TAC Coating Guide Ring

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na China TaC Coating Guide Ring, TaC coating Crucible, seed holder manufacturer at supplier.

Ang TAC Coating Crucible, Seed Holder at TAC Coating Guide Ring sa SIC at Ain Single Crystal Furnace ay lumaki ng PVT na pamamaraan.

Kapag ang pisikal na paraan ng transportasyon ng singaw (PVT) ay ginagamit upang maghanda ng SIC, ang kristal ng binhi ay nasa medyo mababang rehiyon ng temperatura, at ang materyal na hilaw na SIC ay nasa medyo mataas na temperatura ng rehiyon (sa itaas ng 2400 ℃). Ang hilaw na agnas ng materyal ay gumagawa ng anim na (higit sa lahat kabilang ang Si, Sic₂, Si₂c, atbp.). Ang materyal na phase ng singaw ay dinala mula sa mataas na temperatura ng rehiyon hanggang sa kristal ng binhi sa mababang rehiyon ng temperatura, at lumalaki at lumalaki. Upang makabuo ng isang solong kristal. Ang mga thermal field material na ginamit sa prosesong ito, tulad ng crucible, daloy ng gabay sa daloy, may hawak ng kristal ng binhi, ay dapat na lumalaban sa mataas na temperatura at hindi marumi ang sic raw na materyales at sic solong kristal. Katulad nito, ang mga elemento ng pag -init sa paglago ng mga solong kristal ng ALN ay kailangang lumalaban sa al singaw, n₂ kaagnasan, at kailangang magkaroon ng isang mataas na temperatura ng eutectic (at ALN) upang paikliin ang panahon ng paghahanda ng kristal.

Napag-alaman na ang SiC at AlN na inihanda ng TaC coated graphite thermal field na materyales ay mas malinis, halos walang carbon (oxygen, nitrogen) at iba pang mga impurities, mas kaunting mga depekto sa gilid, mas maliit na resistivity sa bawat rehiyon, at ang micropore density at etching pit density ay makabuluhang nabawasan (pagkatapos ng KOH etching), at ang kalidad ng kristal ay lubos na napabuti. Bilang karagdagan, ang rate ng pagbaba ng timbang ng TaC crucible ay halos zero, ang hitsura ay hindi mapanirang, maaaring i-recycle (hanggang sa 200h), maaaring mapabuti ang pagpapanatili at kahusayan ng naturang solong paghahanda ng kristal.

Parameter ng produkto ng TAC Coating Guide Ring:

Mga tindahan ng produksiyon:

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy: