Ano ang isang PECVD Graphite Boat?

Ⅰ. Ano ang materyal ng PECVD Graphite Boat?

Ang pangunahing materyal ngPecvd Graphite Boat(Ang Plasma na Pinahusay na Chemical Vapor Deposition Graphite Boat) ay gawa sa mataas na kadalisayanIsotropic Graphite Material(Ang kadalisayan ay karaniwang ≥99.999%), at binago ng mga espesyal na proseso (tulad ng pag -aalis ng singaw ng kemikal na CVD o patong sa ibabaw). Ang high-purity grapayt ay malawakang ginagamit sa mga sistema ng PECVD dahil sa mahusay na elektrikal na kondaktibiti at mataas na thermal conductivity (80 ~ 150 w/m · k). ItoMataas na materyal na grapayt na materyalMaaaring mapanatili ang mahusay na katatagan ng istruktura at katatagan ng kemikal sa mataas na temperatura ng kapaligiran, at maaaring pigilan ang kaagnasan mula sa mga reaktibo na gas at plasma.

Ⅱ. Ano ang mga pisikal na katangian ng graphite boat?

Ang mga pisikal na katangian ng PECVD Graphite Boats ay kasama ang:

● Electrical conductivity: Ang isostatic grapayt ay may mahusay na elektrikal na kondaktibiti, na nagbibigay -daan sa epektibong pamahalaan ang elektrikal na enerhiya at itaguyod ang henerasyon at pagpapanatili ng plasma sa panahon ng proseso ng PECVD.

●  Thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng grapayt (tungkol sa 80 ~ 150 w/m · k) ay tumutulong na mapanatili ang isang matatag na kapaligiran sa temperatura sa panahon ng proseso ng PECVD at matiyak ang pantay na pag -aalis ng mga manipis na pelikula.

●  Density: Ang density ng komersyal na polycrystalline grapayt ay mula sa 1.30 g/cm³ hanggang 1.88 g/cm³. Ang mas mataas na density, mas mahusay ang pisikal at mekanikal na mga katangian, na maaaring mapabuti ang buhay ng serbisyo ng produkto.

Ⅲ. Ano ang mga pakinabang ng PECVD grapayt boat kumpara sa ordinaryong graphite boat?

Kung ikukumpara sa mga ordinaryong bangka ng grapayt, ang mga PECVD grapayt na bangka ay may mga sumusunod na pakinabang:

Ⅳ. Bakit pumili ng Veteksemicon's Pecvd Graphite Boat?

Tulad ng alam nating lahat, ang Veteksemicon ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng mga produktong patong ng semiconductor atMga produktong grapaytsa China. AmingPECVD Graphite Boatspangunahing ginagamit sa semiconductor at photovoltaic na industriya, lalo na sa mga proseso ng PECVD at CVD.

Ang mga bangka ng grapayt ay karaniwang ginagamit bilang mga carrier upang magdala ng mga wafer ng silikon o iba pang mga materyales upang matiyak ang ligtas na paghawak at transportasyon ng mga materyales na ito sa mataas na temperatura at mga kapaligiran ng plasma. Halimbawa, sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang Veteksemicon's PECVD Graphite Boats ay idinisenyo para sa mga proseso ng pag -aalis ng singaw ng plasma. Ang grapayt na bangka ay gumaganap ng papel ng pagdeposito ng silikon nitride (sinₓ) na mga layer ng passivation at mababang dielectric na pare-pareho (mababang-K) na mga pelikula.

Sa patlang na photovoltaic, ang mga PECVD grapayt na bangka ay ginagamit upang maghanda ng mga selula na solar cells na batay sa silikon (tulad ng amorphous silikon A-Si: H) at mga layer ng passivation ng cell ng PERC. Ang Veteksemicon's PECVD Graphite Boat ay nag -optimize sa proseso ng patong sa pamamagitan ng epektibong spacing silikon wafers at pag -uudyok ng glow discharge upang makamit ang pantay na pag -aalis ng patong.

Mas mahalaga, ang Veteksemicon ay maaaring magbigay ng mga na -customize na mga produkto at teknikal na serbisyo, at maaaring magdisenyo at gumawa ng mga produktong graphite boat ng iba't ibang mga pagtutukoy ayon sa iyong aktwal na mga kinakailangan sa proseso. Ang pagpili ng Veteksemicon ay nangangahulugang pagpili ng isang pinuno ng industriya na may malakas na lakas sa semiconductor at photovoltaic na industriya. Taos-puso kaming inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo.