Ano ang TAC Coating? - Vetek Semiconductor

TAC Coating (Tantalum Carbide Coating) ay isang mataas na pagganap na coating material na ginawa ng proseso ng pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD). Dahil sa mahusay na mga katangian ng patong ng TAC sa ilalim ng matinding mga kondisyon, malawak itong ginagamit sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa mga kagamitan at sangkap na nangangailangan ng mataas na temperatura at malakas na kapaligiran. Karaniwang ginagamit ang patong ng TAC upang maprotektahan ang mga substrate (tulad ng grapayt o keramika) mula sa pinsala sa pamamagitan ng mataas na temperatura, kinakaing unti -unting gas at mekanikal na pagsusuot.

Mga pisikal na katangian ng patong ng TAC

Mga Tampok ng Produkto at kalamangan

● Napakataas na katatagan ng thermal:

Paglalarawan ng Tampok: Ang patong ng TAC ay may natutunaw na punto ng higit sa 3880 ° C at maaaring mapanatili ang katatagan nang walang agnas o pagpapapangit sa sobrang mataas na temperatura ng kapaligiran.

Bentahe: Ginagawa nitong isang kailangang-kailangan na materyal sa mga high-temperatura na semiconductor na kagamitan tulad ng CVD TAC coating at TAC coated na Susceptor, lalo na para sa mga aplikasyon sa MOCVD reaktor, tulad ng kagamitan sa Aixtron G5.

● Napakahusay na paglaban sa kaagnasan:

Paglalarawan ng Tampok: Ang TAC ay may napakalakas na pagkawalang -kilos ng kemikal at maaaring epektibong pigilan ang pagguho ng mga kinakaing unti -unting gas tulad ng klorido at fluorides.

Mga kalamangan: Sa mga proseso ng semiconductor na kinasasangkutan ng lubos na kinakaing unti -unting mga kemikal, pinoprotektahan ng TAC coating ang mga sangkap ng kagamitan mula sa pag -atake ng kemikal, pagpapahaba ng buhay ng serbisyo at nagpapabuti ng katatagan ng proseso, lalo na sa aplikasyon ng silikon na karbida na wafer boat at iba pang mga pangunahing sangkap.

● Napakahusay na katigasan ng mekanikal:

Paglalarawan ng Tampok: Ang katigasan ng patong ng TAC ay kasing taas ng 9-10 MOH, na ginagawang lumalaban sa mekanikal na pagsusuot at mataas na temperatura ng stress.

Bentahe: Ang mataas na pag-aari ng tigas ay gumagawa ng TAC coating partikular na angkop para magamit sa mataas na pagsusuot at mataas na mga kapaligiran ng stress, tinitiyak ang pangmatagalang katatagan at pagiging maaasahan ng kagamitan sa ilalim ng malupit na mga kondisyon.

● Mababang reaktibo ng kemikal:

Paglalarawan ng Tampok: Dahil sa pagkawalang -kilos ng kemikal, ang TAC coating ay maaaring mapanatili ang mababang reaktibo sa mga mataas na temperatura na kapaligiran at maiwasan ang hindi kinakailangang mga reaksyon ng kemikal na may mga reaktibo na gas.

Bentahe: Ito ay lalong mahalaga sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor dahil tinitiyak nito ang kadalisayan ng proseso ng kapaligiran at de-kalidad na pag-aalis ng mga materyales.

Ang papel ng patong ng TAC sa pagproseso ng semiconductor

● Pagprotekta sa mga pangunahing sangkap ng kagamitan:

Paglalarawan ng Pag -andar: Ang patong ng TAC ay malawakang ginagamit sa mga pangunahing sangkap ng kagamitan sa pagmamanupaktura ng semiconductor, tulad ng TAC na pinahiran na Susceptor, na kailangang magtrabaho sa ilalim ng matinding mga kondisyon. Sa pamamagitan ng patong sa TAC, ang mga sangkap na ito ay maaaring gumana nang mahabang panahon sa mataas na temperatura at kinakaing unti -unting mga kapaligiran ng gas nang hindi nasira.

● Palawakin ang buhay ng kagamitan:

Paglalarawan ng Pag -andar: Sa mga kagamitan sa MOCVD tulad ng Aixtron G5, ang patong ng TAC ay maaaring makabuluhang mapabuti ang tibay ng mga sangkap ng kagamitan at bawasan ang pangangailangan para sa pagpapanatili ng kagamitan at kapalit dahil sa kaagnasan at pagsusuot.

● Pagpapahusay ng katatagan ng proseso:

Paglalarawan ng Pag -andar: Sa pagmamanupaktura ng semiconductor, tinitiyak ng coating ng TAC ang pagkakapareho at pagkakapare -pareho ng proseso ng pag -aalis sa pamamagitan ng pagbibigay ng isang matatag na mataas na temperatura at kemikal na kapaligiran. Mahalaga ito lalo na sa mga proseso ng paglago ng epitaxial tulad ng silikon epitaxy at gallium nitride (GaN).

● Pagbutihin ang kahusayan sa proseso:

Paglalarawan ng Pag -andar: Sa pamamagitan ng pag -optimize ng patong sa ibabaw ng kagamitan, ang patong ng TAC ay maaaring mapabuti ang pangkalahatang kahusayan ng proseso, bawasan ang rate ng depekto, at dagdagan ang ani ng produkto. Ito ay kritikal para sa paggawa ng high-precision, high-purity semiconductor na materyales.

Ang mataas na katatagan ng thermal, mahusay na paglaban sa kaagnasan, mekanikal na katigasan at mababang reaktibo ng kemikal na ipinakita ng patong ng TAC sa panahon ng pagproseso ng semiconductor ay ginagawang isang mainam na pagpipilian para sa pagprotekta sa mga sangkap ng kagamitan sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Tulad ng hinihingi ng industriya ng semiconductor para sa mataas na temperatura, ang mataas na kadalisayan at mahusay na mga proseso ng pagmamanupaktura ay patuloy na tataas, ang patong ng TAC ay may malawak na mga prospect ng aplikasyon, lalo na sa mga kagamitan at proseso na kinasasangkutan ng CVD TAC coating, TAC Coated Susceptor at Aixtron G5.

Ang Vetek Semiconductor Technology Co, ang LTD ay isang nangungunang tagapagbigay ng mga advanced na materyales ng patong para sa industriya ng semiconductor. Ang aming kumpanya ay nakatuon sa pagbuo ng mga solusyon sa paggupit para sa industriya.

Kasama sa aming pangunahing mga handog ng produktoCVD Silicon Carbide (SIC) Coatings, Tantalum carbide (TAC) coatings.

Ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa pagbuo ng teknolohiya ng paggupit at mga solusyon sa pag-unlad ng produkto para sa industriya ng semiconductor.Taos-puso kaming umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.