Balita

Sa mga prosesong may mataas na temperatura ng semiconductor, ang paghawak, pagsuporta, at thermal treatment ng mga wafer ay umaasa sa isang espesyal na bahaging sumusuporta—ang wafer boat. Habang tumataas ang temperatura ng proseso at tumataas ang mga kinakailangan sa pagkontrol sa kalinisan at particle, unti-unting ipinapakita ng mga tradisyunal na quartz wafer boat ang mga isyu gaya ng maikling buhay ng serbisyo, mataas na rate ng deformation, at mahinang corrosion resistance.

Para sa pang-industriya-scale na produksyon ng mga silicon carbide substrates, ang tagumpay ng isang solong pag-unlad ay hindi ang layunin ng pagtatapos. Ang tunay na hamon ay nakasalalay sa pagtiyak na ang mga kristal na lumago sa iba't ibang batch, tool, at yugto ng panahon ay nagpapanatili ng mataas na antas ng pagkakapare-pareho at pag-uulit sa kalidad. Sa kontekstong ito, ang papel ng tantalum carbide (TaC) coating ay higit pa sa pangunahing proteksyon—ito ay nagiging isang pangunahing salik sa pagpapatatag ng window ng proseso at pag-iingat sa ani ng produkto.

​Silicon carbide (SiC) Ang paglago ng PVT ay nagsasangkot ng matinding thermal cycling (temperatura ng silid na higit sa 2200 ℃). Ang napakalaking thermal stress na nabuo sa pagitan ng coating at ng graphite substrate dahil sa mismatch sa coefficients ng thermal expansion (CTE) ay ang pangunahing hamon sa pagtukoy sa buhay ng coating at pagiging maaasahan ng aplikasyon.

Sa proseso ng paglago ng kristal ng PVT na silicon carbide (SiC), ang katatagan at pagkakapareho ng thermal field ay direktang tinutukoy ang rate ng paglago ng kristal, density ng depekto, at pagkakapareho ng materyal. Bilang hangganan ng system, ang mga bahagi ng thermal-field ay nagpapakita ng mga katangiang thermophysical sa ibabaw na ang bahagyang pagbabagu-bago ay kapansin-pansing pinalalakas sa ilalim ng mga kondisyon ng mataas na temperatura, na humahantong sa kawalang-tatag sa interface ng paglago.

Sa proseso ng paglaki ng mga silicon carbide (SiC) na kristal sa pamamagitan ng Physical Vapor Transport (PVT) na pamamaraan, ang matinding mataas na temperatura na 2000–2500 °C ay isang "double-edged sword" — habang ito ay nagtutulak ng sublimation at transportasyon ng mga pinagmumulan ng materyales, ito rin ay kapansin-pansing nagpapatindi ng impurity release mula sa lahat ng mga materyales sa loob ng mga elemento ng thermal convention, lalo na na naglalaman ng mga elemento ng thermal convention. Kapag ang mga impurities na ito ay pumasok sa growth interface, sila ay direktang makakasira sa pangunahing kalidad ng kristal. Ito ang pangunahing dahilan kung bakit ang tantalum carbide (TaC) coatings ay naging isang "mandatoryong opsyon" sa halip na isang "opsyonal na pagpipilian" para sa paglago ng kristal ng PVT.

Sa Veteksemicon, nag -navigate kami sa mga hamong ito araw -araw, na dalubhasa sa pagbabago ng mga advanced na aluminyo na seramika ng oxide sa mga solusyon na nakakatugon sa mga pagtutukoy. Ang pag -unawa sa tamang mga pamamaraan ng machining at pagproseso ay mahalaga, dahil ang maling diskarte ay maaaring humantong sa magastos na basura at pagkabigo sa sangkap. Galugarin natin ang mga propesyonal na pamamaraan na posible.