CVD sic coated grapayt shower head

Ang Veteksemicon CVD sic coated grapayt shower head, ang katumpakan-engineered na ibabaw ay nagsisiguro ng pantay na pamamahagi ng gas, na kritikal para sa pagkamit ng pare-pareho na pag-aalis ng pelikula sa mga wafer. AngSic coatingHindi lamang nagpapabuti ng paglaban sa pagsusuot at paglaban sa oksihenasyon, ngunit nagpapalawak din ng buhay ng serbisyo sa ilalim ng malupit na mga kondisyon ng proseso.

Malawakang inilalapat sa semiconductor wafer na katha, epitaxy, at manipis na film na pag-aalis, ang CVD sic coated grapayt shower head ay isang mainam na pagpipilian para sa mga tagagawa na naghahanap ng maaasahang, mataas na kadalisayan, at pangmatagalang proseso ng proseso na nakakatugon sa mga hinihingi ng susunod na henerasyon na semiconductor.

Ang Veteksemi CVD Silicon Carbide Showerhead ay ginawa mula sa mataas na kadalisayan na singaw ng kemikal na na-deposito ng silikon na karbida at na-optimize para sa mga proseso ng CVD at MOCVD sa semiconductor, LED, at mga advanced na industriya ng elektronika. Ang natitirang thermal katatagan, paglaban ng kaagnasan, at unipormeng pamamahagi ng gas ay nagsisiguro na ang pangmatagalang matatag na operasyon sa mataas na temperatura, lubos na kinakaing unti-unting mga kapaligiran, makabuluhang pagpapabuti ng pag-uulit ng proseso at ani.

Veteksemicon cvd sic coated grapayt shower head core bentahe

● Ultra-high kadalisayan at density

Ang CVD sic coated grapayt shower head ay ginawa gamit ang isang mataas na kadalisayan na proseso ng CVD, tinitiyak ang isang materyal na kadalisayan ng ≥99.9995%, na tinanggal ang anumang mga metallic impurities. Ang non-porous na istraktura nito ay epektibong pinipigilan ang paglalagay ng gas at pagpapadulas ng butil, na ginagawang perpekto para sa semiconductor epitaxy at mga advanced na proseso ng packaging na nangangailangan ng napakataas na kalinisan. Kung ikukumpara sa tradisyonal na sintered SIC o mga sangkap na grapayt, ang aming produkto ay nagpapanatili ng matatag na pagganap kahit na matapos ang matagal na operasyon ng mataas na temperatura, binabawasan ang dalas ng pagpapanatili at mga gastos sa paggawa.

● Napakahusay na katatagan ng thermal

Sa mga proseso ng mataas na temperatura ng CVD at MOCVD, ang mga maginoo na materyales ay madaling kapitan ng pagpapapangit o pag-crack dahil sa thermal stress. Ang CVD sic showerhead ay may mga temperatura ng hanggang sa 1600 ° C at nagtatampok ng napakababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, tinitiyak ang katatagan ng istruktura sa panahon ng mabilis na pagtaas ng temperatura at bumababa. Ang pantay na thermal conductivity nito ay higit na nag -optimize ng pamamahagi ng temperatura sa loob ng silid ng reaksyon, na binabawasan ang mga pagkakaiba sa rate ng pag -aalis sa pagitan ng gilid ng wafer at sentro, at pagpapabuti ng pagkakapareho ng pelikula.

● Kaagnasan ng Anti-Plasma

Sa panahon ng mga proseso ng pag -etching o pag -aalis, ang lubos na kinakaing unti -unting gas (tulad ng CF₄, Cl₂, at HBR) mabilis na bumagsak ng maginoo na quartz o mga sangkap na grapayt. Ang materyal na CVD sic ay nagpapakita ng pambihirang paglaban ng kaagnasan sa mga kapaligiran ng plasma, na may isang habang buhay na 3-5 beses na ng mga maginoo na materyales. Ang aktwal na pagsubok sa customer ay nagpakita na kahit na matapos ang 2000 na oras ng patuloy na operasyon, ang pagkakaiba-iba ng laki ng butas ay nananatili sa loob ng ± 1%, tinitiyak ang pang-matagalang pamamahagi ng daloy ng gas.

● Mahabang buhay at mababang gastos sa pagpapanatili

Habang ang mga tradisyunal na sangkap ng grapayt ay nangangailangan ng madalas na kapalit, ang CVD shower head na may SIC coated ay nagpapanatili ng matatag na pagganap kahit na sa malupit na mga kapaligiran. Binabawasan nito ang pangkalahatang gastos ng higit sa 40%. Bukod dito, ang mataas na lakas ng mekanikal na lakas ay pinipigilan ang hindi sinasadyang pinsala sa panahon ng paghawak o pag -install.

● Pag -endorso ng Pag -verify ng Ecological Chain

Ang Veteksemicon CVD Silicon Carbide Showerhead 'Ecological Chain Verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, naipasa ang internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at mga bagong larangan ng enerhiya.

Mga teknikal na parameter

Proyekto	Parameter
Materyal	CVD SIC (magagamit ang mga pagpipilian sa patong)
Saklaw ng diameter	100mm-450mm (napapasadyang)
Pagpapahintulot ng kapal	± 0.05mm
Ang pagkamagaspang sa ibabaw	≤0.2μm
Naaangkop na proseso	CVD/MOCVD/PECVD/etching/epitaxy

Pangunahing Mga Patlang ng Application

Direksyon ng aplikasyon	Karaniwang senaryo
Semiconductor Manufacturing	Silicon epitaxy, mga aparato ng Gan/GaAs
Power Electronics	SIC epitaxial wafer production
Pinangunahan	MOCVD Sapphire substrate deposition
Kagamitan sa pang -agham na pang -agham	High-precision manipis na sistema ng pag-aalis ng pelikula

Pag -endorso ng Pag -verify ng Ecological Chain

Ang Veteksemicon CVD Silicon Carbide Showerhead 'Ecological Chain Verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, naipasa ang internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at mga bagong larangan ng enerhiya.

Para sa detalyadong mga teknikal na pagtutukoy, puting papel, o mga pag -aayos ng sample na pagsubok, mangyaringMakipag -ugnay sa aming pangkat ng suporta sa teknikalUpang galugarin kung paano mapapahusay ng Veteksemicon ang iyong kahusayan sa proseso.