Mga produkto
TaC Coating Ring
  • TaC Coating RingTaC Coating Ring

TaC Coating Ring

Ang TaC Coating Ring ay isang high-performance na component na idinisenyo para gamitin sa mga proseso ng semiconductor, ang VeTek semiconductor TaC Coating Ring ay may mataas na thermal stability, paglaban sa chemical corrosion, at mahusay na mekanikal na lakas at partikular na ginagamit upang hawakan at suportahan ang mga SiC wafer sa panahon ng proseso ng pag-ukit, kung saan ang tumpak na kontrol at tibay ay mahalaga para sa pagkamit ng mataas na kalidad na mga wafer. inaasahan namin ang iyong karagdagang konsultasyon.

Ang Vetek Semiconductor's TAC Coating Ring ay ginawa mula sa mataas na kalidad na grapayt at pinahiran ng Tantalum Carbide (TAC), isang materyal na kilala para sa mga mahusay na katangian nito, ay isang kailangang-kailangan na sangkap sa pagproseso ng semiconductor wafer.


Ang Mga Pangunahing Tampok at Benepisyo ng VeTek semiconductor TaC Coating Ring:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

●  Mataas na Thermal Stability: Ang isa sa mga natatanging tampok ng Tantalum Carbide Coating Ring ay ang kakayahang makatiis ng mataas na temperatura, isang kritikal na salik sa semiconductor etching. Ang proseso ng pag-ukit ng SiC ay nagsasangkot ng pagkakalantad sa matataas na temperatura at mga reaktibong gas, at tinitiyak ng Tantalum Carbide coating na nananatiling matatag ang singsing at napapanatili ang integridad ng istruktura nito kahit na sa ilalim ng malupit na mga kondisyong ito. Tinitiyak ng thermal resilience na ito na ang bahagi ay patuloy na gumaganap nang mahusay sa mga pinalawig na panahon.


●  Pinahusay na Lakas ng Mekanikal: Ang kumbinasyon ng high-strength graphite at TaC coating ay nagreresulta sa isang component na may pinahusay na mekanikal na katangian, na ginagawang lubos na lumalaban sa pagkasira ang TaC Coated Ring. Ang mekanikal na lakas nito ay mahalaga sa paghawak ng SiC wafers nang matatag sa lugar, na tinitiyak ang tumpak na pag-ukit at pagpigil sa anumang pagpapapangit sa panahon ng proseso.


●  Chemical Corrosion Resistance: Sa mga proseso ng semiconductor tulad ng SIC etching, ang mga sangkap ay madalas na nakalantad sa mga agresibong kemikal at reaktibo na gas. Ang tantalum carbide coating ay nagbibigay ng mahusay na proteksyon laban sa kaagnasan, makabuluhang pagpapalawak ng kapaki -pakinabang na buhay ng singsing at pagliit ng pangangailangan para sa madalas na mga kapalit. Ang paglaban na ito ay lalong mahalaga sa proseso ng etching, kung saan ang mga sangkap ay patuloy na nakikipag -ugnay sa mga kemikal na reaktibo na sangkap.


● Superior Coatitac Coatingsng para sa pinahusay na pagganap: Ang Tantalum Carbide coating sa graphite ring ay nagbibigay ng matibay na surface na nagpapaganda sa pangkalahatang performance ng component. Ang Tantalum carbide ay kilala sa mataas na punto ng pagkatunaw nito (humigit-kumulang 3,880°C) at ang mahusay na paglaban nito sa mga reaksiyong kemikal, lalo na sa mga agresibong kapaligiran na karaniwang nakikita sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang Tantalum Carbide coating na ito ay makabuluhang nagpapabuti sa habang-buhay ng produkto, na nagbibigay ng higit na tibay kumpara sa mga uncoated graphite ring.


●  Pinahusay na Lakas ng Mekanikal: Ang kumbinasyon ng high-strength graphite at TaC coating ay nagreresulta sa isang component na may pinahusay na mekanikal na katangian, na ginagawang lubos na lumalaban sa pagkasira ang TaC Coated Ring. Ang mekanikal na lakas nito ay mahalaga sa paghawak ng SiC wafers nang matatag sa lugar, na tinitiyak ang tumpak na pag-ukit at pagpigil sa anumang pagpapapangit sa panahon ng proseso.


Bilang nangungunang supplier, tagagawa at pabrika ng TaC Coating Ring sa China, matagal nang nakatuon ang VeTek Semiconductor sa pagbibigay ng mga advanced na produkto ng TaC Coating Ring at mga teknikal na solusyon para sa industriya ng pagpoproseso ng semiconductor, at sumusuporta sa mga customized na serbisyo ng produkto. Taos-pusong umaasa ang VeTekSemi na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.


Mga pisikal na katangian ng patong ng TAC

Mga pisikal na katangian ng patong ng TAC
TAC Coating Density
14.3 (g/cm³)
Tiyak na paglabas
0.3
Koepisyent ng pagpapalawak ng thermal
6.3*10-6/K.
TAC Coating Hardness (HK)
2000 HK
Paglaban
1×10-5Ohm*cm
Thermal na katatagan
<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite
-10~-20um
Kapal ng patong
≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

Vetek Semiconductor's TAC Coating Ring Product Shops

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


Mga Hot Tags: TAC Coating Ring
Magpadala ng Inquiry
Impormasyon sa Pakikipag-ugnayan
Para sa mga katanungan tungkol sa Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite o listahan ng presyo, mangyaring iwan ang iyong email sa amin at makikipag-ugnayan kami sa loob ng 24 na oras.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept