sa gas na dumaloy nang maayos sa substrate at pagkatapos ay ma-discharge, habang pinipigilan ang turbulence na maapektuhan ang growth uniformity ng epitaxial layer.

Sa mga tuntunin ng regulasyon ng thermal field ， sic coating halfmoon grapayt na mga bahagi ay nakakatulong upang pantay na ipamahagi ang init sa silid ng reaksyon sa pamamagitan ng hugis at posisyon. Ang itaas na bahagi ng halfmoon grapayt ay maaaring epektibong sumasalamin sa nagliliwanag na init ng pampainit upang matiyak na ang temperatura sa itaas ng substrate ay matatag. Ang mas mababang kalahating buwan na bahagi ng grapayt ay mayroon ding katulad na papel, na tumutulong sa pantay na pamamahagi ng init sa ilalim ng substrate sa pamamagitan ng pagpapadaloy ng init upang maiwasan ang labis na pagkakaiba sa temperatura.

Ginagawa ng SiC coating ang mga bahagi na lumalaban sa mataas na temperatura at thermally conductive, kaya ang mga halfmoon parts ng VeTek Semiconductor ay may mahabang buhay ng serbisyo. Maingat na idinisenyo, ang aming mga bahagi ng half-moon graphite para sa SiC epitaxy ay maaaring isama nang walang putol sa maraming epitaxial reactor, na tumutulong na mapabuti ang pangkalahatang kahusayan at pagiging maaasahan ng proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Anuman ang kailangan ng iyong SiC coating Halfmoon graphite parts, mangyaring makipag-ugnayan sa VeTek Semiconductor.

WatersemiSiC coating halfmoon graphite parts shops: