Patong ng CVD TAC

Ang CVD TAC Coating (Chemical Vapor Deposition Tantalum Carbide Coating) ay isang produktong patong na pangunahing binubuo ng Tantalum Carbide (TAC). Ang TAC Coating ay may napakataas na katigasan, paglaban sa pagsusuot, at mataas na temperatura ng paglaban, ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa pagprotekta sa mga pangunahing sangkap ng kagamitan at pagpapabuti ng pagiging maaasahan ng proseso. Ito ay isang kailangang -kailangan na materyal sa pagproseso ng semiconductor.

Ang mga produkto ng CVD TaC Coating ay karaniwang ginagamit sa mga reaction chamber, wafer carrier, at etching equipment, at ginagampanan ang mga sumusunod na pangunahing tungkulin sa mga ito.

Ang CVD TaC coating ay kadalasang ginagamit para sa mga panloob na bahagi ng mga reaction chamber tulad ng mga substrate, wall panel, at heating elements. Kasama ng napakahusay na paglaban nito sa mataas na temperatura, mabisa nitong mapaglabanan ang pagguho ng mataas na temperatura, mga kinakaing unti-unti na gas at plasma, sa gayo'y epektibong pinahaba ang buhay ng serbisyo ng kagamitan at tinitiyak ang katatagan ng proseso at kadalisayan ng produksyon ng produkto.

Bilang karagdagan, ang mga co-coated wafer carriers (tulad ng mga quartz boat, fixtures, atbp.) Ay mayroon ding mahusay na paglaban sa init at paglaban sa kaagnasan ng kemikal. Ang wafer carrier ay maaaring magbigay ng maaasahang suporta para sa wafer sa mataas na temperatura, maiwasan ang kontaminasyon at pagpapapangit ng wafer, at sa gayon ay mapabuti ang pangkalahatang ani ng chip.

Bukod dito, ang TaC coating ng VeTek Semiconductor ay malawakang ginagamit din sa iba't ibang etching at thin film deposition equipment, tulad ng mga plasma etcher, chemical vapor deposition system, atbp. Sa mga processing system na ito, ang CVD TAC Coating ay makatiis ng high-energy ion bombardment at malakas na kemikal na reaksyon. , sa gayon ay tinitiyak ang katumpakan at pag-uulit ng proseso.

Anuman ang iyong mga tukoy na kinakailangan, tutugma kami sa pinakamahusay na solusyon para sa iyong mga pangangailangan sa patong ng CVD TAC at inaasahan ang iyong konsultasyon sa anumang oras.

Mga tindahan ng produkto ng VeTek Semiconductor CVD TAC Coating:

Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: