Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.

Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.

Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Excellent properties of TaC coating graphite

Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.

Mga Pangunahing Tampok:

●Katatagan ng temperatura

●Napakataas na kadalisayan

●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

●Paglaban sa thermal stock

●Malakas na pagdirikit sa grapayt

●Conformal coating coverage

● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)

Mga aplikasyon:

●Wafer carrier

● Inductive heating susceptor

● Resistive heating element

●Satellite disk

●Shower head

●Guide ring

●LED Epi receiver

●Injection nozzle

●Masking singsing

● Heat shield

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10^-5Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento	Atomic na porsyento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Katamtaman
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ang M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC Coated Plate TaC Coating Rotation Plate TaC coating receiver Covering ng CVD TaC coating CVD TaC Coating Ring TaC Coating Plate

View as

TAC coating rotation plate

Ang TAC coating rotation plate na ginawa ni Vetek Semiconductor ay ipinagmamalaki ang isang natitirang TAC coating, kasama ang pambihirang TAC coating, TAC coating rotation plate na may kapansin-pansin na mataas na temperatura na paglaban at kemikal na pagkawalang-kilos, na nagtatakda ito mula sa tradisyonal na mga solusyon.We ay nakatuon sa pagbibigay ng mga kalidad na produkto sa mga mapagkumpitensyang presyo at inaasahan ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Plate

Ang dinisenyo na may katumpakan at inhinyero sa pagiging perpekto, ang Vetek Semiconductor's TAC Coating Plate ay partikular na naayon para sa iba't ibang mga aplikasyon sa Silicon Carbide (SIC) solong mga proseso ng paglago ng kristal.Ang TAC Coating Plate's tumpak na mga sukat at matatag na konstruksyon ay ginagawang madali upang maisama sa umiiral na mga sistema, tinitiyak na walang tahi na pagiging tugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at de-kalidad na patong na ito ay nag-aambag sa pare-pareho at pantay na mga resulta sa mga aplikasyon ng paglago ng kristal na kristal. Nakatuon kami sa pagbibigay ng kalidad ng mga produkto sa mga mapagkumpitensyang presyo at inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD TAC Coating Cover

Ang CVD TAC Coating Cover na ibinigay ng Vetek Semiconductor ay isang lubos na dalubhasang sangkap na sadyang idinisenyo para sa hinihingi na mga aplikasyon. Sa pamamagitan ng mga advanced na tampok at pambihirang pagganap, ang aming CVD TAC Coating Cover ay nag -aalok ng ilang mga pangunahing bentahe.OURO CVD TAC Coating Cover ay nagbibigay ng kinakailangang proteksyon at pagganap na kinakailangan para sa tagumpay. Inaasahan namin ang paggalugad ng mga potensyal na kooperasyon sa iyo!

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Planetary Susceptor

Ang TAC Coating Planetary Susceptor ay isang pambihirang produkto para sa kagamitan sa epitaxy ng Aixtron. Ang Vetek Semiconductor's TAC coating ay nagbibigay ng mahusay na paglaban sa mataas na temperatura at pagkawalang-kilos ng kemikal. Ang natatanging kumbinasyon na ito ay nagsisiguro ng maaasahang pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, kahit na sa hinihingi na mga kapaligiran. Nakatuon ang Vetek sa pagbibigay ng de-kalidad na mga produkto at paglilingkod bilang isang pangmatagalang kasosyo sa merkado ng Tsino na may mapagkumpitensyang pagpepresyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Pedestal Support Plate

Ang patong ng TAC ay maaaring makatiis ng mataas na temperatura ng 2200 ℃. Nagbibigay ang Vetek Semiconductor ng mataas na kadalisayan ng TAC coating na may mga impurities sa ibaba 5ppm sa China. Ang TAC Coating Pedestal Support Plate ay maaaring makatiis ng ammonia hydrogen, argonin sa silid ng reaksyon ng aparato ng epitaxial.Ito ay nagpapabuti sa buhay ng serbisyo ng produkto. Nagbibigay ka ng mga kinakailangan, nagbibigay kami ng pagpapasadya.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coating Chuck

Ang Vetek Semiconductor's TAC Coating Chuck ay nagtatampok ng isang de-kalidad na patong sa ibabaw, na kilala para sa natitirang paglaban ng high-temperatura at kemikal na pagkawalang-kilos, lalo na sa mga proseso ng silikon na karbida (SIC) na epitaxy (EPI). Sa pamamagitan ng mga pambihirang tampok at mahusay na pagganap, ang aming TAC Coating Chuck ay nag-aalok ng ilang mga pangunahing pakinabang. Nakatuon kami sa pagbibigay ng kalidad ng mga produkto sa mga presyo ng mapagkumpitensya at inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Tantalum Carbide Coating

Mga Pangunahing Tampok:

Mga aplikasyon:

Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

TaC coating EDX data：

Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

TAC coating rotation plate

TAC Coating Plate

CVD TAC Coating Cover

TAC Coating Planetary Susceptor

TAC Coating Pedestal Support Plate

TAC Coating Chuck

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address