Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Mga produkto

Solid silikon karbida

Ang Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide ay isang mahalagang sangkap na ceramic sa kagamitan sa plasma etching, solidong silikon na karbida (CVD Silicon Carbide) kasama ang mga bahagi sa kagamitan sa etchingTumutuon ng mga singsing, gas showerhead, tray, mga singsing sa gilid, atbp Dahil sa mababang reaktibo at kondaktibiti ng solidong silikon na karbida (CVD silikon na karbida) sa klorin - at mga gas na naglalaman ng fluorine, ito ay isang mainam na materyal para sa mga kagamitan sa plasma etching na nakatuon sa mga singsing at iba pang mga sangkap.


Halimbawa, ang singsing ng pokus ay isang mahalagang bahagi na nakalagay sa labas ng wafer at sa direktang pakikipag -ugnay sa wafer, sa pamamagitan ng pag -apply ng isang boltahe sa singsing upang ituon ang plasma na dumadaan sa singsing, sa gayon ay nakatuon ang plasma sa wafer upang mapagbuti ang pagkakapareho ng pagproseso. Ang tradisyunal na singsing na pokus ay gawa sa silikon oQuartz.


SOlid Sic Focus RingPrinsipyo ng pagtatrabaho：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Paghahambing ng SI batay sa Focus Ring at CVD sic Focusing Ring ：

Paghahambing ng SI batay sa pagtuon ng singsing at CVD sic Focusing Ring
Item At Cvd sic
Density (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Thermal conductivity (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Nababanat na modulus (GPA) 150 440
Tigas (GPA) 11.4 24.5
Paglaban sa pagsusuot at kaagnasan Mahina Mahusay


Nag -aalok ang Vetek Semiconductor ng mga advanced na solidong silikon na karbida (CVD silikon karbida) na mga bahagi tulad ng SIC na nakatuon sa mga singsing para sa kagamitan sa semiconductor. Ang aming solidong silikon na karbida na nakatuon sa mga singsing ay higit pa sa tradisyonal na silikon sa mga tuntunin ng lakas ng mekanikal, paglaban ng kemikal, thermal conductivity, high-temperatura tibay, at paglaban ng ion etching.


Ang mga pangunahing tampok ng aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay kasama:

Mataas na density para sa nabawasan na mga rate ng etching.

Napakahusay na pagkakabukod na may isang mataas na bandgap.

Mataas na thermal conductivity at mababang koepisyent ng thermal pagpapalawak.

Superior mechanical effects resistance at pagkalastiko.

Mataas na katigasan, pagsusuot ng pagsusuot, at paglaban sa kaagnasan.

Ginawa gamitPlasma na Pinahusay na Chemical Vapor Deposition (PECVD)Mga pamamaraan, ang aming mga singsing na nakatuon sa SIC ay nakakatugon sa pagtaas ng mga hinihingi ng mga proseso ng etching sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mga ito ay dinisenyo upang mapaglabanan ang mas mataas na kapangyarihan at lakas ng plasma, partikular saCapacitively Coupled Plasma (CCP)mga system.

Ang Vetek Semiconductor's SIC Focusing Rings ay nagbibigay ng pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa pagmamanupaktura ng aparato ng semiconductor. Piliin ang aming mga sangkap ng SIC para sa higit na kalidad at kahusayan.


View as  
 
SiC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061S

SiC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061S

Bilang isa sa nangungunang mga halaman ng pagmamanupaktura ng Wafer Susceptor sa Tsina, ang Vetek Semiconductor ay gumawa ng patuloy na pag -unlad sa mga produktong wafer na masungit at naging unang pagpipilian para sa maraming mga tagagawa ng epitaxial wafer. Ang SIC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061s na ibinigay ng Vetek Semiconductor ay dinisenyo para sa LPE PE2061S 4 '' Wafers. Ang Surceptor ay may matibay na patong na karbida ng silikon na nagpapabuti sa pagganap at tibay sa panahon ng proseso ng LPE (likidong phase epitaxy). Maligayang pagdating sa iyong pagtatanong, inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo.
Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>
Solid sic gas shower head

