Balita

Ang SIC Ceramic ay isang ceramic material na ginawa ng reaksyon ng silikon (SI) at mga elemento ng carbon (C), na nagtatampok ng napakataas na katigasan, paglaban ng init at katatagan ng kemikal

Sa mataas na pusta na mundo ng katha ng semiconductor, katumpakan at katatagan ay ang lahat-at kung saan ang mga hakbang ng electrostatic chuck (ESC). Malayo lamang sa isang tool na may hawak, ang ESC ay gumagamit ng mga puwersang electrostatic upang ligtas na clamp wafers sa panahon ng mga kritikal na proseso tulad ng pag-etching, pag-aalis, at pagtatanim ng ion. Ngunit paano ito gumagana? Bakit ito ay higit na mahusay sa tradisyonal na mekanikal na pag -clamping? At ano ang papel na ginagampanan nito sa pagkamit ng katumpakan ng nanoscale at kahusayan ng throughput? Maligayang pagdating upang basahin.

Ang prinsipyo ng DeChuck ng electrostatic chuck ay isang pangunahing bahagi ng daloy ng trabaho nito na nagsasangkot ng mga mekanismo ng pag -aalis ng electrostatic at wafer.

Ang Glassy Carbon ay isang di-graphitized carbon na pinagsasama ang mga katangian ng baso at keramika. Marami itong mga pag -aari tulad ng mataas na paglaban sa temperatura, paglaban sa kaagnasan, mahusay na kuryente, atbp. Ang blog na ito ay pinag -aaralan ang kasaysayan ng pananaliksik at pag -unlad ng pag -unlad ng glassy carbon, na nagkakahalaga ng pagbabasa.