TAC Coating Guide Rings

Pag -andar ng TAC Coating Guide Rings:

Tumpak na kontrol ng daloy ng gas: AngTAC Coating Guide Ringay madiskarteng nakaposisyon sa loob ng sistema ng iniksyon ng gas ngMOCVD reaktor. Ang pangunahing pag -andar nito ay upang idirekta ang daloy ng mga gas ng precursor at matiyak ang kanilang pantay na pamamahagi sa buong ibabaw ng substrate wafer. Ang tumpak na kontrol sa dinamikong daloy ng gas ay mahalaga para sa pagkamit ng pantay na paglaki ng epitaxial layer at nais na mga katangian ng materyal.

Pamamahala ng thermal: Ang TAC Coating Guide Rings ay madalas na nagpapatakbo sa nakataas na temperatura dahil sa kanilang kalapitan sa pinainit na susceptor at substrate. Ang mahusay na thermal conductivity ng TAC ay tumutulong sa pag -alis ng init nang epektibo, na maiwasan ang naisalokal na sobrang pag -init at pagpapanatili ng isang matatag na profile ng temperatura sa loob ng reaksyon zone.

Mga kalamangan ng TAC sa MOCVD:

Matinding paglaban sa temperatura: Ipinagmamalaki ng TAC ang isa sa pinakamataas na puntos ng pagtunaw sa lahat ng mga materyales, na higit sa 3800 ° C.

Natitirang kemikal na pagkawalang -galaw: Ang TAC ay nagpapakita ng pambihirang pagtutol sa kaagnasan at pag-atake ng kemikal mula sa reaktibo na mga gas na precursor na ginamit sa MOCVD, tulad ng ammonia, silane, at iba't ibang mga metal-organikong compound.

Mga pisikal na katangian ngTAC Coating:

Mga benepisyo para sa pagganap ng MOCVD:

Ang paggamit ng Vetek Semiconductor TAC Coating Guide Ring sa MOCVD Equipment ay malaki ang naambag sa:

Nadagdagan ang oras ng kagamitan: Ang tibay at pinalawak na habang -buhay ng TAC Coating Guide Ring Bawasan ang pangangailangan para sa madalas na mga kapalit, pag -minimize ng downtime ng pagpapanatili at pag -maximize ang kahusayan ng pagpapatakbo ng MOCVD system.

Pinahusay na katatagan ng proseso)

Pinahusay na pagkakapareho ng epitaxial layer: Ang tumpak na kontrol ng daloy ng gas na pinadali ng gabay ng patong ng TAC ay nagsisiguro ng pantay na pamamahagi ng precursor, na nagreresulta sa lubos na unipormePaglago ng epitaxial layerna may pare -pareho ang kapal at komposisyon.

Tantalum Carbide (TAC) Coatingsa isang mikroskopikong cross-section: