Aixtron G10 Solid SiC na mga bahagi ng planetary reactor

1. Mga Pangunahing Tampok at Kalamangan

• Ganap na siksik, walang binder na Solid SiC na istraktura para sa mahusay na pagkasira at paglaban sa kaagnasan

• Napakahusay na thermal conductivity at thermal shock resistance sa mga temperaturang higit sa 1500 °C

• Napakababang pagbuo ng butil at mataas na kadalisayan, pinapaliit ang panganib sa kontaminasyon

• Natitirang chemical inertness laban sa mga prosesong gas na ginagamit sa SiC epitaxy

• Mahabang buhay ng serbisyo sa ilalim ng paulit-ulit na mataas na temperatura na pagbibisikleta

• Precision-machined hanggang sa masikip na dimensional tolerance para sa maaasahang fit at katatagan ng proseso

 2. Mga Karaniwang Aplikasyon

Ang mga Solid SiC accessory na ito ay ginagamit sa mga pangunahing functional na lugar ng Aixtron G10 reactor, kabilang ang:

• Mga takip na plato at mga piling elemento ng takip

• Mga proteksiyon na singsing at mga bahaging may mataas na pagkasuot

• Precision pin, washer, at maliliit na bahagi ng istruktura

• Iba pang custom na high-purity insert na nakalantad sa matinding daloy ng gas o thermal load

Sinusuportahan ng mga ito ang matatag na pamamahagi ng temperatura, pare-parehong paghahatid ng gas, at mababang density ng depekto sa panahon ng mataas na volume na paglaki ng epitaxial ng SiC para sa mga power MOSFET, diode, at kaugnay na wide-bandgap na device.

3. Bakit Pumili ng VeTek Solid SiC para sa Aixtron G10?

Bilang isang dalubhasang tagagawa ng mga semiconductor-grade na materyales, ang VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng:

• High-purity Solid SiC component na iniakma para sa Aixtron G10 system, halimbawa: Cover ring，Inner/outer covers，hila pababa/support plate，Satellite disc，susceptor

• Mahigpit na kontrol sa kadalisayan at katumpakan ng CNC machining

• Mga komplementaryong solusyon kabilang ang CVD SiC-coated graphite at TaC-coated parts para sa kumpletong thermal-field coverage

• Mga custom na disenyo na tumugma sa mga partikular na kondisyon ng proseso at mga configuration ng reactor

Ang aming Solid SiC accessories ay tumutulong sa mga customer na i-maximize ang productivity advantage ng Aixtron G10 platform—high wafer output, mahusay na kapal at doping uniformity, at mapagkumpitensyang halaga ng pagmamay-ari—habang pinahaba ang buhay ng bahagi at binabawasan ang pagkawala ng ani na nauugnay sa particle.