Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.

Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.

Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.

Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC	3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kalinisan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide coated Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover para sa MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Aixtron Satellite wafer carrier SiC Coating Epi receiver SiC coating halfmoon graphite parts

View as

Single Wafer EPI Graphite Undertaker

Ang Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Susceptor ay idinisenyo para sa high-performance silikon carbide (sic), gallium nitride (GaN) at iba pang pangatlong henerasyon na semiconductor epitaxial process, at ang pangunahing sangkap ng pagtatanong ng mataas na precision epitaxial sheet sa mass production.Welcome Your Mother Inquiry.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Plasma etching focus ring

Ang isang mahalagang sangkap na ginamit sa proseso ng pag -etching ng wafer ay ang plasma etching focus singsing, na ang pag -andar ay upang hawakan ang wafer sa lugar upang mapanatili ang density ng plasma at maiwasan ang kontaminasyon ng mga wafer sides.Vetek semiconductor ay nagbibigay ng plasma etching focus singsing na may iba't ibang materyal tulad ng monocrystalline silicon, silicon carbide, boron carbide at iba pang mga ceramic na materyales.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic coated e-chuck

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng SIC coated e-chucks sa China. Ang SIC coated e-chuck ay espesyal na idinisenyo para sa proseso ng Gan Wafer etching, na may mahusay na pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, upang magbigay ng lahat ng bilog na suporta para sa iyong paggawa ng semiconductor. Ang aming malakas na kakayahan sa pagproseso ay nagbibigay -daan sa amin upang mabigyan ka ng SIC Ceramic SiSceptor na gusto mo. Inaasahan ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic ICP etching plate

Nagbibigay ang Veteksemicon ng mataas na pagganap na SIC ICP etching plate, na idinisenyo para sa mga aplikasyon ng ICP etching sa industriya ng semiconductor. Ang natatanging mga katangian ng materyal na ito ay nagbibigay-daan upang maisagawa ito nang maayos sa mataas na temperatura, mataas na presyon at kemikal na kaagnasan ng kapaligiran, tinitiyak ang mahusay na pagganap at pangmatagalang katatagan sa iba't ibang mga proseso ng etching.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Yunit ng pag -init ng grapayt

Ang Vetek Semiconductor Graphite Heating Unit ay isang mataas na pagganap na pang-industriya na solusyon sa pag-init na gawa sa high-purity grapayt na materyal, na maaaring magbigay ng tumpak at mahusay na epekto ng pag-init. Ang yunit ng pag -init ng grapayt ay malawakang ginagamit sa semiconductor, electronics, keramika at iba pang mga patlang. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Deep UV LED Susceptor

Ang SIC Coated Deep UV LED Susceptor ay idinisenyo para sa proseso ng MOCVD upang suportahan ang mahusay at matatag na malalim na paglaki ng epitaxial layer ng LED. Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng SIC na pinahiran ng malalim na UV LED na Susceptor sa China. Mayroon kaming mayamang karanasan at nagtatag ng pangmatagalang pakikipag-ugnayan sa kooperatiba sa maraming mga tagagawa ng epitaxial na LED. Ang nangungunang tagagawa ng domestic ng mga produktong may Susceptor para sa mga LED. Matapos ang mga taon ng pag -verify, ang aming buhay ng produkto ay naaayon sa mga nangungunang internasyonal na tagagawa. Inaasahan ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Silicon Carbide Coating

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Single Wafer EPI Graphite Undertaker

Plasma etching focus ring

Sic coated e-chuck

Sic ICP etching plate

Yunit ng pag -init ng grapayt

SIC Coated Deep UV LED Susceptor

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address