Silicon Carbide Coating

Ang Veteksemicon sic coated grapayt na Susceptor para sa ASM ay isang pangunahing sangkap ng carrier sa mga proseso ng epitaxial na semiconductor. Ginagamit ng produktong ito ang aming pagmamay-ari ng Pyrolytic Silicon Carbide Coating Technology at Precision Machining na mga proseso upang matiyak ang mahusay na pagganap at isang ultra-long lifespan sa mga high-temperatura at kinakain na proseso ng proseso. Malalim naming nauunawaan ang mahigpit na mga kinakailangan ng mga proseso ng epitaxial sa kadalisayan ng substrate, katatagan ng thermal, at pagkakapare -pareho, at nakatuon sa pagbibigay ng mga customer ng matatag, maaasahang mga solusyon na nagpapaganda ng pangkalahatang pagganap ng kagamitan.

Ang Veteksemicon Focus Ring ay partikular na idinisenyo para sa paghingi ng kagamitan sa semiconductor etching, lalo na ang mga application ng SIC etching. Naka -mount sa paligid ng electrostatic chuck (ESC), malapit sa wafer, ang pangunahing pag -andar nito ay upang mai -optimize ang pamamahagi ng larangan ng electromagnetic sa loob ng silid ng reaksyon, tinitiyak ang uniporme at nakatuon na pagkilos ng plasma sa buong ibabaw ng wafer. Ang isang mataas na pagganap na singsing na pokus ay makabuluhang nagpapabuti sa pagkakapareho ng rate ng etch at binabawasan ang mga epekto ng gilid, direktang pagpapalakas ng ani ng produkto at kahusayan sa paggawa.

Ang Veteksemicon silikon carbide carrier plate para sa LED etching, partikular na idinisenyo para sa pagmamanupaktura ng LED chip, ay isang pangunahing maubos sa proseso ng etching. Ginawa mula sa katumpakan-sintered high-kadalisayan silikon karbida, nag-aalok ito ng pambihirang paglaban ng kemikal at mataas na temperatura na dimensional na katatagan, na epektibong lumalaban sa kaagnasan mula sa mga malakas na acid, base, at plasma. Ang mga mababang katangian ng kontaminasyon nito ay nagsisiguro ng mataas na ani para sa mga LED epitaxial wafers, habang ang tibay nito, na higit na higit sa tradisyonal na mga materyales, ay tumutulong sa mga customer na mabawasan ang pangkalahatang mga gastos sa operating, na ginagawa itong isang maaasahang pagpipilian para sa pagpapabuti ng kahusayan at pagkakapare -pareho ng proseso.

Ang Veteksemi Solid sic Focus Ring ay makabuluhang nagpapabuti sa pagkakapareho at proseso ng katatagan sa pamamagitan ng tumpak na pagkontrol sa electric field at airflow sa wafer edge. Malawakang ginagamit ito sa mga proseso ng katumpakan ng etching para sa silikon, dielectrics, at tambalang mga materyales na semiconductor, at isang pangunahing sangkap para sa pagtiyak ng ani ng mass production at pangmatagalang maaasahang operasyon ng kagamitan.

Ang CVD sic coated grapayt shower head mula sa Veteksemicon ay isang sangkap na may mataas na pagganap na partikular na idinisenyo para sa mga proseso ng semiconductor chemical vapor deposition (CVD). Ginawa mula sa high-kadalisayan grapiko at protektado ng isang kemikal na pag-aalis ng singaw (CVD) silikon carbide (SIC) coating, ang shower head na ito ay naghahatid ng natitirang tibay, thermal stability, at paglaban sa mga kinakailangang proseso ng gas. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Ang Silicon Carbide Coating Wafer Holder ni Veteksemicon ay inhinyero para sa katumpakan at pagganap sa mga advanced na proseso ng semiconductor tulad ng MOCVD, LPCVD, at high-temperatura na pagsusubo. Sa pamamagitan ng isang pantay na patong ng CVD sic, tinitiyak ng may-ari ng wafer na ito ang pambihirang thermal conductivity, kemikal na pagkawalang-galaw, at lakas ng mekanikal-mahalaga para sa walang kontaminasyon, mataas na ani na pagproseso ng wafer.