Ano ang tantalum carbide tac coating? - Veteksemicon

Ano ang Tantalum Carbide (TAC)?

Ang tantalum carbide (TAC) ceramic material ay may natutunaw na punto ng hanggang sa 3880 ℃ at isang tambalan na may mataas na natutunaw na punto at mahusay na katatagan ng kemikal. Maaari itong mapanatili ang matatag na pagganap sa mga kapaligiran ng mataas na temperatura. Bilang karagdagan, mayroon din itong mataas na paglaban sa temperatura, paglaban sa kaagnasan ng kemikal, at mahusay na pagkakatugma sa kemikal at mekanikal na may mga materyales na carbon, ginagawa itong isang mainam na grapayt na substrate na proteksiyon na patong na patong. 

Tantalum Carbide Coatingmaaaring epektibong maprotektahan ang mga sangkap ng grapayt mula sa mga epekto ng mainit na ammonia, hydrogen, singaw ng silikon, at tinunaw na metal sa malupit na mga kapaligiran sa paggamit, na makabuluhang pagpapalawak ng buhay ng serbisyo ng mga sangkap ng grapayt at pagsugpo sa paglipat ng mga impurities sa grapayt, tinitiyak ang kalidad ngEpitaxialatpaglaki ng kristal.

Larawan 1. Karaniwang Tantalum Carbide Coated Components

Paghahanda ng TAC Coating sa pamamagitan ng proseso ng CVD

Ang Chemical Vapor Deposition (CVD) ay ang pinaka -mature at pinakamainam na pamamaraan para sa paggawa ng mga coatings ng TAC sa mga grapayt na ibabaw.

Gamit ang tacl5 at propylene bilang mga mapagkukunan ng carbon at tantalum ayon sa pagkakabanggit, at ang argon bilang carrier gas, ang high-temperatura na singaw na TACL5 ay ipinakilala sa silid ng reaksyon. Sa target na temperatura at presyon, ang precursor material vapor adsorbs sa ibabaw ng grapayt, na sumasailalim sa isang serye ng mga kumplikadong reaksyon ng kemikal tulad ng agnas at pagsasama ng mga mapagkukunan ng carbon at tantalum, pati na rin ang isang serye ng mga reaksyon sa ibabaw tulad ng pagsasabog at pagsipsip ng mga by-product ng precursor. Sa wakas, ang isang siksik na layer ng proteksiyon ay nabuo sa ibabaw ng grapayt, na pinoprotektahan ang grapayt mula sa matatag na pagkakaroon sa ilalim ng matinding mga kondisyon sa kapaligiran at makabuluhang nagpapalawak ng mga senaryo ng aplikasyon ng mga materyales na grapayt.

Larawan 2.Prinsipyo ng proseso ng singaw ng kemikal (CVD)

Para sa karagdagang impormasyon tungkol sa mga prinsipyo at proseso ng paghahanda ng CVD TAC Coating, mangyaring sumangguni sa artikulo:Paano maghanda ng CVD TAC Coating?

Bakit pumili ng veteksemicon?

SemiconPangunahin ang nagbibigay ng mga produktong Tantalum Carbide: TAC Guide Ring, TAC Coated Three Petal Ring,TAC Coating Crucible, TAC coating porous grapayt ay malawakang ginagamit ay ang proseso ng paglaki ng kristal; Porous grapayt na may pinahiran na TAC, TAC Coated Guide Ring,TAC Coated Graphite Wafer Carrier, TAC Coating Mga Sustor,Planetary Susceptor, At ang mga produktong tantalum carbide coating na ito ay malawakang ginagamit saSIC EPITAXY PROSESOatSic solong proseso ng paglago ng kristal.

Larawan 3.VeTAng pinakapopular na mga produktong patong ng Tantalum ng Ek Semiconductor