Pahalang na Sic Wafer Carrier

Deals semiconductor'sPahalang na Sic Wafer Carrier/Bangka ay may napakataas na punto ng pagtunaw (mga 2700 ° C), na nagbibigay -daan saPahalang na Sic Wafer Carrier/ Bangka upang gumana nang matatag sa mga kapaligirang may mataas na temperatura nang walang deformation o degradation. Ang tampok na ito ay partikular na mahalaga sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa mga proseso tulad ng high-temperature annealing o chemical vapor deposition (CVD).

AngPahalang na SiC Wafer Carrier/Ang bangka ay partikular na gumaganap ng mga sumusunod na tungkulin sa proseso ng pagdadala ng mga wafer carrier:

Silicon wafer dala at suporta: Ang Horizontal SiC Wafer Boat ay pangunahing ginagamit upang dalhin at suportahan ang mga silicon na wafer sa panahon ng paggawa ng semiconductor. Matatag nitong maisaayos ang maraming mga silicon na wafer upang matiyak na mananatili ang mga ito sa magandang posisyon at katatagan sa buong proseso ng pagproseso.

Unipormeng pag-init at paglamig: Dahil sa mataas na thermal conductivity ng SIC, ang wafer boat ay maaaring epektibong ipamahagi ang init nang pantay -pantay sa lahat ng mga wafer ng silikon. Makakatulong ito na makamit ang pantay na pag-init o paglamig ng mga wafer ng silikon sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura, tinitiyak ang pagkakapare-pareho at pagiging maaasahan ng proseso ng pagproseso.

Pigilan ang kontaminasyon: Ang katatagan ng kemikal ng SIC ay nagbibigay-daan upang maisagawa ito nang maayos sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unting mga gas na kapaligiran, sa gayon binabawasan ang pagkakalantad ng mga wafer ng silikon sa mga posibleng mga kontaminado o reaksyon, tinitiyak ang kadalisayan at kalidad ng mga silikon na wafers.

Sa katunayan, maaaring gampanan ng Horizontal SiC Wafer Boat ang papel sa itaas dahil sa mga natatanging katangian ng produkto nito:

Napakahusay na katatagan ng kemikal: Ang materyal na sic ay may mahusay na paglaban sa kaagnasan sa iba't ibang media ng kemikal. Sa proseso ng pagproseso ng mga kinakaing unti -unting gas o likido, ang SIC wafer boat ay maaaring epektibong pigilan ang kaagnasan ng kemikal at protektahan ang mga wafer ng silikon mula sa kontaminasyon o pinsala.

Mataas na thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng SIC ay nakakatulong upang pantay na ipamahagi ang init sa proseso ng carrier at mabawasan ang akumulasyon ng init. Maaari nitong mapabuti ang kawastuhan ng kontrol sa temperatura sa panahon ng pagproseso ng katumpakan at matiyak ang pantay na pag -init o paglamig ng mga wafer ng silikon.

Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal: Ang mababang thermal expansion coefficient ng SiC material ay nangangahulugan na ang dimensional na pagbabago ng SiC Wafer Boat ay napakaliit sa panahon ng mga pagbabago sa temperatura. Nakakatulong ito na mapanatili ang dimensional na katatagan sa panahon ng pagpoproseso ng mataas na temperatura at pinipigilan ang deformation o positional displacement ng mga silicon wafer na dulot ng thermal expansion.

Mga pangunahing pisikal na katangian ngPahalang na SiC Wafer Carrier:

Paghambingin ang Semiconductor Production Shop:

Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: