Serbisyo sa Paglilinis ng Mga Bahagi ng CVD SiC Coating Graphite

1. Mga Hamon na Maaaring Kaharapin Mo

• Mahirap Tanggalin ang AlN Layer:Ang 1300°C thermal clean ay hindi pa rin mabisang makapag-ukit ng natitirang AlN layer.

• Paulit-ulit na Memory Effect:Ang epekto ng memorya sa ibabaw ay nagdudulot ng hindi matatag na daloy ng gas sa reaktor, na nakakaapekto sa pagkakapare-pareho ng proseso.

• Cleaning Cycle Impacts Throughput:Karaniwan sa bawat 16 na ikot ng proseso (4–5 susceptor) ay nangangailangan ng panlabas na paglilinis.

• Pag-aalala Tungkol sa Nakakasira ng Mamahaling Patong:Dahil sa kakulangan ng in-house na karanasan sa paglilinis ng kemikal, nag-aalangan ang mga operator na subukan ang agresibong paglilinis.

2. Ang Aming Solusyon – Idinisenyo para sa Mga Proseso ng GaN / AlN / AlGaN

• Propesyonal na Paglilinis:Custom na proseso na partikular na binuo para sa CVD SiC coated graphite parts. Walang kinakailangang chemical formula mula sa customer.

• Kaligtasan ng Patong:Mahigpit na pinoprotektahan ang 100 µm CVD SiC coating. Walang ganap na pagkawala ng kapal pagkatapos ng paglilinis.

• Mga Nabe-verify na Resulta:Buong Sertipiko ng Pagsusuri (COA) na sumasaklaw sa limang pangunahing dimensyon. Handa na ang data para sa archive at pag-audit ng kalidad.

3. Limang Pangunahing Pamantayan sa Pagtanggap

Mahigpit na nakaayon sa mga kritikal na kinakailangan ng mga gumagamit ng semiconductor epitaxy:

1. Zero Coating Loss– Ang kapal ng SiC coating ay hindi kailanman nababawasan pagkatapos ng paglilinis (pre/post kapal ng paghahambing na pag-verify).

2. Walang Surface Deformation– Mahigpit na sinusuri ang flatness at geometric accuracy upang matiyak na walang pisikal na deformation.

3. Tanggalin ang Memory Effect– Kinukumpirma ng pagsusuri ng XPS para sa natitirang Al/Ga ang masusing pag-alis ng mga pinagmumulan ng epekto ng memorya.

4. Zero Metal Residue– Ang pagsubok ng ICP-MS para sa Fe, Cu, Ni at iba pang mga metal ay nagpapatunay ng zero na natitirang mga dumi ng metal.

5. Walang Labis na Particle– Ang pagsubok ng particle ng QIII kasama ang pag-verify ng kalinisan ay pinipigilan ang kawalang-tatag ng daloy ng gas na dulot ng mga natitirang particle.

4. Inspeksyon sa Paghahatid at Ulat ng COA

Ang bawat batch ay inihahatid na may buong data ng pag-verify sa limang pangunahing dimensyon:

5. Mga Naaangkop na Produkto at Background ng Proseso

Mga Parameter ng Produkto

Proseso ng Serbisyo

1. Pagtatanong– Magpadala ng bahagi ng mga larawan / modelo / dami para sa pagsusuri.

2. Sipi– Teknikal na pagsusuri at detalyadong panukala sa paglilinis na may panipi.

3. Pagpapadala– Magpadala ng mga piyesa sa amin o ayusin ang pickup service.

4. Paglilinis– Propesyonal na paglilinis + buong multi-dimension na inspeksyon.

5. Ulat– Inilabas ang ulat ng COA at ibinalik ang mga nilinis na bahagi.

6. Pagsubaybay– Pagsubaybay sa epekto at patuloy na teknikal na suporta.

6. Bakit Pumili ng Serbisyo sa Paglilinis ng VETEK?

Pinagsasama ng VETEK ang malalim na kadalubhasaan sa teknolohiyang patong ng CVD SiC na may mga espesyal na kakayahan sa paglilinis para sa mga susceptor ng grapayt na may mataas na halaga. Naiintindihan namin ang kritikal na kahalagahan ng coating integrity, particle control, at process purity sa GaN/AlN epitaxy. Ang aming serbisyo ay idinisenyo para sa mga customer na nangangailangan ng ganap na kaligtasan para sa mamahaling CVD SiC coatings habang ganap na nilulutas ang epekto ng memorya at mga isyu sa kawalang-tatag ng daloy ng gas.

· Available ang pagsubok na paglilinis para sa maliit na batch na pag-verify

· Buong ulat ng COA na ibinigay sa bawat paghahatid

· Walang panganib ng pinsala sa coating o bagong kontaminasyon

· Propesyonal · Ligtas · Mabe-verify