Mga produkto

Tantalum Carbide Coating

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.


Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.


Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:


Excellent properties of TaC coating graphite


Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.


Mga Pangunahing Tampok:

 ●Katatagan ng temperatura

 ●Napakataas na kadalisayan

 ●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

 ●Paglaban sa thermal stock

 ●Malakas na pagdirikit sa grapayt

 ●Conformal coating coverage

 Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)


Mga aplikasyon:

 ●Wafer carrier

 ● Inductive heating susceptor

 ● Resistive heating element

 ●Satellite disk

 ●Shower head

 ●Guide ring

 ●LED Epi receiver

 ●Injection nozzle

 ●Masking singsing

 ● Heat shield


Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad 14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity 0.3
Thermal expansion coefficient 6.3 10-6/K
Katigasan (HK) 2000 HK
Paglaban 1×10-5Ohm*cm
Thermal na katatagan <2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite -10~-20um
Kapal ng patong ≥20um karaniwang halaga (35um±10um)


TaC coating EDX data

EDX data of TaC coating


Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC:

Elemento Atomic na porsyento
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Katamtaman
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ang M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Ang TAC ay pinahiran ng tatlong-petal na singsing

Ang TAC ay pinahiran ng tatlong-petal na singsing

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang TAC na pinahiran na tatlong-petal na tagagawa ng singsing at innovator sa China.We ay dalubhasa sa TAC at SIC coating sa loob ng maraming taon. Ang mga produkto ay may isang paglaban sa kaagnasan, mataas na lakas. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.
Tantalum Carbide Coated Chuck

Tantalum Carbide Coated Chuck

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang Tantalum Carbide Coated Chuck Tagagawa at Innovator sa China.We ay dalubhasa sa TAC Coating sa loob ng maraming taon.Ang aming mga produkto ay may mataas na kadalisayan at mataas na temperatura ng paglaban hanggang sa 2000 ℃. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.
Tantalum carbide coated cover

Tantalum carbide coated cover

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang Tantalum Carbide Coated Cover Tagagawa at Innovator sa China.We ay dalubhasa sa TAC at SIC coating sa loob ng maraming taon. Ang mga produkto ay may isang paglaban sa kaagnasan, mataas na lakas. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.
Ultra purong grapayt mas mababang halfmoon

Ultra purong grapayt mas mababang halfmoon

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagapagtustos ng na -customize na ultra purong grapayt na mas mababang halfmoon sa China, na dalubhasa sa mga advanced na materyales sa loob ng maraming taon. Ang aming ultra purong grapayt na mas mababang halfmoon ay partikular na idinisenyo para sa SIC epitaxial kagamitan, na tinitiyak ang mahusay na pagganap. Ginawa mula sa ultra-pure na na-import na grapayt, nag-aalok ito ng pagiging maaasahan at tibay. Bisitahin ang aming pabrika sa Tsina upang galugarin ang aming mataas na kalidad na ultra purong grapayt na mas mababang halfmoon mismo.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.
Upper halfmoon part sic coated

Upper halfmoon part sic coated

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagapagtustos ng na -customize na itaas na halfmoon na bahagi ng SIC na pinahiran sa China, na dalubhasa sa mga advanced na materyales sa loob ng higit sa 20 taon. Ang Vetek Semiconductor Upper Halfmoon Part Sic Coated ay partikular na idinisenyo para sa SIC epitaxial na kagamitan, na nagsisilbing isang mahalagang sangkap sa silid ng reaksyon. Ginawa mula sa ultra-pure, semiconductor-grade grapayt, tinitiyak nito ang mahusay na pagganap. Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.
Silicon carbide epitaxy wafer carrier

Silicon carbide epitaxy wafer carrier

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang pasadyang silikon na karbida epitaxy wafer carrier supplier sa China.We ay na -dalubhasa sa advanced na materyal na higit sa 20 taon. Nag -aalok kami ng isang silikon na carbide epitaxy wafer carrier para sa pagdala ng SIC substrate, lumalagong SIC epitaxy layer sa sic epitaxial reactor. Ang silikon na carbide epitaxy wafer carrier na ito ay isang mahalagang sic na pinahiran na bahagi ng bahagi ng halfmoon, mataas na temperatura ng paglaban, paglaban sa oksihenasyon, paglaban sa pagsusuot. Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.
Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Tantalum Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept