Paano pumili ng MOCVD Graphite tray?

Tanong 1: Ano ang MOCVD Graphite tray at bakit napakahalaga para sa proseso ng epitaxial?

Ang Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Graphite Plate, na kilala rin bilang MOCVD Graphite Tray o MOCVD Graphite Surceptor, ay isang sangkap na may mataas na kadalisayan na ginamit upang ayusin ang mga semiconductor wafers sa panahon ng paglaki ng epitaxial. Sa proseso ng epitaxial, ito ay kumikilos bilang isang elemento ng pag -init at tinitiyak ang pantay na pamamahagi ng temperatura, na gumaganap ng isang hindi mapapalitan na papel sa pagdeposito ng mga manipis na pelikula sa mga aplikasyon tulad ng mga advanced na aparato ng semiconductor, LED manufacturing, at solar cells.

Ang tray ng grapayt ay maaaring makatiis ng matinding temperatura (hanggang sa 1,800 ° C) at mga kinakailangang kapaligiran ng gas, na ginagawa itong isang kailangang-kailangan na materyal para sa mataas na temperatura, mga sistema ng MOCVD na lumalaban sa kaagnasan. Ang pagganap nito ay direktang nakakaapekto sa pagkakapare -pareho ng proseso at ani ng wafer.

Tanong 2: Aling mga materyal na katangian ang dapat unahin kapag pumipili ng mga tray ng grapiko ng MOCVD?

Ang pagpili ng tamang plate ng grapayt ay nangangailangan ng pagsusuri sa mga pisikal at kemikal na katangian nito:

● Mataas na kadalisayan (higit sa 99.999%):

Karaniwan, ang mga impurities tulad ng mga metal o abo ay maaaring mahawahan ang proseso ng epitaxial. Ang pagpili ng isang supplier ng high-purity grapayt na Susceptor tulad ng Veteksemicon ay nagsisiguro ng kaunting mga depekto sa semiconductor epilayer.

●  Napakahusay na katatagan ng thermal:

Sa panahon ng aktwal na pagproseso, ang mga grapayt na plato ay dapat na makatiis sa ilang mga thermal shocks at mapanatili ang integridad ng istruktura sa ilalim ng mabilis na mga siklo ng temperatura. Ang Veteksemicon high-density grapayt ay nagsisiguro ng pantay na pamamahagi ng init, na kritikal para sa pantay na paglaki ng pelikula.

●  Napakahusay na paglaban sa kaagnasan:

Sa kapaligiran ng proseso ng MOCVD, ang grapayt ay karaniwang nakalantad sa mga kinakaing unti -unting gas (hal., Ammonia, hydrogen). Ang mga high-temperatura na corrosion-resistant MOCVD grapayt plate na may maayos na istraktura na mabawasan ang kaagnasan at nagpapalawak ng buhay ng serbisyo.

●  High-Performance Mechanical Lakas:

Sa proseso ng epitaxial, ang MOCVD grapayt tray ay dapat suportahan ang maraming mga wafer nang walang pag -war. Ayon sa mga istatistika ng Veteksemicon sa aktwal na pagproseso, ang baluktot na lakas ng grapayt plate ay dapat na ≥50 MPa upang maiwasan ang pag -crack ng tray.

Q3: Paano nakakaapekto ang senaryo ng application sa pagpili ng mga tray ng grapayt ng MOCVD?

Ang iba't ibang mga proseso ng MOCVD ay nangangailangan ng mga pinasadyang disenyo ng grapayt na plate:

●  Epitaxial Growth ng LED/Photonics:

Ang mga ultra-makinis na MOCVD grapayt plate ay ginagamit sa proseso ng epitaxy upang mabawasan ang henerasyon ng butil at matiyak ang mga layer na walang kakulangan.

Halimbawa, ang Veteksemicon MOCVD Graphite Plates (o Veteksemic Graphite Plates para sa MOCVD) ay idinisenyo para sa GaN at GAAS epitaxy at nagbibigay ng na -optimize na pamamahala ng thermal.

●  Power Semiconductor Manufacturing:

Pinagsama sa mga eksperimentong istatistika ng Semikera Semiconductor, ang mga plato na may pinahusay na paglaban ng oksihenasyon ay karaniwang ginustong para sa mga proseso ng silikon (sic) o mga proseso ng gallium nitride (GaN).

●  High-throughput production:

Ang mga multi-wafer tray ay nangangailangan ng tumpak na pagproseso upang magkahanay sa disenyo ng reaktor. Ang napapasadyang MOCVD Graphite tray mula sa maaasahang tagapagtustos na Semikera Semiconductor ay maaaring tumugma sa mga tukoy na pagsasaayos ng tool.

Q4: Ano ang mga pangunahing pagsasaalang -alang para sa paghahanap ng isang maaasahang MOCVD Graphite Plate Supplier?

●  Sertipikasyon at Pagsubok:

Patunayan na ang supplier ay nagbibigay ng materyal na sertipikasyon (hal. Purity Report, Density Test) at nagbibigay ng paggamot sa post-processing sa ibabaw (e.g. patong upang mabawasan ang porosity). Bilang isang nangungunang Tsino na semiconductor coating at epitaxial process na kagamitan sa kagamitan, ang Veteksemicon MOCVD grapayt plate ay na -sertipikado ng mga kagawaran ng gobyerno para sa mahigpit na mga eksperimento sa limitasyon, at ang kadalisayan at density na mga resulta ng pagsubok ng mga produkto nito ay nauna sa mga kapantay nito.

●  Mga kakayahan sa pagpapasadya:

Nangungunang mga supplier ng High-Purity Graphite ay dapat ipasadya ang laki, pattern ng butas at patong upang matugunan ang iyong mga kinakailangan sa reaktor. Parehong Veteksemicon at Semikera semiconductor ay may mga kakayahan sa pagpapasadya ng serbisyo ng mga kaugnay na produkto at teknolohiya, at ganap na may kakayahang matugunan ang iyong iba't ibang mga na -customize na pangangailangan.

●  Lifespan at kahusayan sa gastos:

Habang ang mas murang grapayt ay maaaring makatipid ng mga gastos sa itaas, ang mga mas mababang mga grapayt na plato ay hahantong sa madalas na kapalit at downtime, na seryosong nakakaapekto sa normal na kahusayan sa produksyon. Ang pagpili ng Veteksemicon grapayt plate at iba pang mga kalidad na produkto ay magbibigay-daan sa iyong negosyo upang makamit ang pangmatagalang maaasahang produksyon.

Q5: Paano mapalawak ang buhay ng serbisyo ng MOCVD grapayt tray?

●  Maiwasan ang oksihenasyon: Gumamit ng inert gas purge sa panahon ng pag -init/paglamig cycle.

●  Malinis na linisin: Gumamit ng mga hindi nakaka-abras na pamamaraan (tulad ng dry etching) upang alisin ang mga na-deposito na nalalabi.

●  Iwasan ang mekanikal na stress: Maingat na hawakan ang tray sa panahon ng pag -load/pag -load ng wafer.

Pinakamahusay na payo ni Veteksemicon sa iyo:

Para sa mga plato ng grapayt ng MOCVD na lumalaban sa mataas na kaagnasan ng temperatura, bigyan ng prayoridad sa mga supplier na may kadalubhasaan sa mga materyales na semiconductor-grade.

Pagsubok ng mga sample sa ilalim ng aktwal na mga kondisyon ng proseso upang mapatunayan ang pagganap.

Galugarin ang mga advanced na coatings (tulad ng SIC coating, TAC coating) upang mapahusay ang tibay at pagiging maaasahan sa matinding mga kapaligiran.

Para sa karagdagang impormasyon tungkol sa SIC Coating MOCVD Graphite Plate, mag -click dito.

Para sa karagdagang impormasyon tungkol sa TAC Coating MOCVD Graphite Plate, mag -click dito.