PECVD Graphite Boat

Ang Veteksemicon ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos ng bangka ng China PECVD.

Ano ang papel ng solar cell ng Vetek Semiconductor (patong) PECVD Graphite Boat?

Bilang isang tagadala ng mga normal na wafer ng silikon na ginawa ng proseso ng patong, ang graphite boat ay maraming mga wafer ng bangka na may ilang mga agwat sa istraktura, at mayroong isang makitid na puwang sa pagitan ng dalawang katabing mga wafer ng bangka, at ang mga wafer ng silikon ay inilalagay sa magkabilang panig ng walang laman na pintuan.

Dahil ang PECVD Graphite Boat Material Graphite ay may mahusay na mga katangian ng elektrikal at thermal conductivity, ang AC boltahe ay tinanong sa dalawang katabing mga bangka, upang ang dalawang katabing bangka ay bumubuo ng positibo at negatibong mga pole, kapag mayroong isang tiyak na presyon at gas sa silid, ang glow discharge ay nangyayari sa pagitan ng dalawang bangka, ang paglabas ng glow ay maaaring mabulok ang SIH4 at NH3 gas sa puwang, na bumubuo ng SI at N hane. Ang mga molekula ng Sinx ay nabuo at idineposito sa ibabaw ng silikon na wafer upang makamit ang layunin ng patong.

Ang mga PECVD grapayt na bangka ay karaniwang ginagamit bilang mga carrier upang magdala ng mga wafer ng silikon o iba pang mga materyales upang matiyak ang ligtas na paghawak at transportasyon ng mga materyales na ito sa mataas na temperatura at kapaligiran ng plasma. Halimbawa, sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang Veteksemicon's PECVD Graphite Boats ay idinisenyo para sa mga proseso ng pag -aalis ng singaw ng plasma. Ang grapayt na bangka ay gumaganap ng papel ng pagdeposito ng silikon nitride (sinₓ) na mga layer ng passivation at mababang dielectric na pare-pareho (mababang-K) na mga pelikula.

Sa patlang na photovoltaic, ang mga PECVD grapayt na bangka ay ginagamit upang maghanda ng mga selula na solar cells na batay sa silikon (tulad ng amorphous silikon A-Si: H) at mga layer ng passivation ng cell ng PERC. Ang Veteksemicon's PECVD Graphite Boat ay nag -optimize sa proseso ng patong sa pamamagitan ng epektibong spacing silikon wafers at pag -uudyok ng glow discharge upang makamit ang pantay na pag -aalis ng patong.

Mas mahalaga, ang Veteksemicon ay maaaring magbigay ng mga na -customize na mga produkto at teknikal na serbisyo, at maaaring magdisenyo at gumawa ng mga produktong graphite boat ng iba't ibang mga pagtutukoy ayon sa iyong aktwal na mga kinakailangan sa proseso. Taos-puso kaming inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo.

At Ang Mga Bentahe ng Pecvd Graphite Boat Kumpara sa Ordinaryong Graphite Boat, Mag -click lamang