Suporta ng Tantalum Carbide Coating

Ang pangunahing pag -andar ng Vetek semiconductorTantalum Carbide (TAC) CoatingAng suporta ay upang mapagbuti angPaglaban ng init, paglaban sa pagsusuot at paglaban sa kaagnasanng substrate sa pamamagitan ng patong ng isang layer ng tantalum carbide coating, upang mapagbuti ang kawastuhan at pagiging maaasahan ng proseso at palawakin ang buhay ng serbisyo ng mga sangkap. Ito ay isang produktong patong na may mataas na pagganap na ginamit sa larangan ng pagproseso ng semiconductor.

Ang Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor ay may katigasan ng Mohs na halos 9 ~ 10, pangalawa lamang sa brilyante. Ito ay may napakalakas na paglaban sa pagsusuot at maaaring epektibong pigilan ang pagsusuot ng ibabaw at epekto sa panahon ng pagproseso, sa gayon ay epektibong mapalawak ang buhay ng serbisyo ng mga sangkap ng kagamitan. Pinagsama sa mataas na punto ng pagtunaw nito na halos 3880 ° C, madalas itong ginagamit para sa patong na mga pangunahing sangkap ng kagamitan sa semiconductor, tulad ng mga coatings ng ibabaw ng mga istruktura ng suporta, kagamitan sa paggamot ng init, silid o gasket sa kagamitan ng semiconductor upang mapahusay ang paglaban ng pagsusuot at mataas na temperatura.

Dahil sa napakataas na natutunaw na punto ng tantalum carbide na halos 3880 ° C, sa mga proseso ng pagproseso ng semiconductor tulad ngChemical Vapor Deposition (CVD)atpisikal na pag -aalis ng singaw (PVD). Tinutukoy din ng tampok na ito na ang Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Support ay madalas na ginagamit sa mga proseso ng etching at corrosive.

Ang suporta ng coating ng Tantalum carbide ay mayroon ding pag -andar ng pagbabawas ng kontaminasyon ng butil. Sa panahon ng pagproseso ng wafer, ang pagsusuot ng ibabaw ay karaniwang gumagawa ng kontaminasyon ng particulate, na nakakaapekto sa kalidad ng produkto ng wafer. Ang matinding mga katangian ng produkto ng TAC Coating na malapit sa 9-10 MOHS tigas ay maaaring epektibong mabawasan ang pagsusuot na ito, sa gayon binabawasan ang henerasyon ng mga particle. Pinagsama sa mahusay na thermal conductivity ng TAC coating (tungkol sa 21 w/m · K), maaari itong mapanatili ang mahusay na thermal conductivity sa ilalim ng mataas na mga kondisyon ng temperatura, sa gayon ay lubos na pinapabuti ang ani at pagkakapare -pareho ng paggawa ng wafer.

Kasama sa mga pangunahing produkto ng patong ng Vetek SemiconductorTAC Coating Heater, CVD TAC Coating Crucible, TAC Coating Rotation SusceptoratTAC Coating ekstrang bahagi, atbp, at suportahan ang mga na -customize na serbisyo ng produkto. Ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mahusay na mga produkto at teknikal na solusyon para sa industriya ng semiconductor. Taos-puso kaming umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tantalum carbide (TAC) coating sa isang mikroskopikong cross-section:

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD TAC Coating：