Solid sic gas shower head

Malaki ang ginagampanan ng Solid SiC Gas Shower Head sa paggawa ng uniporme ng gas sa proseso ng CVD, sa gayo'y tinitiyak ang pare-parehong pag-init ng substrate. Ang VeTek Semiconductor ay malalim na nasangkot sa larangan ng mga solidong SiC device sa loob ng maraming taon at nakapagbibigay sa mga customer ng customized na Solid SiC Gas Shower Heads. Anuman ang iyong mga kinakailangan, inaasahan namin ang iyong pagtatanong.
Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>
Proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal solid sic gilid singsing

Proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal solid sic gilid singsing

Ang Vetek Semiconductor ay palaging nakatuon sa pananaliksik at pag -unlad at paggawa ng mga advanced na semiconductor na materyales. Ngayon, ang Vetek Semiconductor ay gumawa ng mahusay na pag -unlad sa proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal na solidong mga produktong singsing na gilid ng singsing at nakapagbibigay ng mga customer ng lubos na na -customize na solidong sic edge singsing. Ang mga solidong singsing sa gilid ng sic ay nagbibigay ng mas mahusay na pagkakapareho ng pagkakapareho at tumpak na pagpoposisyon ng wafer kapag ginamit sa isang electrostatic chuck, tinitiyak ang pare -pareho at maaasahang mga resulta ng etching. Inaasahan ang iyong pagtatanong at maging mga pangmatagalang kasosyo sa bawat isa.
Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>
Solid sic etching focus ring

Solid sic etching focus ring

Ang solidong sic etching focus singsing ay isa sa mga pangunahing sangkap ng proseso ng wafer etching, na gumaganap ng isang papel sa pag -aayos ng wafer, na nakatuon sa plasma at pagpapabuti ng wafer etching na pagkakapareho. Bilang nangungunang tagagawa ng pagtuon ng singsing na SIC sa Tsina, ang Vetek Semiconductor ay may advanced na proseso ng teknolohiya at may sapat na gulang, at gumagawa ng solidong sic etching na nakatuon na singsing na ganap na nakakatugon sa mga pangangailangan ng mga pagtatapos ng mga customer ayon sa mga kinakailangan sa customer. Inaasahan namin ang iyong pagtatanong at naging pangmatagalang kasosyo sa bawat isa.
Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Solid silikon karbida na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.
Mga Rekomendasyon sa Balita
Nag-aalala pa rin tungkol sa materyal na pagganap sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura?
Nag-aalala pa rin tungkol sa materyal na pagganap sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura?Tingnan ang Higit Pa >>
Anong mga materyales ang ginagamit sa mga sangkap na semiconductor ceramic?
Anong mga materyales ang ginagamit sa mga sangkap na semiconductor ceramic?Tingnan ang Higit Pa >>
Application ng carbon-based na thermal field na materyales sa silicon carbide crystal growth
Application ng carbon-based na thermal field na materyales sa silicon carbide crystal growthTingnan ang Higit Pa >>
Gaano man manipis ang proseso ng Taiko na gumawa ng mga wafer ng silikon?
Gaano man manipis ang proseso ng Taiko na gumawa ng mga wafer ng silikon?Tingnan ang Higit Pa >>
Ano ang temperatura gradient ng thermal field ng isang solong kristal na hurno?
Ano ang temperatura gradient ng thermal field ng isang solong kristal na hurno?Tingnan ang Higit Pa >>
Ano ang mga pagkakaiba sa pagitan ng mga teknolohiya ng MBE at MOCVD?
Ano ang mga pagkakaiba sa pagitan ng mga teknolohiya ng MBE at MOCVD?Tingnan ang Higit Pa >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept