Solid silikon karbida

Ang Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide ay isang mahalagang sangkap na ceramic sa kagamitan sa plasma etching, solidong silikon na karbida (CVD Silicon Carbide) kasama ang mga bahagi sa kagamitan sa etchingTumutuon ng mga singsing, gas showerhead, tray, mga singsing sa gilid, atbp Dahil sa mababang reaktibo at kondaktibiti ng solidong silikon na karbida (CVD silikon na karbida) sa klorin - at mga gas na naglalaman ng fluorine, ito ay isang mainam na materyal para sa mga kagamitan sa plasma etching na nakatuon sa mga singsing at iba pang mga sangkap.

Halimbawa, ang singsing ng pokus ay isang mahalagang bahagi na nakalagay sa labas ng wafer at sa direktang pakikipag -ugnay sa wafer, sa pamamagitan ng pag -apply ng isang boltahe sa singsing upang ituon ang plasma na dumadaan sa singsing, sa gayon ay nakatuon ang plasma sa wafer upang mapagbuti ang pagkakapareho ng pagproseso. Ang tradisyunal na singsing na pokus ay gawa sa silikon oQuartz.

SOlid Sic Focus RingPrinsipyo ng pagtatrabaho：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Paghahambing ng SI batay sa Focus Ring at CVD sic Focusing Ring ：

Paghahambing ng SI batay sa pagtuon ng singsing at CVD sic Focusing Ring
Item	At	Cvd sic
Density (g/cm³)	2.33	3.21
Band Gap (EV)	1.12	2.3
Thermal conductivity (w/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Nababanat na modulus (GPA)	150	440
Tigas (GPA)	11.4	24.5
Paglaban sa pagsusuot at kaagnasan	Mahina	Mahusay

Nag -aalok ang Vetek Semiconductor ng mga advanced na solidong silikon na karbida (CVD silikon karbida) na mga bahagi tulad ng SIC na nakatuon sa mga singsing para sa kagamitan sa semiconductor. Ang aming solidong silikon na karbida na nakatuon sa mga singsing ay higit pa sa tradisyonal na silikon sa mga tuntunin ng lakas ng mekanikal, paglaban ng kemikal, thermal conductivity, high-temperatura tibay, at paglaban ng ion etching.

Ang mga pangunahing tampok ng aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay kasama:

Mataas na density para sa nabawasan na mga rate ng etching.

Napakahusay na pagkakabukod na may isang mataas na bandgap.

Mataas na thermal conductivity at mababang koepisyent ng thermal pagpapalawak.

Superior mechanical effects resistance at pagkalastiko.

Mataas na katigasan, pagsusuot ng pagsusuot, at paglaban sa kaagnasan.

Ginawa gamitPlasma na Pinahusay na Chemical Vapor Deposition (PECVD)Mga pamamaraan, ang aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay nakakatugon sa pagtaas ng mga hinihingi ng mga proseso ng etching sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mga ito ay dinisenyo upang mapaglabanan ang mas mataas na kapangyarihan at lakas ng plasma, partikular saCapacitively Coupled Plasma (CCP)mga system.

Ang Vetek Semiconductor's SIC Focusing Rings ay nagbibigay ng pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa pagmamanupaktura ng aparato ng semiconductor. Piliin ang aming mga sangkap ng SIC para sa higit na kalidad at kahusayan.

View as

Silicon carbide shower head

Ang Silicon Carbide Shower Head ay may mahusay na mataas na temperatura ng pagpapaubaya, katatagan ng kemikal, thermal conductivity at mahusay na pagganap ng pamamahagi ng gas, na maaaring makamit ang pantay na pamamahagi ng gas at pagbutihin ang kalidad ng pelikula. Samakatuwid, karaniwang ginagamit ito sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD) o mga proseso ng pag -aalis ng singaw (PVD). Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon sa amin, Vetek Semiconductor.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Silicon carbide seal singsing

Bilang isang propesyonal na tagagawa ng produktong selyo ng selyo ng selyo ng silikon at pabrika sa Tsina, ang Vetek semiconductor silikon na karbida ng singsing ng selyo ay malawakang ginagamit sa kagamitan sa pagproseso ng semiconductor dahil sa mahusay na paglaban ng init, paglaban ng kaagnasan, lakas ng mekanikal at thermal conductivity. Ito ay lalong angkop para sa mga proseso na kinasasangkutan ng mataas na temperatura at reaktibo na gas tulad ng CVD, PVD at plasma etching, at ito ay isang pangunahing pagpipilian sa materyal sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Malugod na tinatanggap ang iyong karagdagang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD sic block para sa paglaki ng kristal ng sic

Ang CVD sic block para sa paglago ng kristal ng SIC, ay isang bagong mataas na kadalisayan na hilaw na materyal na binuo ng Vetek semiconductor. Mayroon itong isang mataas na ratio ng input-output at maaaring lumago ng mataas na kalidad, malaking sukat na silikon na karbida na solong kristal, na kung saan ay isang pangalawang henerasyon na materyal upang mapalitan ang pulbos na ginamit sa merkado ngayon. Maligayang pagdating upang talakayin ang mga teknikal na isyu.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Crystal Growth Bagong Teknolohiya

Ang ultra-high na kadalisayan ng Vetek Semiconductor ay nabuo ng Chemical Vapor Deposition (CVD) ay inirerekomenda na magamit bilang isang mapagkukunan na materyal para sa lumalagong silikon na karbida ng mga kristal ng pisikal na transportasyon ng singaw (PVT). Sa SIC Crystal Growth New Technology, ang mapagkukunan ng materyal ay na -load sa isang crucible at sublimated sa isang seed crystal. Gumamit ng mataas na kadalisayan ng mga bloke ng CVD-SIC upang maging isang mapagkukunan para sa lumalagong mga kristal ng SIC. Maligayang pagdating upang maitaguyod ang isang pakikipagtulungan sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Cvd sic shower head

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng head ng CVD SIC shower at tagabago sa China.We ay dalubhasa sa materyal na SIC sa loob ng maraming taon.CVD sic shower head ay pinili bilang isang nakatuon na materyal na singsing dahil sa mahusay na thermochemical stability, mataas na mekanikal na lakas at paglaban sa pagguho ng plasma. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic shower head

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng SIC shower head at innovator sa China.We ay dalubhasa sa materyal na SIC sa loob ng maraming taon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Solid silikon karbida na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Solid silikon karbida

Ang mga pangunahing tampok ng aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay kasama:

Silicon carbide shower head

Silicon carbide seal singsing

CVD sic block para sa paglaki ng kristal ng sic

SIC Crystal Growth Bagong Teknolohiya

Cvd sic shower head

Sic shower head

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address