Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

CVD TAC Coating Ring

Sa industriya ng semiconductor, ang CVD TAC coating ring ay isang lubos na kapaki -pakinabang na sangkap na idinisenyo upang matugunan ang mga hinihingi na mga kinakailangan ng mga proseso ng paglago ng kristal na silikon (SIC). Ang Vetek Semiconductor's CVD TAC Coating Ring ay nagbibigay ng natitirang mataas na temperatura na pagtutol at pagkawalang-kilos ng kemikal, na ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa mga kapaligiran na nailalarawan sa pamamagitan ng nakataas na temperatura at mga kondisyon ng kinakain. Pls huwag mag -atubiling makipag -ugnay sa amin para sa higit pang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

LPE SiC EPI Halfmoon

Ang lpe sic epi halfmoon ay isang espesyal na disenyo para sa horizonational epitaxy furnace, isang rebolusyonaryong produkto na idinisenyo upang itaas ang mga proseso ng LPE reaktor sic epitaxy. Ang solusyon sa paggupit na ito ay ipinagmamalaki ang ilang mga pangunahing tampok na matiyak ang higit na mahusay na pagganap at kahusayan sa buong operasyon ng iyong pagmamanupaktura.Vetek semiconductor ay propesyonal sa paggawa ng lpe sic epi halfmoon sa 6 pulgada, 8inch.looking pasulong upang mag-set up ng pangmatagalang kooperasyon sa iyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

LED EPI

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagapagtustos ng TAC Coatings at SIC Coating Graphite Parts. Dalubhasa namin sa paggawa ng mga cut-edge na LED EPI na mga pagkamatay, mahalaga para sa mga proseso ng epitaxy ng LED. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

MOCVD Susceptor na may TaC Coating

Ang VeTek Semiconductor ay isang komprehensibong supplier na kasangkot sa pananaliksik, pagpapaunlad, produksyon, disenyo, at pagbebenta ng mga TaC coatings at SiC coating parts. Ang aming kadalubhasaan ay nakasalalay sa paggawa ng makabagong MOCVD Susceptor na may TaC Coating, na gumaganap ng mahalagang papel sa proseso ng LED epitaxy. Inaanyayahan ka naming makipag-usap sa amin ng mga katanungan at karagdagang impormasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TaC Coated Deep UV LED Susceptor

Ang TaC coating ay isang bagong henerasyong coating na binuo para sa malupit na kapaligiran. Ang VeTek Semiconductor ay isang pinagsamang supplier na nakatuon sa pananaliksik at pagpapaunlad, produksyon, disenyo, at pagbebenta ng mga TaC coating. Dalubhasa kami sa pagmamanupaktura ng edge-cutting TaC Coated UV LED Susceptors, na mga mahalagang bahagi sa proseso ng LED epitaxy. Ang aming TaC Coated Deep UV LED Susceptor ay nag-aalok ng mataas na thermal conductivity, mataas na mekanikal na lakas, pinahusay na kahusayan sa produksyon, at proteksyon ng epitaxial wafer. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum Carbide TAC Coated Halfmoon

Ang mga bahagi ng Halfmoon na pinahiran ng CVD TaC coating, ay mas matibay kaysa sa SiC coated halfmoon parts. Ang VeTek Semiconductor ay ang nangungunang tagagawa at supplier sa China para sa Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, dalubhasa namin sa R&D at produksyon, makokontrol nang maayos ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensya. presyo. Inaanyayahan kang bumisita sa aming pabrika para sa karagdagang talakayan sa isang pangmatagalang kooperasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

CVD TAC Coating Ring

LPE SiC EPI Halfmoon

LED EPI

MOCVD Susceptor na may TaC Coating

TaC Coated Deep UV LED Susceptor

Tantalum Carbide TAC Coated Halfmoon

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address