Silicon Carbide Coating

Ang Veteksemicon's CVD SIC Coated Wafer Susceptor ay isang solusyon sa paggupit para sa mga proseso ng epitaxial na semiconductor, na nag-aalok ng sertipikadong ultra-high kadalisayan (≤100ppb, sertipikadong ICP-E10) at pambihirang thermal/kemikal na katatagan para sa kontaminasyon-resistant na paglaki ng GaN, SIC, at Silicon-based EPI-Layers. Inhinyero na may katumpakan na teknolohiya ng CVD, sinusuportahan nito ang 6 "/8"/12 "na mga wafer, tinitiyak ang kaunting thermal stress, at huminto sa matinding temperatura hanggang sa 1600 ° C.

Ang aming SIC coated planetary na Susceptor ay isang pangunahing sangkap sa proseso ng mataas na temperatura ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Pinagsasama ng disenyo nito ang grapayt na substrate na may patong ng silikon na karbida upang makamit ang komprehensibong pag -optimize ng pagganap ng pamamahala ng thermal, katatagan ng kemikal at lakas ng makina.

Ang aming SIC Coated Sealing Ring para sa Epitaxy ay isang sangkap na may mataas na pagganap na sealing batay sa graphite o carbon-carbon composite na pinahiran ng high-kadalisayan na silikon na karbida (sic) sa pamamagitan ng pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD), na pinagsasama ang katatagan ng grapiko na may matinding paglaban sa kapaligiran ng SIC, at idinisenyo para sa semiconductor epitaxial na kagamitan (E.G.

Ang Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Susceptor ay idinisenyo para sa high-performance silikon carbide (sic), gallium nitride (GaN) at iba pang pangatlong henerasyon na semiconductor epitaxial process, at ang pangunahing sangkap ng pagtatanong ng mataas na precision epitaxial sheet sa mass production.Welcome Your Mother Inquiry.

Ang isang mahalagang sangkap na ginamit sa proseso ng pag -etching ng wafer ay ang plasma etching focus singsing, na ang pag -andar ay upang hawakan ang wafer sa lugar upang mapanatili ang density ng plasma at maiwasan ang kontaminasyon ng mga wafer sides.Vetek semiconductor ay nagbibigay ng plasma etching focus singsing na may iba't ibang materyal tulad ng monocrystalline silicon, silicon carbide, boron carbide at iba pang mga ceramic na materyales.

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng SIC coated e-chucks sa China. Ang SIC coated e-chuck ay espesyal na idinisenyo para sa proseso ng Gan Wafer etching, na may mahusay na pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, upang magbigay ng lahat ng bilog na suporta para sa iyong paggawa ng semiconductor. Ang aming malakas na kakayahan sa pagproseso ay nagbibigay -daan sa amin upang mabigyan ka ng SIC Ceramic SiSceptor na gusto mo. Inaasahan ang iyong pagtatanong.