TAC Coating ekstrang bahagi

Ito SemiconductorTAC Coating Plateay isang espesyal na materyal na malawakang ginagamit saSemiconductorProseso ng Paggawa. Pinagsama sa mataas na tigas at paglaban ng pagsusuot, mataas na temperatura ng paglaban, paglaban ng kaagnasan, mababang koepisyent ng alitan at mahusay na thermal conductivity, TAC coating plate ay gumaganap ng isang hindi mapapalitan na papel sa maraming mga link ng pagproseso ng semiconductor.

Karaniwan, ang mga aplikasyon ngTAC Coated PlatesSa pagproseso ng semiconductor ay ang mga sumusunod:

● CVD/ALD paglago ng substrate: Ang mataas na temperatura ng pagtutol, katatagan ng kemikal at mababang koepisyent ng friction ng mga pinahiran na plato ng TAC ay ginagawang perpekto ang mga substrate na paglago ng CVD/ALD. Maaari itong magbigay ng isang matatag na kapaligiran sa paglago upang matiyak ang pagkakapareho at density ng pelikula.

●  Etching mask plate: Ang mataas na katigasan at kaagnasan na paglaban ng mga pinahiran na plato ng TAC ay nagbibigay-daan sa kanila upang makatiis sa mga proseso ng high-energy tulad ng plasma etching, bilang mga etching mask plate, na pinoprotektahan ang pinagbabatayan na pelikula.

●  CMP Polishing Pad: Ang paglaban ng pagsusuot at mababang koepisyent ng alitan ng mga pinahiran na plato ng TAC ay ginagawang perpekto ang mga materyales para sa mga pad ng polishing ng CMP, na maaaring epektibong mag -alis ng mga particle at mga depekto sa ibabaw ng pelikula.

●  Mataas na temperatura ng tubo ng hurno)

CVD TAC Coating Technical Parameter：

Vetek Semiconductor TAC Coating Spare Part Products Shops：