CVD SiC Coated Graphite Susceptor para sa Wafer Carrier

1. Mga Bentahe ng Produkto

• Mataas na Kadalisayan na Materyal:Ang semiconductor-grade graphite material at siksik na SiC coating na istraktura ay nagpapaliit sa mga panganib sa kontaminasyon at nagpapahusay sa pagiging maaasahan ng CVD SiC coated graphite susceptor.
• Napakahusay na Thermal Uniformity:Ang na-optimize na istraktura ng grapayt at SiC coating ay nagbibigay ng matatag na paglipat ng init at pare-parehong kontrol sa temperatura ng wafer.
• Superior na Paglaban sa Kemikal:Ang siksik na SiC coating ay nag-aalok ng malakas na pagtutol laban sa mga proseso ng gas at kinakaing unti-unti na kapaligiran.
• Mahabang Buhay ng Serbisyo:Ang mataas na tigas at paglaban sa pagsusuot ay nagpapabuti sa tibay sa ilalim ng mataas na temperatura na mga kondisyon ng epitaxy.
• Pagbuo ng Mababang Particle:Ang siksik na CVD SiC surface ay binabawasan ang paglabas ng particle at pinapabuti ang pagiging maaasahan ng proseso ng wafer.
• Na-customize na Kakayahang Disenyo:Magagamit sa iba't ibang laki, istruktura, at pagsasaayos ayon sa mga kinakailangan sa kagamitan.

2. Mga Teknikal na Pagtutukoy

3. Mga aplikasyon

• Proseso ng SiC Epitaxy:Ang graphite susceptor ay ginagamit bilang isang wafer carrier sa SiC epitaxy equipment, na sumusuporta sa mga substrate ng SiC sa panahon ng mataas na temperatura na paglaki ng epitaxial.
• Proseso ng Silicon Epitaxy:Inilapat sa mga silicon na epitaxial reactor para sa pagsuporta sa mga wafer at pagpapanatili ng matatag na kondisyon ng thermal.
• MOCVD Epitaxy:Ang mga VETEK graphite susceptor ay angkop para sa MOCVD, LED epitaxy, GaN epitaxy, silicon epitaxy, at iba pang mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor na nangangailangan ng mahusay na pagkakapareho ng thermal at katatagan ng kemikal.
• Kagamitan sa Paggawa ng Semiconductor:Tugma sa iba't ibang epitaxy platform, kabilang ang mga LPE horizontal furnace, Aixtron, NuFlare, at mga kaugnay na kagamitan sa semiconductor.

4. Bakit Pumili ng VETEK?

Nagbibigay ang VETEK ng customized na CVD SiC coated graphite susceptor solutions na nagsasama ng graphite purification, precision machining, CVD coating, at mga kakayahan sa inspeksyon. Nagtatampok ang aming mga produktong semiconductor-grade graphite susceptor ng mataas na kadalisayan, pare-parehong kapal ng coating, mahusay na thermal performance, at mahabang buhay ng serbisyo para sa hinihingi ang mga application ng wafer carrier.