Silicon Carbide Coating

Ang Veteksemicon High-Purity Sic Edge Rings, na espesyal na idinisenyo para sa kagamitan sa semiconductor etching, ay nagtatampok ng natitirang paglaban sa kaagnasan at katatagan ng thermal, makabuluhang pagpapahusay ng ani ng wafer

Bilang isang nangungunang tagagawa ng Tsino at tagapagtustos ng mga produktong patong ng karbida ng silikon, ang Veteksemicon's SIC coated wafer carrier para sa pag -etching ay gumaganap ng isang hindi mapapalitan na pangunahing papel sa proseso ng etching na may mahusay na mataas na katatagan ng temperatura, natitirang paglaban ng kaagnasan at mataas na thermal conductivity.

Ang Veteksemicon's CVD SIC Coated Wafer Susceptor ay isang solusyon sa paggupit para sa mga proseso ng epitaxial na semiconductor, na nag-aalok ng sertipikadong ultra-high kadalisayan (≤100ppb, sertipikadong ICP-E10) at pambihirang thermal/kemikal na katatagan para sa kontaminasyon-resistant na paglaki ng GaN, SIC, at Silicon-based EPI-Layers. Inhinyero na may katumpakan na teknolohiya ng CVD, sinusuportahan nito ang 6 "/8"/12 "na mga wafer, tinitiyak ang kaunting thermal stress, at huminto sa matinding temperatura hanggang sa 1600 ° C.

Ang aming SIC coated planetary na Susceptor ay isang pangunahing sangkap sa proseso ng mataas na temperatura ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Pinagsasama ng disenyo nito ang grapayt na substrate na may patong ng silikon na karbida upang makamit ang komprehensibong pag -optimize ng pagganap ng pamamahala ng thermal, katatagan ng kemikal at lakas ng makina.

Ang aming SIC Coated Sealing Ring para sa Epitaxy ay isang sangkap na may mataas na pagganap na sealing batay sa graphite o carbon-carbon composite na pinahiran ng high-kadalisayan na silikon na karbida (sic) sa pamamagitan ng pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD), na pinagsasama ang katatagan ng grapiko na may matinding paglaban sa kapaligiran ng SIC, at idinisenyo para sa semiconductor epitaxial na kagamitan (E.G.

Ang Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Susceptor ay idinisenyo para sa high-performance silikon carbide (sic), gallium nitride (GaN) at iba pang pangatlong henerasyon na semiconductor epitaxial process, at ang pangunahing sangkap ng pagtatanong ng mataas na precision epitaxial sheet sa mass production.Welcome Your Mother Inquiry.